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S7f.^8 内容简介 xBTx`+%WS Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 kWZY+jyt P 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
w_Slg&S 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 z0<E3t 此书也是Macleod先生生前的最后一部作品,非常有纪念收藏价值!有兴趣的可以联系我 HdqB B {k_\1t(/
&`l\Q\_[@ 目录 uv/\1N;V3 Preface 1 OVi<d 内容简介 2 -!1=S: S 目录 i >80k5$t 1 引言 1 $lf/Mg_H 2 光学薄膜基础 2 }h45j84) 2.1 一般规则 2 c#{lXS^ 2.2 正交入射规则 3 x:MwM? 2.3 斜入射规则 6 5:IDl1f5 2.4 精确计算 7 F%|P#CaB 2.5 相干性 8 *zrGrk:l 2.6 参考文献 10 {S{ %KkAV 3 Essential Macleod的快速预览 10 h8`On/Ur_8 4 Essential Macleod的特点 32 rwLKY.J] 4.1 容量和局限性 33 {wz)^A
sy 4.2 程序在哪里? 33 );d 07\V 4.3 数据文件 35 agx8 *x 4.4 设计规则 35 IAH"vHM 4.5 材料数据库和资料库 37 <!Cjq,Sk7 4.5.1材料损失 38 ;m7G8)I 4.5.1材料数据库和导入材料 39 M=Ze)X\E*' 4.5.2 材料库 41 _HHvL= 4.5.3导出材料数据 43 8)1q,[:M 4.6 常用单位 43 =\%ER/ 4.7 插值和外推法 46 g D6S%O 4.8 材料数据的平滑 50 t8-Nli*O 4.9 更多光学常数模型 54 ),p0V
4.10 文档的一般编辑规则 55 #("M4}~ 4.11 撤销和重做 56 x*vD^1"'P 4.12 设计文档 57 prj( 4.10.1 公式 58 L8h3kT 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 R BHDfm'~7 4.10.3 沉积密度 59 @FN|=?8% 4.10.4 平行和楔形介质 60 n>, :*5"G 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 7?whxi Qs 4.10.4 性能 61 QGuqV8 y0 4.10.5 保存设计和性能 64 ^H.B6h? 4.10.6 默认设计 64 7(+4^ 4.11 图表 64 &RZO\ZT 4.11.1 合并曲线图 67 fY&TI}Y 4.11.2 自适应绘制 68 n\((#<& 4.11.3 动态绘图 68 Sxq@W8W 4.11.4 3D绘图 69 bHG<B 4.12 导入和导出 73 ,<%uG6/",g 4.12.1 剪贴板 73 t<` As6} 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 (SRY(q 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 eTp|!T 4.13 背景 77 RdPk1?}K 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 l%EvXdZuOy 4.15 生成Rugate 84 GFdbwn5B 4.16 参考文献 91
d78 [(; 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _l7_!Il_ 5.1 Jobs 92 >*{k~Y-G 5.2 创建一个新Job(工作) 93 'd$RNqe 5.3 输入材料 94 ~-zIB=TyK 5.4 设计数据文件夹 95 W\zZ&*8$ 5.5 默认设计 95 P'qBqx[ 6 细化和合成 97 jV}8VK*`+ 6.1 优化介绍 97 r"2lcNE 6.2 细化 (Refinement) 98 j$q5m 24L 6.3 合成 (Synthesis) 100 m:h6J''<Z* 6.4 目标和评价函数 101 BFW b0;+ 6.4.1 目标输入 102 @??3d9I 6.4.2 目标 103 v`,!wS
6.4.3 特殊的评价函数 104 -NJpql{Cb 6.5 层锁定和连接 104 o9e8Oj& 6.6 细化技术 104 =Mx"+/Yo* 6.6.1 单纯形 105 s9+):,dKP 6.6.1.1 单纯形参数 106 Dq<la+VlO 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]Kq<U%x$ 6.6.2.1 Optimac参数 108 C})Dvh 6.6.3 模拟退火算法 109 %FYhq:j 6.6.3.1 模拟退火参数 109 g}0K@z3 6.6.4 共轭梯度 111 Br9j)1; 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 =T9h7c R 6.6.5 拟牛顿法 112 #s c!H4 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 P_5aHeiJ 6.6.6 针合成 113 Eto"B" 6.6.6.1 针合成参数 114 a5#G48'X 6.6.7 差分进化 114 -0CBMoe 6.6.8非局部细化 115 jcqUY+T$ 6.6.8.1非局部细化参数 115 id:,\iJ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 f8lyH'z0
@ 6.7.1 细化 116 Hq}g1?b 6.7.2 合成 117 SvSO?H!- 6.8 参考文献 117 [gBf1,bK 7 导纳图及其他工具 118 HZAT_ 7.1 简介 118 u*@R`,Y
