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ekhv.;N~ 内容简介 }qiZ%cT.G Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 23):OB>S` 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3 09
pl 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 G x[ZHpy; 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 uI-T]N:W8x l1 Kv`v\
\EfX3ghPI 目录 @PvO;]]% Preface 1 :/T\E\Qr 内容简介 2 zL
yI|%KH 目录 i XYo,5- 1 引言 1 5*$yY-A 2 光学薄膜基础 2 xG/Q%A 2.1 一般规则 2 LDjtkD.r 2.2 正交入射规则 3 5?-HQoT)G 2.3 斜入射规则 6 yiZtG#6K{ 2.4 精确计算 7 g,+e3f 2.5 相干性 8 7'IIB1v.\ 2.6 参考文献 10 ,R[$S"]!SH 3 Essential Macleod的快速预览 10 Wi&v?nm 4 Essential Macleod的特点 32 uxf,95<g) 4.1 容量和局限性 33 %)lp]Y33 4.2 程序在哪里? 33 l53i
{o 4.3 数据文件 35 dQj/Sr 4.4 设计规则 35 W"Ip]LJ 4.5 材料数据库和资料库 37 Rml'{S 4.5.1材料损失 38 ?#K.D vGJ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 LlX)xJ 4.5.2 材料库 41 a#j,0FKv 4.5.3导出材料数据 43 |Vpp'ipr 4.6 常用单位 43 IA` voO$ 4.7 插值和外推法 46 7_\sx7h{3 4.8 材料数据的平滑 50 =p@`bx 4.9 更多光学常数模型 54 jaoZ}}V_$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 L"bJ#0m 4.11 撤销和重做 56 XG/xMz~ 4.12 设计文档 57 h]oUY.Pf 4.10.1 公式 58 q|D5
A|) 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 huC{SzXM 4.10.3 沉积密度 59 aoN\n]g 4.10.4 平行和楔形介质 60 [9">}l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ]@$^Ju, 4.10.4 性能 61 Q VTL}AT2: 4.10.5 保存设计和性能 64 yzS^8, 4.10.6 默认设计 64 ETHcZ 4.11 图表 64 N!K%aH~O 4.11.1 合并曲线图 67 Pm/<^z% 4.11.2 自适应绘制 68 _KH91$iW8m 4.11.3 动态绘图 68 "h+Z[h6T 4.11.4 3D绘图 69 eI1zRoIl- 4.12 导入和导出 73 ukR0E4p 4.12.1 剪贴板 73 +dCDk* /m 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 81Kf X {| 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 P)Adb~r 4.13 背景 77 =<n ]T; 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ]\M{Abqd{ 4.15 生成Rugate 84 _EMI%P&s 4.16 参考文献 91 '##?PQ*u 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ly%^\jW 5.1 Jobs 92 o,rF 15 5.2 创建一个新Job(工作) 93 2)=whnFS 5.3 输入材料 94 *wTX 5.4 设计数据文件夹 95 l?m"o-Gp3 5.5 默认设计 95 f-F=!^. 6 细化和合成 97 <j'K7We/tP 6.1 优化介绍 97 eQ>Ur2H8n 6.2 细化 (Refinement) 98 ,XT,t[w 6.3 合成 (Synthesis) 100 JQM_96\ 6.4 目标和评价函数 101 "|3I|#s 6.4.1 目标输入 102 ..`c# O& 6.4.2 目标 103 <X8Urum 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ux_tzd0!
6.5 层锁定和连接 104 lM\dK)p21O 6.6 细化技术 104 i<ES/U\ 6.6.1 单纯形 105 [7@blU 6.6.1.1 单纯形参数 106 HJl?@&l/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 |xB`cSu( 6.6.2.1 Optimac参数 108 CF;Gy L1M 6.6.3 模拟退火算法 109 x@
=p 6.6.3.1 模拟退火参数 109 H:(B^uH 6.6.4 共轭梯度 111 )U\i7[k> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 oKn$g[,SJh 6.6.5 拟牛顿法 112 MRpMmu 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @D9O<x 6.6.6 针合成 113 M XG>| 6.6.6.1 针合成参数 114 $>/d)o 6.6.7 差分进化 114 L2VwW 6.6.8非局部细化 115 Q,NnB{R 6.6.8.1非局部细化参数 115 K&[0`sH! 6.7 我应该使用哪种技术? 116 e i=
4u' 6.7.1 细化 116 FF8jW1 6.7.2 合成 117 :BxO6@>Xc 6.8 参考文献 117 s@L ;3WdO 7 导纳图及其他工具 118 )q<VZ|V 7.1 简介 118 Y(,RJ&7 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 2?
