[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 bf3LNV|  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 g2C-)*'{yh  
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任务 eFXxkWR)  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 (o^V[zV  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 8+a/x#b-  

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Pb} &c  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 5:|5NX[.b  
连接建模技术：衍射光束分束器 v Xio1hu  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 doc5;?6   
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将传输函数转化为结构 g^)>-$=  
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F)e*w:D  
衍射光束分束器表面 sLbz@54  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM %9mB4Fc6b)  
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Vu`dEvL?  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 TOMvJ>bF  
b{sE#m%r  
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设计与评估结果： b,T=0W  
• 相位函数设计 >jl"Yr#  
• 结构设计 Xki/5roCQ|  
• TEA 评估 eV9:AN}K=  
• FMM 评估 l$m^{6IYc  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） w?M*n<) O  
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仅相位传输设计 oE)
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结构设计 r@%32h  
h:bs/q+-  
MiRH i<g0  
使用TEA进行性能评估 4vqu(w8 L  
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使用FMM进行性能评估 k})9(Sy~  
DvOg|XUU0  
G#@<bg3  
进一步的分析（优化后，容差分析） 6w1:3~a  
D@ =.4z  
进一步优化 - 调整设计#1的零阶 :+Dn]:\  
>^InNJd  
BM&'3K_y  
进一步优化 - 调整设计#2的零阶 eHnC^W}|s  
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a}>GQu*y  
进一步优化 - 调整设计#3的零阶 M$&>"%Oi  
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