共聚焦扫描显微技术在1950年代由ML Minsky发明并获得
专利,后来以
激光作为
光源,现已得到了广泛的应用。通过使用空间针孔来阻挡离焦平面散射或反射的光, 促进提高纵向分辨率和对比度。 在此示例中,我们在VirtualLab Fusion中构建了一个共焦扫描
显微镜,并使用具有变化的脊和槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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y0Gblza 2H w7V3q 2. 建模任务 -HGRrWS Ce-=
- 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,并且探测功率随目标横向位移产生的变化?
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UF^[?M = U]}F A2 3. 聚焦区域的探测场 ;`^_9
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<[n:Ij qpFxl 4. 来自测试对象的直接反射 31c*^ZE.
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Wq 5. 待测目标成的像 QY4;qA qE2VUEv5Y
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R~iv%+ cH*")oD 6. 功率测量VS待测目标的横向偏移 [ KgO:},c
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a9;KS>~bq CR23$<FC 7. 走进VirtualLab Fusion c*7|>7C$i vu@.;-2E%
_ f";zd xi{r-D8Z 8. VirtualLab Fusion中的工作流程 ;8XRs?xyd
+kd1q 5PZ!ZO& 使用界面构造光栅
结构 mST8+R@S s&pnB 复杂
系统中的光栅建模
9vyf9QE; @Q,Q"c2 正确设置通道以进行多通道
仿真 { rLgyrj$ !@ ]IJ"\ •使用
参数运行检查影响/更改
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]w>o=<?b v[|W\y@H/3 9. VirtualLab Fusion 技术 ^wWbW&<Tg
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