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*z^Au7,& 内容简介 hd W7Qck " Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 >avkiT2 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 tB`IBuy9!" 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `SA1V),~ 9
^=kt 2[ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 gnadx52FP 目录 ?u5jXJ0L Preface 1 `{NbMc\
] 内容简介 2 ,0eXg 目录 i kDG?/j90D 1 引言 1 :<v@xOzxx 2 光学薄膜基础 2 R[l~E![!j 2.1 一般规则 2 T^ - - :1 2.2 正交入射规则 3 ^iWJqpLe 2.3 斜入射规则 6 }L
@~!=q* 2.4 精确计算 7 6,!$S2(zT 2.5 相干性 8 U,8mYv2| 2.6 参考文献 10 !AGoI7W} 3 Essential Macleod的快速预览 10 +F~B"a 4 Essential Macleod的特点 32 3bT?4 4.1 容量和局限性 33 :jJ0 +Q 4.2 程序在哪里? 33 U|b)Bw<P 4.3 数据文件 35 ==S^IBG 4.4 设计规则 35 |d,bo/: 4.5 材料数据库和资料库 37 xyHv7u%* 4.5.1材料损失 38 mnx`e>0 4.5.1材料数据库和导入材料 39 rH'|$~a 4.5.2 材料库 41 fOdX2{7m 4.5.3导出材料数据 43 4?]s%2U6 4.6 常用单位 43 ?@<Tzk]a. 4.7 插值和外推法 46 ]G^9PZ- 4.8 材料数据的平滑 50 hxt;sQAo{ 4.9 更多光学常数模型 54 8tO.o\)h 4.10 文档的一般编辑规则 55 !$#5E1:\ 4.11 撤销和重做 56 =}0$|@pl 4.12 设计文档 57 39d$B'"<1 4.10.1 公式 58 xIH= gK 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Ap 3B' 4.10.3 沉积密度 59 Zy|u5J 4.10.4 平行和楔形介质 60 ND/oKM+? 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 -j@IDd7 4.10.4 性能 61 3S1{r
)[j 4.10.5 保存设计和性能 64 |{RCvm 4.10.6 默认设计 64 J ~KygQ3% 4.11 图表 64 pktnX-Slt 4.11.1 合并曲线图 67 )P,pW?h$ 4.11.2 自适应绘制 68 ce*?crOV 4.11.3 动态绘图 68 $LG.rJ/* 4.11.4 3D绘图 69 A-*MH#QUKh 4.12 导入和导出 73 $j\jT 4.12.1 剪贴板 73 B5+$VQ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 5=Y(.}6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 yZ]?-7 4.13 背景 77 kh8 M= 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 D={$l'y9p 4.15 生成Rugate 84 [ua[A;K 4.16 参考文献 91 7%G&=8tq 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 b`ksTO`}x 5.1 Jobs 92 m_FTg)_= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 h)aLq 5.3 输入材料 94 J4s`U/F 5.4 设计数据文件夹 95 ",' Zr<T 5.5 默认设计 95 7K+eI!m.s 6 细化和合成 97 DiZ;FHnaG? 6.1 优化介绍 97 Z-yoJZi 6.2 细化 (Refinement) 98 c`N_MP 6.3 合成 (Synthesis) 100 N34bB>_ 6.4 目标和评价函数 101 4G hg~0 6.4.1 目标输入 102 w2jB6NQX 6.4.2 目标 103 C
=B a|Z 6.4.3 特殊的评价函数 104 P@x@5uC2 6.5 层锁定和连接 104 P.(z)!] 6.6 细化技术 104 KuEM~Q= 6.6.1 单纯形 105 Z_7TD) 6.6.1.1 单纯形参数 106 y<#Hq1 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 \Ym!5,^o 6.6.2.1 Optimac参数 108 vl?fCO 6.6.3 模拟退火算法 109 2/Y e<.# 6.6.3.1 模拟退火参数 109 8#9OSupp 6.6.4 共轭梯度 111 t;:Yf 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 lE!.$L*k 6.6.5 拟牛顿法 112 ]mjKF\ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 R/ x-$VJ 6.6.6 针合成 113 9;rZ )QD 6.6.6.1 针合成参数 114 6zi
Mf 6.6.7 差分进化 114 "{d[V(lE" 6.6.8非局部细化 115 l{VJaZ $M 6.6.8.1非局部细化参数 115 lwo,D} 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ,u!_mV 6.7.1 细化 116 :c`djM^ll 6.7.2 合成 117 {7q8@`Oa 6.8 参考文献 117 NxB/U_j 7 导纳图及其他工具 118 +vPCr&40 7.1 简介 118 }.=@^-JBA5 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 '*t<g@2$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ]iZ-MG)J 7.2.2 导纳图 120 @&9<)1F 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 3M'Y'Szm 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 rP/W,!
