[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 {Swou>X4  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 .Pxb9mW  
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建模任务 1swh7  
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模拟&设置：单平台互操作性 k5g\s9n]  
建模技术的单平台互操作性 '(^p$=3|@D  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 p_B,7@Jl  
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 平面波光源 X*$ 7g;  
 微透镜阵列 Tk.MtIs)V}  
 彩色滤光片(吸收介质) *v l_3S5_  
 通过基底传播 t(p  
 探测 cl:*Q{(Cjk  
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连接建模技术：微透镜 s:I^AL5  
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连接建模技术：彩色滤光片 tQo"$ JN}  
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EU>@k{Qt  
连接建模技术：可编程介质 I?bL4u$\  
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连接建模技术：自由空间传播 Dih~5  
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R;I}#b cJ  
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连接建模技术：堆栈 |])%yRAGQ  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 d@8_?G}  
4.H!rkMM  
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 微透镜阵列 c{||l+B  
 彩色滤光片(吸收介质) {'>X6:  
 通过基底传播 -W+dsZ Sv8  
 探测 g6 7*Bs  
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元件内场分析器：FMM ~aA+L-s|  
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模拟结果 2z )h,<D  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 6"&&s  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) @H7dQ,%  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) :4(7W[r6  
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3D仿真与结果比较 Mz
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3D仿真与结果比较 u@==Ut  
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