1. 摘要
i?^L/b`H U
z>+2m( 共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作原理。
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T (< {&1/V 2. 建模任务
V)N%WXG d>qY{Fdz 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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v):Or'$~M c'yxWZEv 3. 聚焦区域的探测场
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9~[Y-cpoi K J4.4Zq{c 4. 来自测试对象的直接反射
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-6B4sZpzD r\^b(rNe *(DV\. l` 5. 待测目标成的像
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}G>8^ 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移
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{3aua:q YNi.SXH 7. 走进VirtualLab Fusion
2[02,FG 9'bwWBf7
A~70 _I5Y"o 8. VirtualLab Fusion中的工作流程
pFjK}JOF o?\?@H gRcQt : 使用界面构造光栅结构
pYf-S?Y/V - 使用界面配置光栅结构[用例]
fI|Nc 复杂
系统中的光栅建模
]~siaiN[ -
光学系统中光栅的建模–实例讨论[用例]
EXqE~afm2 正确设置通道以进行多通道
仿真 f) L - 曲面和光栅区域的通道配置[用例]
$f7l34Sf3 •使用
参数运行检查影响/更改
},-H"Qs - 参数运行文档的使用[用例]
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5:_}zu|!u b4N[)%@ 9. VirtualLab Fusion 技术
`e}B2;$A3 3/eca
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