切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 5825阅读
    • 4回复

    [求助]請問如何解決濺鍍時針孔問題 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线sorry6741
    实习生
     
    发帖
    15
    光币
    40
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-05-17
    我們公司是做mirror的，可是鍍完後針孔非常多(濺鍍機為直立式)，大小在0.3~0.4mm，實在是很難解決，靶材距離基板150mm，膜層第一層有打底，我想問的是： v]JET9hY  
    1.靶材和基板距離對針孔產生會有影響嗎？ v}>g* @  
    2.磁場分佈不均勻會有影響嗎？ aru2H6  
    3.基板材質會有影響嗎？ 6Ga'_P:  
    4.不同底層會有影響嗎？ (nqhX<T>  
    5.機台內部環境(粉塵)會有影響嗎？ \Y xG  
    ~|u;z,\  
    請各位能幫我解決這些疑惑？現在客人都要求針孔要<0.1mm，真得很難做，謝謝
     
    回复
    举报
    分享到
    离线cswmsc
    实习生
    发帖
    65
    光币
    81
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2007-05-20
    你首先得判断针孔的来源：是基板清洗问题？真空室粉尘问题？靶材问题？然后才能对症下药。
    回复
    举报
    离线sorry6741
    实习生
    发帖
    15
    光币
    40
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2007-05-20
    目前實在是很難判斷何處產生，所以才會請教各位看官，你們會有針孔的問題嗎？
    回复
    举报
    离线flyinlove79
    论坛版主
    发帖
    571
    光币
    10413
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2007-05-23
    镀金属反射膜，很容易出现針孔的。2楼的说的对，必须先找出问题的起因。
    回复
    举报
    离线荷塘月色
    实习生
    发帖
    8
    光币
    17
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2007-07-02
    你们的产品的针孔确实是够大的了。首先得判断针孔的规则：是很圆型？还是不规则型？如是圆型，是油水造成的；如是不规则型，则是尘点吸附造成的。与过程控制有关。与上述1、2项内容无关。
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表