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主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
syfR5wc 苏州黉论教育咨询有限公司
!{XO#e 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
4>HGwk@+8 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
?(=B=a[ 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
*Wa u7 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
p[GyQ2k) 7L6M#B[)e5 课程简介:
# 0(\s@r. 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
~>R)H#mP7 2fk 课程大纲:
BkeP?X 第一天
J)->
7h= 1. 光栅结构建模
"F}Ip&]hAG 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 cOgtBEhn 光栅的建模
mx4*zj 2. 光栅仿真算法比较
Ei<:=6EX?8 薄元近似法(Thin Element Approximation)
|{K:.x#^ 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
`y#C%9# 3. 光栅严格分析实例
a40BisrD~6 闪耀光栅
#*/h*GNMs 光栅与偏振
:<gk~3\ 非傍轴衍射分束器分析
}+J@;: 4. 光栅设计与优化
C=cTj7Ub 倾斜光栅结构参数优化
wp*1HnWj8Y 公差分析
:\OvVS/ 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
:
eFc.>KoD 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
+bnw,B>< Q&A
}"Cn kg DeSTo9A}! 第二天
nE;gM1I 1. 二维光栅结构建模
F! e`i-xt 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
h_L '_* 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
cg%CYV) 2. 二维光栅设计优化
h6N}sLM{0 抗反射蛾眼结构设计
bg}77Y'^ 公差分析
c,wU?8Nc|$
纳米柱的严格分析
r|@?v , 共振
光子晶格仿真
vBx^zDe 3. 超表面微纳结构
7p$*/5fk 超表面分光光栅设计
y~jIAp 设计和分析超透镜
a)Ek~{9 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
Rp*t"HSaAW 4. 包含光栅的光学系统仿真
!X 8R 光栅衍射测量
`qz5rPyZ 结构光
照明的显微镜系统
T7~v40jn| 微结构晶圆检测系统
)S;ps 泰伯效应
pQ{t< > Q&A
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