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!$ 时间地点 pi q%b] 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
Z+' 7c|a 苏州黉论教育咨询有限公司
R,x\VX!| 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
U2$e?1y 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
$T8Ni!#/C 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
m%m/#\J E 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
ba1zu|@w '=G 4R{ 课程简介:
Mou>|U1e" 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
IfF<8~~E eVjr/nm 课程大纲:
LUna stA^ 第一天
;VSHXU'H 1. 光栅结构建模
:[#HP66[O5 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 CtTG`)"| 光栅的建模
*P 5Xy@: 2. 光栅仿真算法比较
R{NmWj['Mg 薄元近似法(Thin Element Approximation)
Y\(Q 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
Dp8YzWL2^ 3. 光栅严格分析实例
T?N' k= 闪耀光栅
yeFt0\=H 光栅与偏振
^DS9D:oE 非傍轴衍射分束器分析
,+3l9FuQ 4. 光栅设计与优化
#*BcO-N 倾斜光栅结构参数优化
i*:lZ eU61 公差分析
p~J`}>yo 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
Sir7TQ4B 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
@
eqVug Q&A
l]%_D*<Y -PbGNF 第二天
36`aG Y 1. 二维光栅结构建模
ld-c? 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
|eAl!k 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
;Z-xum{ 2. 二维光栅设计优化
U;Se'*5xv 抗反射蛾眼结构设计
%a<N[H3NV@ 公差分析
*>n<7T0
纳米柱的严格分析
n7i;^=9mM 共振
光子晶格仿真
s4Lqam! 3. 超表面微纳结构
$xNM^O 超表面分光光栅设计
:/c=."z. 设计和分析超透镜
{-2I^Ym 5i 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
fKY6stJE 4. 包含光栅的光学系统仿真
dms R>Q 光栅衍射测量
C|5eV=f)P 结构光
照明的显微镜系统
|Kky+* 微结构晶圆检测系统
+v2Fr} 泰伯效应
6AKH0t|4 Q&A
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