E;(]dQ 7.2.1 四分之一波长规则 119 I=L["] 7.2.2 导纳图 120 ]xvA2!)Q 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 g(&cq 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 R2)@Q 7.5 斜入射导纳图 141 ?xaUWD 7.6 对称周期 141
9tpyrGv 7.7 参考文献 142 :j]6vp6 8 典型的镀膜实例 143 <Y)14w% 8.1 单层抗反射薄膜 145 5X0ex. 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ,3?=W/Um4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 sPK ]:iC 8.4 W-膜层 148 DGJ:#UE 8.5 V-膜层 149 XoyxS:=>|[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 5]i#l3") 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %E%=Za 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 0L>3i8' 8.9 四层抗反射薄膜 153 EeYL~ORdi 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 WoXAOj%iW 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 g+o$&'\ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8$-MUF, 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 x)?V{YAL 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 %/2
` u 8.15十五层宽带抗反射膜 159 `O7vPE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 G4i%/_JU 8.17 1/4波长堆栈 162 1XN%&VR>^D 8.18 陷波滤波器 163 'N{1b_v? 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 l
i<9nMZ< 8.20 褶皱 165 `)O9
'568 8.21 消偏振分光器1 169 z
4}"oQk:r 8.22 消偏振分光器2 171 oN}\bK 8.23 消偏振立体分光器 172 Y's=31G@ 8.24 消偏振截止滤光片 173 G:e=9qTf 8.25 立体偏振分束器1 174 }zA|M9%E 8.26 立方偏振分束器2 177 @C-dCC? 8.27 相位延迟器 178 1
k!gR 8.28 红外截止器 179 *c#DB{N 8.29 21层长波带通滤波器 180 /%m?D o 8.30 49层长波带通滤波器 181
k[mp( 8.31 55层短波带通滤波器 182 D?ic~-& 8.32 47 红外截止器 183 7UBW3{d/u5 8.33 宽带通滤波器 184 l4kqz.Z-g 8.34 诱导透射滤波器 186 U$D:gZ 8.35 诱导透射滤波器2 188 *e ffDNE! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
Gh_5$@ hF 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]9@4P$I 8.35 增益平坦滤波器 193 86%k2~L
8.38 啁啾反射镜 1 196 /;_$:`|/ 8.39 啁啾反射镜2 198 0of:tZU 8.40 啁啾反射镜3 199 UVXruH 8.41 带保护层的铝膜层 200 C=c&.-Nb9 8.42 增加铝反射率膜 201 {X,-T& 8.43 参考文献 202 !T`g\za/ 9 多层膜 204 em'3 8L|( 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 #p"F$@N 9.2 内部透过率 204 Tx?s?DwC 9.3 内部透射率数据 205 KUW )F 9.4 实例 206 f$ /C.E 9.5 实例2 210 :V8oWMY 9.6 圆锥和带宽计算 212 }!g$k
$y 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 LZ#A`&qUd 10 光学薄膜的颜色 216 S%p,.0_ 10.1 导言 216 lxTqGwx 10.2 色彩 216 >CCy2W^W 10.3 主波长和纯度 220 XPYf1H 10.4 色相和纯度 221 PJb/tKC 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 |{MFo) 10.6 色差 226 O0^Y1l 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 H{P*d=9v 10.8 颜色渲染指数 234 &}gH!5L m 10.9 色差计算 235 [HXd|,~_j- 10.10 参考文献 236 '(ETXQ@ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Q-_;.xy#4 11.1 短脉冲 238 {w>ofyqfp& 11.2 群速度 239 s/?(G L+Ae 11.3 群速度色散 241 I-s$U T[p 11.4 啁啾(chirped) 245 ADP[KZO$4 11.5 光学薄膜—相变 245 (4l M3clF 11.6 群延迟和延迟色散 246 OwC{ Ad{ 11.7 色度色散 246 ;).QhHeg> 11.8 色散补偿 249 ;XY#Jl>tg 11.9 空间光线偏移 256 oz'jt} ?
