摘要
?VR:e7|tU MT{ovDA]. 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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`lC] Q=#N4[W' 设计任务
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l 1eF&wNC M&^Iun 1级
参数优化
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R>R8LIZZc rLp (}^ 结果-容差分析
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=p>IP"HJ 1 i/&t[ 结果-容差分析
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]h?p3T$h uc]`^,`2/ VirtualLab Fusion一瞥
f8S! FGiNc [(m+Ejzi% 
.^V9XN{'a ]La~Bh6;m VirtualLab Fusion中的工作流程
+MyXIWmD 6D/K=- 构建光栅结构
M6XpauR- −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
!dGSZ|YZ −倾斜光栅高级设定[用例]
' ?uwUBi •光栅衍射效率分析
^!rAT1(/_ −光栅阶序分析器[用例]
3NSX(gC% •使用参数优化进行光栅参数优化
dzs(sM= •使用参数运行的容差分析
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1fqJtP6 cj wc:3
CM VirtualLab Fusion技术
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