7:K 7.5 斜入射导纳图 141 BZjL\{IW 7.6 对称周期 141 A5O; C 7.7 参考文献 142 `8TL*.9 8 典型的镀膜实例 143 JD AX^] 8.1 单层抗反射薄膜 145 #vViEBVeN 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ZW
5FL-I 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 qQS&K%F 8.4 W-膜层 148 =,&{ &m) 8.5 V-膜层 149 6+C]rEY/o
8.6 V-膜层高折射基底 150 F$9+WS`c 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 u!b0<E 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 n:Dr< q. 8.9 四层抗反射薄膜 153 J`wx72/-ZW 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 XHY,;4 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 HDz"i 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 WckWX]};S 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 B<~BX[ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 cl M6R 8.15十五层宽带抗反射膜 159 6U]r 3
Rr 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 _cJ\A0h^ 8.17 1/4波长堆栈 162 t3!~=U 8.18 陷波滤波器 163 ("=24R=a 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 18y'#<X! 8.20 褶皱 165 ^a#W|-: 8.21 消偏振分光器1 169 -or)NE
8.22 消偏振分光器2 171 'ztY>KV j 8.23 消偏振立体分光器 172 8Z
0@-8vi 8.24 消偏振截止滤光片 173 ;3Q3!+%j 8.25 立体偏振分束器1 174 *4l6+#W 8.26 立方偏振分束器2 177 T\Jm=+]c! 8.27 相位延迟器 178 PW9tZx# 8.28 红外截止器 179 AO8%!+"_ 8.29 21层长波带通滤波器 180 \JNWL yw 8.30 49层长波带通滤波器 181 'jKCAU5/0; 8.31 55层短波带通滤波器 182 2V$YZSw6q 8.32 47 红外截止器 183 cOP%R_ak? 8.33 宽带通滤波器 184 1#2L9Bi 8.34 诱导透射滤波器 186 8=mx5Gwz- 8.35 诱导透射滤波器2 188 l585L3i 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 xB}B1H% 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 cn'rBY 8.35 增益平坦滤波器 193 *C^TCyBK; 8.38 啁啾反射镜 1 196 hr
g'Z5n 8.39 啁啾反射镜2 198 iF"kR]ZL 8.40 啁啾反射镜3 199 [kI[qByf
8.41 带保护层的铝膜层 200 `,FhCT5 8.42 增加铝反射率膜 201 Jz-RMX= 8.43 参考文献 202 eW[](lGWM 9 多层膜 204 Ul|htB<1: 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 EsLtC5] 9.2 内部透过率 204 `V?NS,@$ 9.3 内部透射率数据 205 85+w\KuEY 9.4 实例 206 #?bOAWAwLh 9.5 实例2 210 59(} D'lw> 9.6 圆锥和带宽计算 212 @$?*UI6y 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ~JOC8dO 10 光学薄膜的颜色 216 M+L0 X$}NZ 10.1 导言 216 Bo/i =/7% 10.2 色彩 216 ?lIh&C8]X 10.3 主波长和纯度 220 4& 9V 10.4 色相和纯度 221 EOf*1/Ih 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 B)Dsen 10.6 色差 226 8b+%:eJ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 {z8wFL\ 10.8 颜色渲染指数 234 /qXP\ a 10.9 色差计算 235 RIF*9= ,S 10.10 参考文献 236 37|EG 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [uu<aRAg3O 11.1 短脉冲 238 3:gF4(. 11.2 群速度 239 jft@ 'W53 11.3 群速度色散 241 OF`:); 11.4 啁啾(chirped) 245 V_T~5%9Fy 11.5 光学薄膜—相变 245 E1|:t$>Ld 11.6 群延迟和延迟色散 246 /Fp@j/50 11.7 色度色散 246 _;G|3>5u 11.8 色散补偿 249 .WW|v 11.9 空间光线偏移 256 v79\(BX 11.10 参考文献 258 \B8[UZA.& 12 公差与误差 260 \-:4TuU 12.1 蒙特卡罗模型 260 VqdR 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 6am<V]Hw0F 12.2.1 误差工具 267 f`p"uLNo< 12.2.2 灵敏度工具 271 AXpyia7nU 12.2.2.1 独立灵敏度 271 M}9PicI?7 12.2.2.2 灵敏度分布 275 E^V4O l< 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 (APGz,^9# 12.3 参考文献 276 o>\epQt~/p 13 Runsheet 与Simulator 277 Gv6#LcF# 13.1 原理介绍 277 Iyt.`z 13.2 截止滤光片设计 277 U p: M[S