7.2 薄膜作为导纳的变换 118 +JtK VF 7.2.1 四分之一波长规则 119 X "7CN Td 7.2.2 导纳图 120 7_ix&oVI 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 P6GTgQ<'BA 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 zj r($? 7.5 斜入射导纳图 141 6#U~>r/ 7.6 对称周期 141 >;4q 7.7 参考文献 142 u9f^wn 8 典型的镀膜实例 143 U6/7EOW, 8.1 单层抗反射薄膜 145 mvjx
&+q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *:H,-@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ;9j ]P56 8.4 W-膜层 148 0;TiNrzg 8.5 V-膜层 149 eWDXV-xD 8.6 V-膜层高折射基底 150 Zeg'\&w0s 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Hy3J2p9. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 W5Z-s.o 8.9 四层抗反射薄膜 153 *Vl#]81~ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <}WSYK,zUY 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 my A;Y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 f)_<Ih\/7_ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 v>LK+|U 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 S} UYkns* 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @;eH~3P 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ?Vg~7Eu0 8.17 1/4波长堆栈 162 c(=>5 8.18 陷波滤波器 163 Oz%6y
ri 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 \YzKEYx+ 8.20 褶皱 165 T@ESMPeU:X 8.21 消偏振分光器1 169 S Q:H2vvD 8.22 消偏振分光器2 171 7Y@]o=DIc 8.23 消偏振立体分光器 172 f0g/`j@Up 8.24 消偏振截止滤光片 173 fC'u-m?!Q' 8.25 立体偏振分束器1 174 /)TeG]Xg 8.26 立方偏振分束器2 177 #Q=73~
8.27 相位延迟器 178 >Y4^<!\v 8.28 红外截止器 179 $EY[CA
E 8.29 21层长波带通滤波器 180 Mk#r_:[BS 8.30 49层长波带通滤波器 181 7kV$O(4 8.31 55层短波带通滤波器 182 qWW\d', . 8.32 47 红外截止器 183 1L::Qu%E 8.33 宽带通滤波器 184 aiX&` 8.34 诱导透射滤波器 186 _:\rB 8.35 诱导透射滤波器2 188 |5(un# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _XZK2Q[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 nq?+b >// 8.35 增益平坦滤波器 193 "*#f^/LS 8.38 啁啾反射镜 1 196 I7Kgi3 8.39 啁啾反射镜2 198 g"n>v
c7 8.40 啁啾反射镜3 199 /ZiMD;4@y 8.41 带保护层的铝膜层 200 6%p6BK6 8.42 增加铝反射率膜 201 @VP/kut 8.43 参考文献 202 je$H}D 9 多层膜 204 e-`9-U%6 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $DH/ 9.2 内部透过率 204 Fw[1Aa# 9.3 内部透射率数据 205 iyCH)MA 9.4 实例 206 x(u.(:V 9.5 实例2 210 BsXF'x<U* 9.6 圆锥和带宽计算 212 {G=> WAXo 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 N_:!uR 10 光学薄膜的颜色 216 w;@v#<q6 10.1 导言 216 Fb<'L5}i 10.2 色彩 216 =?Ry,^=b 10.3 主波长和纯度 220 pWzYC@_W
10.4 色相和纯度 221 Mm8_EjMp 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ?W ^`Fa)]o 10.6 色差 226 gAvNm[=wD2 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Tg
O]q4 10.8 颜色渲染指数 234 x3'ANw6E 10.9 色差计算 235 o!h::j0,~ 10.10 参考文献 236 Ow?~+)
4 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 9u=]D> kb 11.1 短脉冲 238 hFoeVM[h 11.2 群速度 239 9*j"@Rm 11.3 群速度色散 241 Yw=@*CK' 11.4 啁啾(chirped) 245 Z-t qSw8n 11.5 光学薄膜—相变 245 3U?gw!M> 11.6 群延迟和延迟色散 246 r9}(FL/)b 11.7 色度色散 246 ?