[技术]集成微透镜阵列的CMOS传感器分析 [复制链接]

HXV73rDA  
在最近的几十年里，COMS传感器的像素尺寸由最初大于10um以发展至2um，甚至更小。通过减小像素尺寸以获得更高的空间分辨率。与此同时，这也为覆盖在每个像素上的微透镜的功能带来了疑问。在此示例中，我们研究了像素大小等于或小于2um CMOS传感器的性能。 并在仿真分析中采用严格的FMM / RCWA以检测微透镜的有效性。   XQY&4tK  
     2GKU9cV*`  
2. 建模任务 GV@E<dg$R  
GGL4<P7  
     t7+
Ic  
    
l}-`E@w  
3. 2 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) =
bg&CZVT  
?_j6})2zY  
-+_
aL4.  
   Tocdh.H|  
4. 1.8 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) 7>@/*S{X  
2CgIY89O  
2Yd~v|  
     2:/MN2  
5. 1.6 um像素的微透镜阵列(X-Z截面仿真) bnY8.Lpf|  
2&K|~~  
L{,7(C=  
     WJ8vHPSM  
6. 3D仿真与结果对比 '*;eFnmvs:  
F20-!b  
PZg]zz=V4  
}ZVv  
7. 走进VirtualLab Fusion si.a]k/f  
RYJc
>  
a&aIkD  
     WJ4UJdf'  
8. VirtualLab Fusion的工作流程 54cgX)E[x  
rZQHB[^3  
)[X!/KR90  
 构造光栅结构 mf_'| WDs  
- Wy>\KrA1  
 计算光栅结构内部的场分布 IeI%X\G  
]sP9!hup  
'"\Mjz)/  
/~huTKA}  
9. VirtualLab Fusion技术 il%tu<E#J~  
"57G@NC{n