摘要
?Mee
6 gR@C 0 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Zy09L}5 9P h;j I Yxj 
Zc?ppO 2W$c FC 设计任务
Ka`=WeJ| *@TZ+{t 
Dwl3 Cj c,*9K/: 1级
参数优化
) IJQeC =V^.}WtO 
b?eu jxqg 7h )iu9j 结果-容差分析
)>c>oMgl 6[]]Y,Y 
^OErq&`u ~i.k$XGA 结果-容差分析
$t/x;< .H C R|lt 
lq"f[-8a2q nF5qw>t# VirtualLab Fusion一瞥
3 LdQ]S x1z tfJd 
B*gdgM*` 8?FbtBAn VirtualLab Fusion中的工作流程
m5Tr-w$QY $m CarFV-T 构建光栅结构
[7 YPl9 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
t5lO'Ll*Q] −倾斜光栅高级设定[用例]
F H1Z 2 •光栅衍射效率分析
]#.]/f
>- −光栅阶序分析器[用例]
w4LScvBg •使用参数优化进行光栅参数优化
i>_u_)- •使用参数运行的容差分析
8KH\`5< 7w1wr)qSB 
`~ X!Ll ZR\VCVH\^ VirtualLab Fusion技术
L_w+ y `|Or{ih 
vp(;W,ba:|