_{{iil 11.8 色散补偿 249 7mnO60Z8N 11.9 空间光线偏移 256 evEdFY 11.10 参考文献 258 zfUj%N 12 公差与误差 260 I@N/Y{y# 12.1 蒙特卡罗模型 260 U{EcV%C2 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 q ) 5s'( 12.2.1 误差工具 267 @QJPcF" 12.2.2 灵敏度工具 271 vKoQ!7g 12.2.2.1 独立灵敏度 271 dn~k_J=p 12.2.2.2 灵敏度分布 275 D {E,XOi 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 q\P{h ij 12.3 参考文献 276 ow (YgM>t 13 Runsheet 与Simulator 277 rr1,Ijh{D 13.1 原理介绍 277 S5m.oHJI* 13.2 截止滤光片设计 277 ^,'KmZm= 14 光学常数提取 289 p&(z'd 14.1 介绍 289 +tkm,>s 14.2 电介质薄膜 289 }rVLWt 14.3 n 和k 的提取工具 295 "JF 14.4 基底的参数提取 302 A\/DAVnI 14.5 金属的参数提取 306 )@B! 14.6 不正确的模型 306 SPTx-b[ 14.7 参考文献 311 iU{\a, 15 反演工程 313 Ei,dO;& 15.1 随机性和系统性 313 MkZoHzg}c 15.2 常见的系统性问题 314 5#_GuL% 15.3 单层膜 314 V?MaI.gj 15.4 多层膜 314 ]*DIn1C^ 15.5 含义 319 Ey&A\ 15.6 反演工程实例 319 t P'._0n0 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 4.%/u@rAi 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Jk<b#SZ[b 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 V-%jSe< 16.1 光学性质的热致偏移 329 q 3,p=ijJ 16.2 应力工具 335 kU)E-h 16.3 均匀性误差 339 X|TGM 16.3.1 圆锥工具 339 A9HgABhax 16.3.2 波前问题 341 ]R"n+LnI:= 16.4 参考文献 343 ;cv\v(0 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 !M6Km(> 17.1 引言 345 A8nf"mRD: 17.2 操作数 345 PVq y\i 18 如何在Function中编写脚本 351 $xcU*?=K 18.1 简介 351 >\Iy <M 18.2 什么是脚本? 351 &~)1mnv. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 L@ N\8mf 18.4 基础 352 _A$V~Hp9q 18.4.1 Classes(类别) 352 Ip,0C8T`Q 18.4.2 对象 352 >y@3`u] 18.4.3 信息(Messages) 352 nzi)4"3O 18.4.4 属性 352 AdF[>Wv 18.4.5 方法 353 (j)>npOd9 18.4.6 变量声明 353 "aGpC{ 18.5 创建对象 354 scEE$: 18.5.1 创建对象函数 355 xtS0D^ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =-uk7uZM 18.5.3 丢弃对象 356 b\"2O4K,) 18.5.4 总结 356 ?P2d
9b 18.6 脚本中的表格 357 &2Cu"O'.i 18.6.1 方法1 357 O;;vz+ j 18.6.2 方法2 357 D7N` %A8 18.7 2D Plots in Scripts 358 0 KWi<G1 18.8 3D Plots in Scripts 359 %X\rP, 18.9 注释 360 '$CJZ`nt 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 8+~|!)a 18.11 一个更高级的脚本 362 L_YY, 18.12 <esc>键 364 aQfrDM<*XS 18.13 包含文件 365 WkY>--^ 18.14 脚本被优化调用 366 HuL9' M 18.15 脚本中的对话框 368 ( /_Z^m9 18.15.1 介绍 368 u/74E0$S 18.15.2 消息框-MsgBox 368 r`=!4vY2 18.15.3 输入框函数 370 !P* z= 18.15.4 自定义对话框 371 SJI+$L\' 18.15.5 对话框编辑器 371 Xn8r3Nb$A 18.15.6 控制对话框 377 F;dUqXUu 18.15.7 更高级的对话框 380 h3L{zOff 18.16 Types语句 384 DU[vLe|Z 18.17 打开文件 385 0 Pa\:^/6 18.18 Bags 387 \5^GUT 18.13 进一步研究 388 y>m=A41:g 19 vStack 389 DadlCEZv 19.1 vStack基本原理 389 #%tN2cFDN 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 (A8X|Y 19.3 五棱镜 393 }q@Jh* 19.4 光束距离 396 yn5yQ; 19.5 误差 399 2f@gR9T 19.6 二向分色棱镜 399 fNaS?tV) 19.7 偏振泄漏 404 W 7Y5~%@ 19.8 波前误差—相位 405 > jvi7 19.9 其它计算参数 405 \XlT 20 报表生成器 406 [L@ vC>G 20.1 入门 406 ~I)\d/7o 20.2 指令(Instructions) 406 $nbZ+~49 20.3 页面布局指令 406 GKKf#r74 20.4 常见的参数图和三维图 407 0/JusQ 20.5 表格中的常见参数 408 +3n07d 20.6 迭代指令 408 B?J#NFUb 20.7 报表模版 408 0dgp< 20.8 开始设计一个报表模版 409 u=h/l!lR 21 一个新的project 413 +V6N/{^5 21.1 创建一个新Job 414 <}$o=>' 21.2 默认设计 415 Y/_b~Ahn 21.3 薄膜设计 416 d^WEfH 21.4 误差的灵敏度计算 420 miZ&9m 21.5 显色指数计算 422 n +z5;'my 21.6 电场分布 424 thjCfP 后记 426 Yl#r9TM
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