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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-09-21
    摘要 I1>N4R-j  
     d k<XzO~g  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 rf%7b8[v  
    9bq<GC'eX8  
     $<|l E/_]  
    D^;*U[F?  
    建模任务 ~w;]c_{.b  
    uH;-z_Wpn!  
     A &9(mB  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) !'*csg  
     O8W7<Wc |z  
    某一位置的Talbot图样 {?}*1,I  
    fQ=MJ7l  
     @IP)S[^' t  
       "h7tnMS  
    某一位置的Talbot图样 z]bwnJfd  
    |fY/i] Ax  
     ~b|`'kU  
    E|$Oha[  
    不同位置的Talbot图样 `O8b1-1q~  
    ^Mk%z9 ?  
     J!*/a'Cv  
    =60~UM  
    不同位置的Talbot图样 ')$NfarQ.  
    A[YpcG'9  
     ACK1@eF  
    [|3>MZ2/  
    沿Z轴的强度 ;|cTHGxbE  
    ^U8r0]9  
     N=)z  
    xyE1Gw`V  
    走进VirtualLab Fusion h`}3h< 8  
    -sMytHH.  
     iY bX  
    .~gl19#:T  
    VirtualLab Fusion的工作流程 <d7V<&@o=  
    2spg?]  
     构建光栅结构 (:+>#V)pZ  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] kV Rn`n0  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] :` $@}GI  
    ozr9>b>M  
     通过参数运行计算不同位置的强度 4E:bp   
    - 参数运行文件的使用 [用例] {hO`6mr&t  
    9><mp]E4  
    cDXsi#Raj  
    '~wpP=<yyF  
    VirtualLab Fusion技术 -NBiW6b~  
    SgE/!+{  
     1[;@AE2Y  
       =qvZpB7ZZ  
     
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