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前言 {64od0:T 微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一，结合了光子学与纳米技术的前沿成果，主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能，成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一，也是目前新型光电子产业的重要发展方向，在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计，大大降低时间成本和物料成本。 3-4' x2
JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布，为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题，以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 PDaD:}9 通过JCMsuite，用户可以定义各种材料特性，例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计，自动选择各种数值设置，例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算，例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 0\f3L a 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章，分别介绍了不同应用领域的案例介绍，包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程，从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程，旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 )En *5-1 《JCMsuite案例指导书籍》，是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来，译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助，通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限，书中错误纰漏之处，敬请同行读者批评和指正。 fMaUIJ:Q9 %jKbRiz1u 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 .Ua|KKK C
目录 yrO \\No#H
1.光源部分—引言 3 AL%H$ I
1.1垂直腔面发射激光器 3 t><Aa Yij_
1.2高功率二极管激光器 7 J8[N!qDCj
1.3量子点发射器 12 ,B ]kX/W
1.3.1微米柱 12 O(BAw
1.3.1.1旋转对称发射器 14 q1QrtJFPG
1.3.2微透镜 18 L1;IXCc=
1.3.2.1耦合至光纤 20 Gmo Y~}cg~
1.3.3二维模型 22 Ht.0ug
2.光掩模 23 CCp&P5[67
2.1衰减相移掩模 24 J R='c)6:
2.1.1降基法 26 zb/w^~J _i
2.2独立的接触孔 33 / 0Z_$Q&e
2.3 EUV掩模 37 _U<sz{6
2.4光学成像 42 jFYv4!\ju
3.散射测量 43 /(-X[[V
3.1硅通孔技术 43 `* !t<?$i
4.椭偏仪 48 .s7Cr0^k,|
4.1 块状材料 48 7 U_~_yb
5.光伏发电 51 h\Gl yH~
5.1 薄膜太阳能电池 51 <=KtRE>$
5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 |1vi kG8
6.表面等离子体光学 60 NbyVBl0=
6.1孤立的狭缝和凹槽 61 ?`%7Y~
6.2等离子波导 66 X .V6v4
6.3等离子纳米天线 69 '{9nQ DgT
6.3.1共振扩张 71 G?\\k[#,&
7.光纤 72 ;Js-27_0
7.1单模光纤 72 *,B o $:(n
7.2折射率渐变光纤 74 -:w+`x?XaB
7.3弯曲单模光纤 77 Q)}_S@v|%
7.4光子晶体光纤 78 3=( Gb
7.4.1空心光子晶体光纤 78 A*)G . o:
7.4.1.1核心模式过滤 80 at_~b Ox6X
7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 =m{] Xep
7.4.2多核光子晶体光纤 82 0'ha!4h3Z
7.4.2.1减少计算域问题 84 4Eq$f (QJ
8.光学手性 85 %hcn|-" F
8.1孤立散射体 85 +AVYypql8K
8.2四分之一波片 88 'xO5Le(=M
9.散射光学元件 90 x|
jBn}
9.1光栅 91 @"[xX}xK;
9.1.1线栅 92 "5 \<.
9.1.2闪耀光栅 95 =b+W*vUAw
9.1.3方形晶胞 97 &6*X&]V!Z
9.1.4六方晶胞 99 $2l<X KT-
9.2孤立线栅 101 >0yx!Iao
9.3光阑 104 pF~[
9.4狭缝 106 .<Y7,9;YEF
9.5十字交叉结构 109 E .2b@
9.6 纳米球 110 :CH?,x^!@
10.硅光子 117 >>}4b2U
10.1脊形波导 117 2%0J/]n\A"
10.2环形谐振腔 119 }Yd7<"kp
10.3光子晶体谐振腔 124 .L;M-`^
11.光子晶体 126 ?f{{{0$S
11.1光子晶体谐振腔 126 qY^OO~[
11.2光子晶体光纤 128 1=fP68n
11.3一维光子晶体 128 M<' AM 4
N%8O9Dp8;
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