白光
干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高
精度测量。利用一个迈克尔逊
干涉仪系统和一个氙灯
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等
光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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A3MZxu=':3 ii_|)udz 2. 建模任务 jom}_
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fVH*dX'Jz /lr1hW~Dbk 3. 干涉条纹的变化 yE.495
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AaVI%$ >@)*Sn9" 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 <.r ]dCf mq
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S,*{q( !2zo]v4? 6. VirtualLab Fusion 技术 H.YIv50E [$( sUc(%
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