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h4sEH 内容简介 GJ!usv u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Rb#?c+&# 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 28zt.9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 )5&Wt@7Kj` 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 &u$l2hSS t,+p!"MRY
b@nbXm]Z 目录 OG0ro(|dI Preface 1 )TG\P,H9 内容简介 2 U edh4qa 目录 i GMd81@7 1 引言 1 erqg|TsFj 2 光学薄膜基础 2 S tn[M| 2.1 一般规则 2 N\mV+f3A@, 2.2 正交入射规则 3 <4^a(Zh 2.3 斜入射规则 6 <[b\V+M 2.4 精确计算 7 B7va#'ne4{ 2.5 相干性 8 Z$Qlr:7 2.6 参考文献 10 BYP,}yzA 3 Essential Macleod的快速预览 10 ">NBPanJ 4 Essential Macleod的特点 32 %/s:G) 4.1 容量和局限性 33 L2AZ0E"ub 4.2 程序在哪里? 33 wN"irXG 4.3 数据文件 35 eRC@b^~ 4.4 设计规则 35 Ix-FJF- 4.5 材料数据库和资料库 37 =OTwP 4.5.1材料损失 38 u]CW5snz 4.5.1材料数据库和导入材料 39 qDOx5.d 4.5.2 材料库 41 no^I![_M 4.5.3导出材料数据 43 J1&G1\G|s= 4.6 常用单位 43 GXJJOy1"! 4.7 插值和外推法 46 866n{lyL 4.8 材料数据的平滑 50 KYd2=P6 4.9 更多光学常数模型 54 " ?n~ /9` 4.10 文档的一般编辑规则 55 &\`=}hB 4.11 撤销和重做 56 tJ[Hcx*N 4.12 设计文档 57 a{,EX[~b 4.10.1 公式 58 <wc=SMmO 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 zEpcJHI% 4.10.3 沉积密度 59 !2$O^
}6" 4.10.4 平行和楔形介质 60 ``K.4sG 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Z#nj[r!l} 4.10.4 性能 61 @tRq(*(/: 4.10.5 保存设计和性能 64 'C!b($Y 4.10.6 默认设计 64 \P+lb-~\" 4.11 图表 64 \HV%579 4.11.1 合并曲线图 67 +Q8Bin 4.11.2 自适应绘制 68 zf4@:GM` 4.11.3 动态绘图 68 sq\oatMw[ 4.11.4 3D绘图 69 9=K=gfZ 4.12 导入和导出 73 5<Xq7|Jt 4.12.1 剪贴板 73 (KK9/k 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 jun>(7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 hd8:| _ 4.13 背景 77 |*e
>hk 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 [x'xbQLGd 4.15 生成Rugate 84 W,}HQ 4.16 参考文献 91 1#&*xF" 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +i!/J 5.1 Jobs 92 yo#& >W 5.2 创建一个新Job(工作) 93 .UU BAyjm 5.3 输入材料 94 x3MV"hm2 5.4 设计数据文件夹 95 Ir_K83VM 5.5 默认设计 95 (sq4 6 细化和合成 97 Q!(C$&f 6.1 优化介绍 97 ?A3pXa 6.2 细化 (Refinement) 98 2n2{Oy>L 6.3 合成 (Synthesis) 100 +3(1QgYM% 6.4 目标和评价函数 101 [kDjht|$> 6.4.1 目标输入 102 SYOND>E 6.4.2 目标 103 +FP*RNM 6.4.3 特殊的评价函数 104 ?J<Y] 6.5 层锁定和连接 104 7q<I7Wt 6.6 细化技术 104 ;3s_#L 6.6.1 单纯形 105 Hc ]/0: 6.6.1.1 单纯形参数 106 (`>RwooE 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 D0Oh,Fe#M\ 6.6.2.1 Optimac参数 108 ++W_4 B! 6.6.3 模拟退火算法 109 t|jX%s= 6.6.3.1 模拟退火参数 109 x00"d$! 6.6.4 共轭梯度 111 z_~5c 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 {s6;6>-kPW 6.6.5 拟牛顿法 112 a)$" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 qPK3"fzH 6.6.6 针合成 113 #/Y t4n 6.6.6.1 针合成参数 114 'j6PL;~c 6.6.7 差分进化 114 f^@`[MJj1C 6.6.8非局部细化 115 QKDY:1] 6.6.8.1非局部细化参数 115 ;aExEgTq 6.7 我应该使用哪种技术? 116 wrv-"%u) 6.7.1 细化 116 ,R5NKWo 6.7.2 合成 117 3<LG~HWST 6.8 参考文献 117 4#MvOjA5[ 7 导纳图及其他工具 118 ,'?%z>RZm 7.1 简介 118 <*E{zr& 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 d?C8rkV' 7.2.1 四分之一波长规则 119 =PWh,lWS 7.2.2 导纳图 120 !:PF |dZ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 -K hXb 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 SUsD)!u_H 7.5 斜入射导纳图 141 kFZw"5hb 7.6 对称周期 141 t33/QW
r 7.7 参考文献 142 ;
