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    [技术]JCMsuite应用：一维周期线栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2023-05-05
    这是一维周期线栅的简单案例。周期单元包含通过光栅的二维截面。在这种情况下，线栅的横截面呈梯形，它位于衬底上，被背景材料包围。示例中的材料选择为铬(线栅)、玻璃(基底)和空气(背景材料)。 -O$vJ,*  
    光栅被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite计算近场分布。下图显示了当波长为193nm时，平面波从衬底侧垂直入射到结构内的近场强度。 GrG'G(NQ  
    S偏振光照明的近场强度
    P偏振光照明的近场强度 4:rwzRDY  
    后处理傅里叶变换计算透射衍射级次的振幅。 2ul8]=  
     j2,sI4  
    参数扫描 imif[n+]}d  
     5.VPK 338A  
    Matlab®脚本data_analysis/run_scan_illumination.m提供对入射角的扫描。它产生了以下图表，显示了反射和透射衍射级次的强度： k( 0;>)<i  
    Q8`V0E\~  
    在脚本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定时，线栅的宽度从150nm增至250nm。这将产生以下线栅宽度依赖关系： y]yl7g =~  
    NC~?4F[  
     
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