11.10 参考文献 258 %|}7YH41 12 公差与误差 260 sN[q.M? 12.1 蒙特卡罗模型 260 w2"]%WS % 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ORo +]9)Yv 12.2.1 误差工具 267 +DT
tKj 12.2.2 灵敏度工具 271 }L Brk0] 12.2.2.1 独立灵敏度 271 -J!k|GK#MX 12.2.2.2 灵敏度分布 275 blV'-Al 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Y$q--JA 12.3 参考文献 276 /4BYH?* 13 Runsheet 与Simulator 277 _#U hXXD 13.1 原理介绍 277 2\}6b4 13.2 截止滤光片设计 277 M>Ws}Y 14 光学常数提取 289 5tbi}; 14.1 介绍 289 'vIVsv<p 14.2 电介质薄膜 289 ELV$!f|u 14.3 n 和k 的提取工具 295 MM+nE_9lV 14.4 基底的参数提取 302 z81`Lhg6 14.5 金属的参数提取 306 {7Ez7'SVV 14.6 不正确的模型 306 /i~n**HeF? 14.7 参考文献 311 5geZ6]| 15 反演工程 313 j|% C?N 15.1 随机性和系统性 313 .9bP8u2B{ 15.2 常见的系统性问题 314 `4]-B@
7_ 15.3 单层膜 314 /Bnh%6#ab 15.4 多层膜 314 fl9J 15.5 含义 319 1K$8F ~%Z 15.6 反演工程实例 319 p)Q=' 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ]\R%@FCYc 15.6.2 反演工程提取折射率 327 d 7QWK(d 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 <
uzDuBN 16.1 光学性质的热致偏移 329 W{'tS{ 16.2 应力工具 335 -,xsUw4 16.3 均匀性误差 339 _{gRCR) 16.3.1 圆锥工具 339 I'uRXvEr7 16.3.2 波前问题 341 == i?lbj 16.4 参考文献 343 'v3>"b 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 /?8rj3 17.1 引言 345 'r`-J4icX 17.2 操作数 345 cbA90 8@s 18 如何在Function中编写脚本 351 0jwex 18.1 简介 351 w0t||qj^>" 18.2 什么是脚本? 351 B8G1
#V_jK 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 FZtIC77X5 18.4 基础 352 C@
z^{Z+ 18.4.1 Classes(类别) 352 [^-DFq5@ 18.4.2 对象 352 3>sA_ 18.4.3 信息(Messages) 352 q:v&wb% 18.4.4 属性 352 uod&'g{N 18.4.5 方法 353 ZgI1Byf 18.4.6 变量声明 353 {7X80KI 18.5 创建对象 354 '%9e8C| 18.5.1 创建对象函数 355 *9Nq^+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 -5yEd>Z 18.5.3 丢弃对象 356 S-6%mYf 18.5.4 总结 356 oW/ #/;|` 18.6 脚本中的表格 357 rfMzHY}% 18.6.1 方法1 357 gg%OOvaj5 18.6.2 方法2 357 MkG*6A 18.7 2D Plots in Scripts 358 P\CT|K'P 18.8 3D Plots in Scripts 359 O9W|&LAL 18.9 注释 360 ) >SU J^u 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 &<sDbNS 18.11 一个更高级的脚本 362 RI_3X5.KQ 18.12 <esc>键 364 sk_Q\0a 18.13 包含文件 365 t|aBe7t7 18.14 脚本被优化调用 366 It@.U| 18.15 脚本中的对话框 368 e[7n`ka
' 18.15.1 介绍 368 Ol'Ct'_k," 18.15.2 消息框-MsgBox 368 LN?W~^gsR 18.15.3 输入框函数 370 9IC|2w66 18.15.4 自定义对话框 371 _YW1Mk1 18.15.5 对话框编辑器 371 %A dE5HI- 18.15.6 控制对话框 377 /_P5UE( 18.15.7 更高级的对话框 380 I vQ]-A}N 18.16 Types语句 384 Iw$7f kq 18.17 打开文件 385 y
ZsC> 18.18 Bags 387 Q_F8u!qrZ 18.13 进一步研究 388 Hb;#aXHSd 19 vStack 389 $;dSM<r 19.1 vStack基本原理 389 tPHDnh^n] 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 +idj,J| 19.3 五棱镜 393 qffXm`k 19.4 光束距离 396 d-=/@N!4e 19.5 误差 399 -q BrJ1* 19.6 二向分色棱镜 399 y#Ao6Od6 19.7 偏振泄漏 404 h+!Ld^'c 19.8 波前误差—相位 405 RAQi&?Ko 19.9 其它计算参数 405 [g:ZIl4p\P 20 报表生成器 406 w"O^CR) 20.1 入门 406 [ENm(e$sI 20.2 指令(Instructions) 406 Ii/#cdgF 20.3 页面布局指令 406 S&% GB 20.4 常见的参数图和三维图 407 DUxj^,mf, 20.5 表格中的常见参数 408 &C+pen)Z 20.6 迭代指令 408 LuB-9[^< 20.7 报表模版 408 7p(^I*| 20.8 开始设计一个报表模版 409 mpBSd+;Z 21 一个新的project 413 geL)v7t+# 21.1 创建一个新Job 414 <8>gb!D G 21.2 默认设计 415 jd|? aK;( 21.3 薄膜设计 416 k"V| f& 21.4 误差的灵敏度计算 420 r(IQ)\GR 21.5 显色指数计算 422 hGx)X64Mw 21.6 电场分布 424 G _{x)@ 后记 426 G-[fz
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