>Tko< 8 典型的镀膜实例 143 KoZ" yD 8.1 单层抗反射薄膜 145 M/C7<?& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 r\Nf309~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 H6X]D"Y, 8.4 W-膜层 148 +O>!x#)&" 8.5 V-膜层 149 R`q*a_ 8.6 V-膜层高折射基底 150 ]CsF} wr'z 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 pt .0%3 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 YzJ\< tkp 8.9 四层抗反射薄膜 153 A@-nn] 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 (1p[K-J)r 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 VZBT'N 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ;Nf5,D.D 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <cm,U)j2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 tn!z^W 8.15十五层宽带抗反射膜 159 9,wd,,ta 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 EEFM1asJf 8.17 1/4波长堆栈 162 d1VNTB 8.18 陷波滤波器 163 k?ubr)[) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 GADb Xp3 8.20 褶皱 165 C9>tj=yEY 8.21 消偏振分光器1 169
C%#=@HC 8.22 消偏振分光器2 171 `_Iy8rv:P 8.23 消偏振立体分光器 172 OCmF/B_ 8.24 消偏振截止滤光片 173 D#|+PG7 8.25 立体偏振分束器1 174 1M+o7HO.mG 8.26 立方偏振分束器2 177 ;BzbWvBo 8.27 相位延迟器 178 a_Y*pOu 8.28 红外截止器 179 A*#.7Np!" 8.29 21层长波带通滤波器 180 ({JXv 8.30 49层长波带通滤波器 181 JW[y 8.31 55层短波带通滤波器 182 Ojqbj0E9 8.32 47 红外截止器 183 X+zFRL% 8.33 宽带通滤波器 184 :{@&5KQ8) 8.34 诱导透射滤波器 186 OI0#@_L& 8.35 诱导透射滤波器2 188 |hBX" 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =kvfe" N0e 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 LV|ZZ.d h 8.35 增益平坦滤波器 193 j\l9|vpp 8.38 啁啾反射镜 1 196 tGHZU^B:} 8.39 啁啾反射镜2 198 K=,nX7Z5 8.40 啁啾反射镜3 199 r}kQ<SRx 8.41 带保护层的铝膜层 200 7u[U %yd 8.42 增加铝反射率膜 201 &)jBr^x#> 8.43 参考文献 202 ny# ?^.1 9 多层膜 204 ~ [L4,q 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Co[fq3iX# 9.2 内部透过率 204 ]D(!ua5|x` 9.3 内部透射率数据 205 B#RBR<MFC 9.4 实例 206 y/U(v"'4U 9.5 实例2 210 _dOR-< 9.6 圆锥和带宽计算 212 P$LHsg] 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Uedzt 10 光学薄膜的颜色 216 ;',hwo_LBf 10.1 导言 216 [:M:6JJ 10.2 色彩 216 g\9I&z~? 10.3 主波长和纯度 220 f#4,2Xf 10.4 色相和纯度 221 qm RdO
R 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 G@s]HJ: 10.6 色差 226 j1/.3\ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 fL^+Qb} 10.8 颜色渲染指数 234 [C1.*Q+l 10.9 色差计算 235 <ezv 10.10 参考文献 236 Hn~=O8/2 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 >`\f,yql6 11.1 短脉冲 238 y b 7 11.2 群速度 239 #<_gY 11.3 群速度色散 241 +Fn^@/?yC 11.4 啁啾(chirped) 245 n*%o!= 11.5 光学薄膜—相变 245 B 4s^X`?z 11.6 群延迟和延迟色散 246 3O{*~D&n 11.7 色度色散 246 Y&vn`# 11.8 色散补偿 249 +|Tz<\.C 11.9 空间光线偏移 256 ZkbaUIQ 11.10 参考文献 258 t(<^of: 12 公差与误差 260 N0Y$QWr_$ 12.1 蒙特卡罗模型 260 +w'"N 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 rL{3O4O 12.2.1 误差工具 267 N?Wx-pK 12.2.2 灵敏度工具 271 o+9b%I^1V 12.2.2.1 独立灵敏度 271 XUI9)Ne 12.2.2.2 灵敏度分布 275 j@yK#==k 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 /O,>s 12.3 参考文献 276 ^,P#
<,D, 13 Runsheet 与Simulator 277 U[4Xo&` 13.1 原理介绍 277 0F"W~OQ6 13.2 截止滤光片设计 277 <F>^ffwGH- 14 光学常数提取 289 [#+yL 14.1 介绍 289 O)0}yF$0 14.2 电介质薄膜 289 U9?fUS 14.3 n 和k 的提取工具 295 FU{$oCh/5 14.4 基底的参数提取 302 2sezZeMV 14.5 金属的参数提取 306 SJseP_- 14.6 不正确的模型 306 `"7}'| 14.7 参考文献 311 |4$.mb.
