切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 511阅读
    • 0回复

    [技术]JCMsuite应用：一维周期线栅 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6080
    光币
    24553
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-05
    这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过光栅的二维截面。在这种情况下，线栅的横截面呈梯形，它位于衬底上，被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 nl n OwyMJ  
    光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。 \VN=Ef\E  
    S偏振光照明的近场强度
    P偏振光照明的近场强度 o\6iq  
    后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 &5Y_>{,  
     'MQ%)hipA  
    参数扫描 B8V,)rn  
     w%xCTeK[  
    Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度： &ao(!/im  
    eVt1d2.O  
    在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时，线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系： }9&9G%  
    n%$ &=-Fk  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表