14 光学常数提取 289 Ba;tEF{X 14.1 介绍 289 H`8}w{ft& 14.2 电介质薄膜 289 w'P!<JaZ 14.3 n 和k 的提取工具 295 ?) VBkA5j 14.4 基底的参数提取 302 +v|]RgyW) 14.5 金属的参数提取 306 /@K1"/fqH 14.6 不正确的模型 306 &fgfCZz' 14.7 参考文献 311 bH_zWk 15 反演工程 313 e}W|wJ):j@ 15.1 随机性和系统性 313 {8J+Y} 15.2 常见的系统性问题 314 9AZpvQ 15.3 单层膜 314 <z-+{-?z~ 15.4 多层膜 314 b$eZ>X 15.5 含义 319 'E1m-kJz 15.6 反演工程实例 319 hSSFmEpr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |(rTz!!- 15.6.2 反演工程提取折射率 327 CWM_J9f 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 &e1(| qax 16.1 光学性质的热致偏移 329 0uf)6(f 16.2 应力工具 335 ~Z
x_" 16.3 均匀性误差 339 el^WBC3 16.3.1 圆锥工具 339 5U%a$.yr 16.3.2 波前问题 341 ?h'd\.j{ 16.4 参考文献 343 *W=R:Bl! 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 T&kr IZw 17.1 引言 345 Y+_t50S 17.2 操作数 345 r7n-Xe 18 如何在Function中编写脚本 351 %jmL#IN) 18.1 简介 351 Py-}tFr 18.2 什么是脚本? 351 8hm|9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 yX|0R
H 18.4 基础 352 :LBRyBV 18.4.1 Classes(类别) 352 5<L+T 18.4.2 对象 352 `'M}.q,k~ 18.4.3 信息(Messages) 352 |fg{Fpc 18.4.4 属性 352 I]Jz[{~1 18.4.5 方法 353 44(l1xEN+ 18.4.6 变量声明 353 ^jZ4tH3K 18.5 创建对象 354 haIH `SY 18.5.1 创建对象函数 355 B]5G"4, 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Kq2,J&Ca3 18.5.3 丢弃对象 356 o<8=@ ^T 18.5.4 总结 356 @If ^5s;z 18.6 脚本中的表格 357 U<mFwJ C] 18.6.1 方法1 357 fs
wQ* 18.6.2 方法2 357 XKepk? E 18.7 2D Plots in Scripts 358 v6`TbIq% 18.8 3D Plots in Scripts 359 u}I\!-EX!v 18.9 注释 360 uGH>|V9'c 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 {9*k \d/; 18.11 一个更高级的脚本 362 @XFy^? 18.12 <esc>键 364 ~V<imF 18.13 包含文件 365 7! "OF 18.14 脚本被优化调用 366 i$!-mYi+Q! 18.15 脚本中的对话框 368 {%Q&CQG_ 18.15.1 介绍 368 .YcI . 18.15.2 消息框-MsgBox 368 {P@OV1 18.15.3 输入框函数 370 SN/
e41 18.15.4 自定义对话框 371 %>Y86>mVz 18.15.5 对话框编辑器 371 eW^_YG%( 18.15.6 控制对话框 377 /K<.$B8 18.15.7 更高级的对话框 380 rkz_h 18.16 Types语句 384 sM$gfFx 18.17 打开文件 385 _MC\\u/C/ 18.18 Bags 387 r^|AiYI) 18.13 进一步研究 388 dwAFJhgh 19 vStack 389 O4i5fVy{ 19.1 vStack基本原理 389 WGeTL`}dh 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 m?Qr)F_M 19.3 五棱镜 393 L#^'9v}Hb 19.4 光束距离 396 !R.*Vn[
19.5 误差 399 k9pOY]_Y 19.6 二向分色棱镜 399 46cd5SLK 19.7 偏振泄漏 404 4PzCm k 19.8 波前误差—相位 405 V)8d1S 19.9 其它计算参数 405 amY\1quD| 20 报表生成器 406 UBy<
vwnU 20.1 入门 406 WfDpeXdO 20.2 指令(Instructions) 406 ZW0gd7Wh 20.3 页面布局指令 406 *.]M1 20.4 常见的参数图和三维图 407 3A(sT} 20.5 表格中的常见参数 408 42wa9UL<Ka 20.6 迭代指令 408 Ow\dk^\-G8 20.7 报表模版 408 #}Qzu~ 20.8 开始设计一个报表模版 409 !K~:crUV|S 21 一个新的project 413 w[S!U<9/ 21.1 创建一个新Job 414 xbv 21.2 默认设计 415 [spJ%AhV 21.3 薄膜设计 416 5 UQbd8 21.4 误差的灵敏度计算 420 u'BuZF
21.5 显色指数计算 422 &eHhj9 21.6 电场分布 424 DcQ[zdEz+ 后记 426 ZFAi 9M 感兴趣可以扫码加微联系 9j;L-
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