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5:jme$BI 内容简介 cc3B}^@p= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 oyr b.lu/ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 2x9.>nwhb 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Rk7F;2 ,
^K.J29 讯技科技股份有限公司 }X?#"JFX?
S3l^h4 目录 }I-nT!D'y Preface 1 1Y*k"[?dW 内容简介 2 pS|K[:5 目录 i :L@n(buRN 1 引言 1 +<.o,3 2 光学薄膜基础 2 r7oFG!.? 2.1 一般规则 2 ?'Hd0)yZ 2.2 正交入射规则 3 vi
*A5 2.3 斜入射规则 6 ]XbMqHGS 2.4 精确计算 7 5!fOc]]Ow 2.5 相干性 8 =\|,hg)c 2.6 参考文献 10 7P<f(@0h$E 3 Essential Macleod的快速预览 10 q)L4*O 4 Essential Macleod的特点 32 h x&"f e 4.1 容量和局限性 33 }oA>0Nw$K 4.2 程序在哪里? 33 %4),P(4N 4.3 数据文件 35 !p).3Kx0 4.4 设计规则 35 @fYVlHT%E 4.5 材料数据库和资料库 37 '/NpmNY:L 4.5.1材料损失 38 Ht4O5yl" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :CW^$Zvq 4.5.2 材料库 41 Vy
I\Jmr 4.5.3导出材料数据 43 n0T|U 4.6 常用单位 43 in/~' u 4.7 插值和外推法 46 #Zw:&'
QB 4.8 材料数据的平滑 50 4NW!{Vw , 4.9 更多光学常数模型 54 xi(1H1KN5B 4.10 文档的一般编辑规则 55 Fz';H 4.11 撤销和重做 56 QMz =e 4.12 设计文档 57 4pf@.ra, 4.10.1 公式 58 't}\U&L.{ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 uR
:EH.K 4.10.3 沉积密度 59 u+r!;-0i 4.10.4 平行和楔形介质 60 V%s7*`U 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 /nQuM05*Z 4.10.4 性能 61 %]&$VVVh 4.10.5 保存设计和性能 64 Lo1ySLo$G 4.10.6 默认设计 64 I2WP/ 4.11 图表 64 ^J#*sn 4.11.1 合并曲线图 67 Lm~<BBp. 4.11.2 自适应绘制 68 U%s@np 4.11.3 动态绘图 68 )gdLb} 4.11.4 3D绘图 69 Z! O4hA4 4.12 导入和导出 73 '*mZ/O- 4.12.1 剪贴板 73 /HLI9 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 G|f9l?p 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 uAeo&|& 4.13 背景 77 &&9|;0< 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 wDh]vH[ 4.15 生成Rugate 84 ,{HQKHg 4.16 参考文献 91 p"p~Bx 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 (cOe*>L; 5.1 Jobs 92 N'VTdf? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 6whPW
. 5.3 输入材料 94 1*u]v{JJ( 5.4 设计数据文件夹 95 'wk,t^) 5.5 默认设计 95 7/IL"
D 6 细化和合成 97 }x`Cnn 6.1 优化介绍 97 MGm*({% 6.2 细化 (Refinement) 98 I{cH$jt< 6.3 合成 (Synthesis) 100 |-}.Y(y 6.4 目标和评价函数 101 o13jd NQ- 6.4.1 目标输入 102 >|A,rE^Ojt 6.4.2 目标 103 isL
zgN% 6.4.3 特殊的评价函数 104 yO1
7C 6.5 层锁定和连接 104 dgpE3
37Lt 6.6 细化技术 104 sQ#e 2 6.6.1 单纯形 105 y|ZL<L 6.6.1.1 单纯形参数 106 N9_* {HOy 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 j+gxn_E 6.6.2.1 Optimac参数 108 oL@ -<;zKO 6.6.3 模拟退火算法 109 cDY)QUmi 6.6.3.1 模拟退火参数 109 9KU&M"Yq&i 6.6.4 共轭梯度 111 !6'N-b1 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 S{;Pga*Px 6.6.5 拟牛顿法 112 _M`ZF*o=c 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ^7spXfSAd 6.6.6 针合成 113 <3{MS],<< 6.6.6.1 针合成参数 114 ~gd#cL% 6.6.7 差分进化 114 TM(y%!\ 6.6.8非局部细化 115 'NlhLu 6.6.8.1非局部细化参数 115 BS##nS-[ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ae sk. 6.7.1 细化 116 )*]A$\Oc[ 6.7.2 合成 117 rpRyB9 6.8 参考文献 117 fQa*> **j; 7 导纳图及其他工具 118 WT ;2aS: 7.1 简介 118 %,
