[技术]二维非傍轴光束分束超光栅的设计 [复制链接]

摘要 pCh2SQ(Q>  
_5 ^I.5Z3  
与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。 并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。 j^tW Iz  
^O(=Vry  

图片:1-201110101454C1.png

L"jY+{oLIJ  
z!;1i[|x  
设计任务 8mTM$#\  
c9qR'2  

图片:1-20111010151a37.png

FTc.]l
aO  
_A13[Mt3  
仅位相透射设计（IFTA） F!zP<A"  
sg
'pO*_&  

图片:1-2011101016054B.png

ZF7IL  
P 3MhU;  
仅位相透射设计（IFTA） !-`Cp3gqHr  
OU5*9_7.  

图片:1-2011101016324c.png

qyC=(v  
&k-Vcrcz  
超表面晶胞分析 /sM~Uq?  
xx{!3 F  

图片:1-201110101F2W9.png

i%e7LJ@5AW  
~Tbj=f  
构建超光栅 lif&@of  
QrO\jAZ{Ag  

图片:1-201110101H45U.png

,p(<+6QZ  
RrUBpqA  
初始超表面设计的评估 1f",}qe;  
!Z VU,b>  

图片:1-20111010193W64.png

kKC9{^%)  
(=D&A<YX  
参数优化 sf&]u;^D
Y  
lL1k.&|5m  

图片:1-20111010195Y08.png

!*- >;:9B  
bR@p<;G|  
优化超光栅设计的评估 ctE\ q  
()&
~@1U  

图片:1-20111010204DJ.png

X7k.zlH7T  
aQ:5d3m0  
走进VirtualLab U9b?i$  
BIuK @$  

图片:1-20111010210Q07.png

cwiX8e"3  
)K &(  
VirtualLab Fusion的工作流程 McB[|PmC  
 分析超表面晶胞 q, O$ %-70  
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例] dOa%9[  
 构造超光栅 : ]C~gc  
 分析光栅衍射效率 %*BlWk!Q  
- 光栅级次分析 [用例] 2-Y<4'>  
 光栅结构参数优化 fb^fVSh>  
MEB it  

图片:1-201110102140345.png

6{=\7AY  
d!eYqM7-G  
VirtualLab Fusion技术 m2AnXY\  
   pK0"%eA  

图片:1-20111010221II.png