[技术]非傍轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 Fm`*j/rq
 
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非傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射角度相当大，元件的特征尺寸与光的波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。 OAXA<  
JSL&` `  
任务 '{ <RX  
• 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于结构设计部分。 WARiw[  
• 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。 H_&to3b(  
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模拟与设置：工具简介与整体流程概览 <$s6?
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连接建模技术：衍射光束分束器 mG~kf]Y  
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通过配置助手和IFTA进行相位设计 Ph^1Ko"2  
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将传输函数转化为结构 [FBS|v#T  
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衍射光束分束器表面 ~vXbh(MX  
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衍射光束求解器 - TEA & FMM Z@s[8wrmPl  
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光栅级数 & 可编程光栅分析器 J%?5d:iN+  
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设计与评估结果： ,:mL\ZED  
• 相位函数设计 $b`nV4p  
• 结构设计 t+v%%N_  
• TEA 评估 ==Egy:<:Q  
• FMM 评估 G2|jS@L#  
• 高度缩放检查（用于优化/容限） xt}.0dC!/%  
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仅相位传输设计 N**)8(  
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结构设计 Erw1y,mF  
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使用TEA进行性能评估 8&U Mmbgy  
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使用FMM进行性能评估 %*Ex2we&  
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进一步的分析（优化后，容差分析） sT;wHtU  
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进一步优化 - 调整设计#1的零阶 q=pRe-{  
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进一步优化 - 调整设计#2的零阶 !dT+cZsf  
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进一步优化 - 调整设计#3的零阶 JuSS(dJw  
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