摘要
f$qkb$?]} sfk;c#K pA6A*~QE 非
傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
#3?}MC mJYD"WgY 任务
B +MnT{ • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
^Hz1z_[X@ • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
gBOF#"- a\&g;n8jA d>V#?1$h 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
%e:[[yq)G 连接建模技术：衍射光束分束器
Kl<NAv%j }ld^zyL 
7&u$^c S( 通过配置助手和IFTA进行相位设计
] !n3j=* HlEHk' J,\e@ 将传输函数转化为结构
J~C=o(r i8S=uJ]n H4 $f+ 衍射光束分束器表面
"28zLo3 wo;OkJKF u:^sEk"Lk' 衍射光束求解器 - TEA & FMM
*K BaKS } }Z2@} ]r'D 光栅级数 & 可编程光栅分析器
(T%Ue2zlY $9@AwS@Uu mtdy@=?1Y 设计与评估结果：
G Wv i
• 相位函数设计
,T$ GOjt • 结构设计
'8[;
m_S • TEA 评估
Vcnc=ct • FMM 评估
).AMfBQ=; • 高度缩放检查（用于优化/容限）
h1l%\ 3ZH 9E NI %Jz 仅相位传输设计
<@Vf:`a!P> ~+ 9v z 7O :g; UI# 结构设计
@ _W13@| c=zSq%e
X?XB!D7[ 使用TEA进行性能评估
v\_ \bT1 IUNr<w< gA%
A}) 使用FMM进行性能评估
$/|vbe, (.X)= kW1w;}n$ 进一步的分析（优化后，容差分析）
klH? !r& k/sfak{Q 
gS8+S\2 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
43]y]/do (w: ,iw# HUAYtUBH 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
e<* qaUI V )1.)XC '#h ORQ B 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
\KzJ NCOT W)J MV