psUOY 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 +Umsr 7.2.1 四分之一波长规则 119 nXRa_M(z8 7.2.2 导纳图 120 =8T!ldVxES 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 e%JIqKS 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 9Y,JYc# 7.5 斜入射导纳图 141 RJWO h 7.6 对称周期 141 M4C8K{} 7.7 参考文献 142 ?.VKVTX^ 8 典型的镀膜实例 143 X
61|:E 8.1 单层抗反射薄膜 145 G*9>TavE 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 }i~k:kmV 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 (kLaXayn 8.4 W-膜层 148 o0R?vnA= 8.5 V-膜层 149 ,-e}Xw9 8.6 V-膜层高折射基底 150 OS,!`8cw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 /^.S
nqk 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 jU&m*0nL 8.9 四层抗反射薄膜 153 4?+K
` 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 U.<j2Kum 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 s=n4'`y1 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 s-"KABEE 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]
]U )wg 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 C(XV
YND3 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Q ]CMm2L^f 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 7~XC_Yc1 8.17 1/4波长堆栈 162 rC-E+%y 8.18 陷波滤波器 163 $NVVurXa 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 fY00 8.20 褶皱 165 +\T8`iCFB 8.21 消偏振分光器1 169 |_TiF;^ 8.22 消偏振分光器2 171 A2 +% 8.23 消偏振立体分光器 172 {1SsHir> 8.24 消偏振截止滤光片 173 S oeoUI]m 8.25 立体偏振分束器1 174 .2E/(VM 8.26 立方偏振分束器2 177 g5nJ0=9 8.27 相位延迟器 178 |c/=9Bb 8.28 红外截止器 179 F$as#.7FF 8.29 21层长波带通滤波器 180 D m0)%# 8.30 49层长波带通滤波器 181 @Y/&qpo$#W 8.31 55层短波带通滤波器 182 ;|Mfq`s 8.32 47 红外截止器 183 `"=>lu2H 8.33 宽带通滤波器 184 m%[e_eS 8.34 诱导透射滤波器 186 \AwkK3 8.35 诱导透射滤波器2 188 dkw.o.e 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 %/Wk+r9uu 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (fF8)4l 8.35 增益平坦滤波器 193 UOZ+&DL,L 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]:gW+6w"C 8.39 啁啾反射镜2 198 sQ}|Lu9hZ 8.40 啁啾反射镜3 199 * 1;4&/93o 8.41 带保护层的铝膜层 200 x &R9m, 8.42 增加铝反射率膜 201 i{6&/TBnr 8.43 参考文献 202 [on_=N{W[ 9 多层膜 204 JUr
t%2 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 yu'-'{% 9.2 内部透过率 204 MrR`jXz 9.3 内部透射率数据 205 qLCNANWnd 9.4 实例 206 KkCGL*]K 9.5 实例2 210 Y$ jX 9.6 圆锥和带宽计算 212 v#Rh:#7O%U 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 d=vuy
