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摘要 etw.l~y 7=3'PfS 参数的系统性变化对复杂光学系统的详细研究具有重要意义。VirtualLab Fusion允许通过所谓的参数运行功能来实现参数的变化。通过使用参数运行,可以根据分析任务的需求任意配置这些变化。此外,特殊的可编程模式允许自由配置,以提供完全可自定义的参数变化。通过实例介绍了该可编程模式的应用。 9Gh:s6 S[zETRSG
DjLSl,Z jK(]eiR$S 参数运行的初始化 t GS>f>i npCiqO
!#[B#DZc( 6[x6:{^J 参数的选择和变化范围 PP*',D3 ^QG;:.3v 在第二页,必须选择参数运行的模式 C}'Tmi 在下表中,可以选择所需的变化参数,以及相应的变化范围和变化步数 l@W1bS 在这个例子中,矩形光栅的周期和高度是变化的 kO3N.t@n (_0r'{`
7jS`4, `*Ju0)g1 参数运行的自定义 D[H #W[ N+N98~Y`P
2%Mgg,/~ j+eto' 参数运行的自定义 aam6R/4 w;p~|! 在下一页,显示了配置的参数运行的迭代 Ht,+KbB L,\wB7t
$n#NUPzG+ af- 参数运行的设置 (5/>arDn 接下来,对于参数运行的所有模式,必须选择所需的仿真引擎和/或分析器。 dbsD\\,2%N 在本例中,只使用了光栅级次分析器 5>x?2rp 7Zw.mM!i k.n-JS
}K.2 参数运行的设置 }7HR<%<7 然后单击Go开始计算 0ZAT;ea B 计算完成后,所有结果如下表所示。 DG-XX.:z dX;Q\
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