摘要
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q-3V) 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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任务
/b;K • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
PNeh#PI 6) • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
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; 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
nNmsr=y5 连接建模技术：衍射光束分束器
A-ZmG7xk (.3'=n|kE 
MEiRj]t 通过配置助手和IFTA进行相位设计
\.gEh1HW A`6ra}U<
1t9 .fEmT 将传输函数转化为结构
=i HiPvP0 W@\ (nfD2 Ejq#~Zhr! 衍射光束分束器表面
k#:2'!7G "gW7<ilw
Rb}KZ+o "Z 衍射光束求解器 - TEA & FMM
K^t? gt@k} uENdI2EY8y ]=F8p 2w? 光栅级数 & 可编程光栅分析器
a1N!mQ^ B8I4[@m>w\ as"N=\N 设计与评估结果：
G&f7+e • 相位函数设计
4QJ 8Z t • 结构设计
UF__O.l__ • TEA 评估
AK u_~bTk • FMM 评估
8X&Ya = • 高度缩放检查（用于优化/容限）
8n? kZY$, P(om fD4 仅相位传输设计
|Wj;QO$C %|XE#hw %1:c hvS 结构设计
} PeZO!K m W`oq V7t!?xOL 使用TEA进行性能评估
>ad V(V< eR!G[C w- ,R wfp=*E 使用FMM进行性能评估
w>~M}Ahj Wf>^bFb"$ YT yX`Y# 进一步的分析（优化后，容差分析）
K6pR8z*? 5@u~3jPd 
`Xo 4q3 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
Bo\D. a(T $R^lo $( $->d! 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
NyPd5m: nwM)K
So4nJ><p 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
B/eaqJ GHN3PEJ>