10 光学薄膜的颜色 216 ov_l)vt
10.1 导言 216 @[g7\d 10.2 色彩 216 ~lo43$)^ 10.3 主波长和纯度 220 {mJ'
Lb0; 10.4 色相和纯度 221 =cEsv&i 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 p*b_"aF 1 10.6 色差 226 6B?jc/V.R 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =Dq&lm,n 10.8 颜色渲染指数 234 relt7 sK 10.9 色差计算 235 8ao-]QoMZ 10.10 参考文献 236
5_;-Qw 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6M
>@DRZ'| 11.1 短脉冲 238 &[[r| 11.2 群速度 239 9rMO= 11.3 群速度色散 241 v@=qVwX 11.4 啁啾(chirped) 245 hoq2zDjD 11.5 光学薄膜—相变 245 u#Ig!7iUu 11.6 群延迟和延迟色散 246 aZb\uMePK 11.7 色度色散 246 JdS,s5Z> 11.8 色散补偿 249 i% 1UUI(W 11.9 空间光线偏移 256 !5 }}mf 11.10 参考文献 258 hVF^"$ 12 公差与误差 260 7FE36Ub9 12.1 蒙特卡罗模型 260 H7Q$k4\l 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 PuJ3#H
T 12.2.1 误差工具 267 Z[nHo' 12.2.2 灵敏度工具 271 n[Q(q[ULV 12.2.2.1 独立灵敏度 271 q\@Zf} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 3Z?ornS 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 rQ.zqr 12.3 参考文献 276 &G"s!: 13 Runsheet 与Simulator 277 |`o|;A] 13.1 原理介绍 277 z,aMbgt 13.2 截止滤光片设计 277 =Ydrct 14 光学常数提取 289 }i8y/CA 14.1 介绍 289 !Aj}sh{ 14.2 电介质薄膜 289 ^4fvV\ne_~ 14.3 n 和k 的提取工具 295 Uoe{,4T 14.4 基底的参数提取 302 c]{}|2u 14.5 金属的参数提取 306 !.'D"Me> 14.6 不正确的模型 306 D3C 7f' 14.7 参考文献 311 8JY0]G6 15 反演工程 313 JN/=x2n. 15.1 随机性和系统性 313 -~]H5er` 15.2 常见的系统性问题 314 G?}?>O 15.3 单层膜 314 X<,QSTP 15.4 多层膜 314 2p&$bft 15.5 含义 319 v^JzbO~|gj 15.6 反演工程实例 319 BzfR8mD 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 fn,n'E] 15.6.2 反演工程提取折射率 327 :GIBB=D9 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 [\W& 16.1 光学性质的热致偏移 329 cA Nt7 16.2 应力工具 335 KM;H '~PZi 16.3 均匀性误差 339
P\MDD@ 16.3.1 圆锥工具 339 @mCe{r*` 16.3.2 波前问题 341 4J5 zSTw 16.4 参考文献 343 W/,bz",v3 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 HS<Jp44 17.1 引言 345 m+!.H\ 17.2 操作数 345 5[4wN(
) 18 如何在Function中编写脚本 351 +ALrHFG 18.1 简介 351 Ye3o}G9z 18.2 什么是脚本? 351 v/ N[)< 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
e;`(* 18.4 基础 352 PRU&y/zZmG 18.4.1 Classes(类别) 352 !CU-5bpu 18.4.2 对象 352 yn\c;Z 18.4.3 信息(Messages) 352 &?R/6"J 18.4.4 属性 352 + Tp% * 18.4.5 方法 353 c
K\
18.4.6 变量声明 353 M)#9Q=< 18.5 创建对象 354 S' $; 18.5.1 创建对象函数 355 zb{79Os[B 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 }*(_JR4G 18.5.3 丢弃对象 356 3Rb#!tx9 18.5.4 总结 356 3`&FXgo 18.6 脚本中的表格 357 mFTuqujO 18.6.1 方法1 357 7n#-3#_mG 18.6.2 方法2 357 \oWpyT _ 18.7 2D Plots in Scripts 358 !K( 18.8 3D Plots in Scripts 359 >UCg3uFj 18.9 注释 360 ?XY'< |