[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 K Vnz{cx`  
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 Thuwme  
E+P-)bRa  
任务 5 ~YaXh^  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 i}~U/.P   
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 v(l:N@L  
v K!vA-7  
Oe&gTXo  
模拟与设置：工具简介与整体流程概览 p5#UH  
连接建模技术：衍射光束分束器 @VnK/5opS  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 VujIKc#4  
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将传输函数转化为结构 ^`fqK4<  
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( c +M"s  
衍射光束分束器表面 m5lTf
 
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衍射光束求解器 - TEA & FMM v|:TYpku3  
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Z(BZGO<  
光栅级数 & 可编程光栅分析器 6,(S}x YDZ  
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设计与评估结果： ?'^yw C`  
• 相位函数设计 .:iO$wjp5  
• 结构设计 #{zF~/Qq  
• TEA 评估 `}#n
#C)  
• FMM 评估 VTn6@z_ x  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） Z+ )<FX  
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仅相位传输设计 O[R
  
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结构设计 z*`nfTw l  
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使用TEA进行性能评估 2 5Ia  
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使用FMM进行性能评估 v+ "9&  
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进一步的分析（优化后，容差分析） 3jw4#GW  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 K4^mG  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 % r0AhWv  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 ^']*UD;  
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