摘要
KUG\C\z6= ` V}e$ 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
!ydJ{\; md_9bq/w gbOd(ugH R9X*R3nB 建模任务
iX0s4 P!qU8AJkt N5u.V\F!z\ q y1$(3t$ 入射平面波
=
8F/]8_ 波长 2.08 nm
\;
Io 光斑直径: 3mm
wykk</eQ.i 沿x方向线偏振
(;2J}XQvO~ M#II,z>q 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
trL:qD+{( 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
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z}v6!u|iZu 概览
"Gx(-NH+ •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
X(F2 5 •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
j8*fa x{IxS?.j+ #Jt9U1WbF 光线追迹模拟
]r;-Lx{F •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
au'Zjj/Ai5 •点击Go!
.b*%c?e •获得3D光线追迹结果。
zoYw[YP 9 {e4`D1B {S4^;Va1 Y>*{(QD 光线追迹模拟
sFaboI •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
6XPf0Gl •单击Go!
o@6:|X)7 •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
W%@L7 xh ZW\}4q;[A 4%/iu)nx B.nq3;Y 光场追迹模拟
Tl9KL%9 •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
q1QrtJFPG •单击Go!
z>$AZ>t%J$ *I7$\0Q .0^-a=/ -gZI^EII 光场追迹结果(照相机探测器)
1DPgiIG~ Jybx'vZj •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
R1Jj 3k •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
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