15 反演工程 313 J$aE:g6' 15.1 随机性和系统性 313 l** gM 15.2 常见的系统性问题 314 3MmpB9l#H 15.3 单层膜 314 cO8':P5Q 15.4 多层膜 314 >yZe1CP 15.5 含义 319 |S0w>VH> 15.6 反演工程实例 319 bvay7 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 cuw 7P 15.6.2 反演工程提取折射率 327 P{bRRn4Z 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Io(*_3V)B 16.1 光学性质的热致偏移 329 K@f@vyw] 16.2 应力工具 335 EJCf[#Sf 16.3 均匀性误差 339 65HP9`5Tm 16.3.1 圆锥工具 339 %Tv2op 16.3.2 波前问题 341 <:n!qQS6 16.4 参考文献 343 |Ix{JP"Lk 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 8gHOs#\ 17.1 引言 345 #JAy 17.2 操作数 345 8opd0'SNaB 18 如何在Function中编写脚本 351 kS7`g A 18.1 简介 351 (^G@-eh 18.2 什么是脚本? 351 t'e\Z2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 @W1F4HYds 18.4 基础 352 sTSNu+ 18.4.1 Classes(类别) 352 NimW=X;c 18.4.2 对象 352 *y0=sG1+D 18.4.3 信息(Messages) 352 7'g{:dzS*3 18.4.4 属性 352 /$U<S" 18.4.5 方法 353 6IPQ}/l 18.4.6 变量声明 353 \C}_l+nY 18.5 创建对象 354 |>~pA} 18.5.1 创建对象函数 355 fP KFU 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 k9_c<TSzu 18.5.3 丢弃对象 356 1EemVZdY 18.5.4 总结 356 y2o~~te 18.6 脚本中的表格 357 ^2a 63_ 18.6.1 方法1 357 8W2oGL6 18.6.2 方法2 357 Rn_FYP 18.7 2D Plots in Scripts 358 6%B) 18.8 3D Plots in Scripts 359 :V!F~ 18.9 注释 360 KK';ho,W 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 m>9j dsqB 18.11 一个更高级的脚本 362 fc<~R 18.12 <esc>键 364 GWa:C\YK 18.13 包含文件 365 F nc MIzp 18.14 脚本被优化调用 366 ".7\>8A#a 18.15 脚本中的对话框 368 =k]2Ad 18.15.1 介绍 368 DS|q(O=7~t 18.15.2 消息框-MsgBox 368 =$-+~ 18.15.3 输入框函数 370 Ih<.2 18.15.4 自定义对话框 371 1d 1
~`B 18.15.5 对话框编辑器 371 jdX* 18.15.6 控制对话框 377 dT7!+)s5- 18.15.7 更高级的对话框 380 J3XrlSc 18.16 Types语句 384 5ENEx 18.17 打开文件 385 KP&$Sl 18.18 Bags 387 Th!;zu^t 18.13 进一步研究 388 uQYenCNXS 19 vStack 389 @y2cC6+'t 19.1 vStack基本原理 389 97 k}{tG 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 k] A(nr 19.3 五棱镜 393 ^#!\VGnL 19.4 光束距离 396 ?|Ey WAL 19.5 误差 399 PJPKn0,W 19.6 二向分色棱镜 399 LT#EYnG 19.7 偏振泄漏 404 6[,7g&C 19.8 波前误差—相位 405 Z~]G+( 19.9 其它计算参数 405 >U)>~SQf 20 报表生成器 406 E:y^= Y 20.1 入门 406 =~TPrO^ 20.2 指令(Instructions) 406 :{9HsF"h0 20.3 页面布局指令 406 )jjL' 20.4 常见的参数图和三维图 407 1&RB=7.h 20.5 表格中的常见参数 408 #nq_R 20.6 迭代指令 408 B'I_i$g4w 20.7 报表模版 408 =>XjChM 20.8 开始设计一个报表模版 409 f!F5d1N 21 一个新的project 413 2({|LQqk 21.1 创建一个新Job 414 ]xGpN ]u 21.2 默认设计 415 Za]~[F 21.3 薄膜设计 416 [X7gP4 21.4 误差的灵敏度计算 420 ZiPz~G0[^ 21.5 显色指数计算 422 ^kke 21.6 电场分布 424 Qq%~e41ec 后记 426 Vjd(Z
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