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前言 $B%wK`J 微纳光学是当前光学学科发展最活跃的前沿之一,结合了光子学与纳米技术的前沿成果,主要优点是能在局域电磁相互作用的基础上实现许多全新的功能,成为21世纪不可或缺的关键科学和技术。微纳光学不仅是光学领域的前沿研究方向之一,也是目前新型光电子产业的重要发展方向,在光通信、光互联、光存储、传感成像、传感测量、显示、固体照明、生物医学、安全、绿色能源等领域起到不可替代的作用。在这些广泛的应用领域可以使用JCMsuite进行模拟分析与设计,大大降低时间成本和物料成本。 +t*V7nW JCMsuite是基于有限元方法(FEM)的一款纳米光学软件包。使用有限元方法(FEM)计算复杂纳米光学系统中电磁场分布,为解决科学和技术挑战提供了一种通用、严格且非常快速的方法。JCMsuite可以解决时谐麦克斯韦方程组的光散射问题、波导设计问题和光学共振问题,以及线性弹性问题、热传导问题以及这些类型的任何耦合问题。 yPY}b_W 通过JCMsuite,用户可以定义各种材料特性,例如复杂和各向异性的材料的介电常数和磁导率张量、分散特性、导热率和刚度。软件依赖基于残差的误差估计,自动选择各种数值设置,例如有限元度和PML(完全匹配层)设置。同时也特别关注光学上所有必要的后期处理和有效计算,例如傅立叶变换、远场、能量通量、重叠积分、光学成像、共振扩展和赛尔因子。 6$CwH!42F 本书详细介绍了JCMsuite各个应用领域的实操案例。本书共十一章,分别介绍了不同应用领域的案例介绍,包含激光、掩模、散射测量、椭偏仪、光伏发电、表面等离子体、光纤、光学手性、衍射光学元件以及光子晶体。每个案例都涵盖了建模流程,从材料定义、布局定义、光源定义到项目定义整个过程,旨在帮助JCMsuite初学者通过案例快速学会软件。本书主要参考JCMwave公司发布的案例翻译整理而成。 <*JFY%y" 《JCMsuite案例指导书籍》,是由上海讯技光电工程部成员翻译整理而来,译者希望本书能对JCMsuite的使用者有所帮助,通过学习后能较好的掌握JCMsuite软件的基本使用方法。由于译者水平有限,书中错误纰漏之处,敬请同行读者批评和指正。 e}dGK=` 8;6j 讯技光电科技(有限)公司 2022年2月 上海 YI+ clh;%9  L~oy|K67 目录 m`i_O0T 1.光源部分—引言 3 u7&q(Z&&O 1.1垂直腔面发射激光器 3 E{;F4wT_@ 1.2高功率二极管激光器 7 Q g~cYwX 1.3量子点发射器 12 e"oTlB 1.3.1微米柱 12
zh{,.c 1.3.1.1旋转对称发射器 14 %xt;&HE 1.3.2微透镜 18 %k%%3L, 1.3.2.1耦合至光纤 20 nuKcq!L 1.3.3二维模型 22 mR|L'[l 2.光掩模 23 [ Y+Ta, 2.1衰减相移掩模 24 |I[/Fl: 2.1.1降基法 26 d|#&j." 2.2独立的接触孔 33 )ifjK6* 2.3 EUV掩模 37 5P Zzaz< 2.4光学成像 42 E1r-$gf_ 3.散射测量 43 IR2=dQS 3.1硅通孔技术 43 ;b{yu| 4.椭偏仪 48 {FQ@eeU 4.1 块状材料 48 ?(Se$iTZ 5.光伏发电 51 .n n&K}h 5.1 薄膜太阳能电池 51 |\zzOfaO 5.1.1薄膜太阳能电池一维模型 59 fmq''1u 6.表面等离子体光学 60 \sBXS. 6.1孤立的狭缝和凹槽 61 XGuxd 6.2等离子波导 66 1=Z!ZY}}e 6.3等离子纳米天线 69 z$gtGrU 6.3.1共振扩张 71 /4*Y#IpZ 7.光纤 72 }u9#S 7.1单模光纤 72 @)\4 $#+- 7.2折射率渐变光纤 74 NSa6\.W) 7.3弯曲单模光纤 77 5?MaKNm } 7.4光子晶体光纤 78 Rk,'ujc 7.4.1空心光子晶体光纤 78 6r|=^3{ 7.4.1.1核心模式过滤 80 gw!d[{# 7.4.1.2扭曲式光子晶体光纤 82 Zg$S% 1(Q 7.4.2多核光子晶体光纤 82 V/3@iOwD 7.4.2.1减少计算域问题 84 @XJ#oxM^ 8.光学手性 85 q<j9l'dHG 8.1孤立散射体 85 \TZSn1isZX 8.2四分之一波片 88 @9eN\b%I^H 9.散射光学元件 90 2x>7>;> 9.1光栅 91 -Bl]RpHCe 9.1.1线栅 92 fy]c=:EmD 9.1.2闪耀光栅 95 2X<%BFsE 9.1.3方形晶胞 97 Jz}`-fU` 9.1.4六方晶胞 99 @@j:z;^| 9.2孤立线栅 101 Xp] jF^5 9.3光阑 104 nY7gST 9.4狭缝 106 QChncIqc 9.5十字交叉结构 109 Esu{c9, 9.6 纳米球 110 ta6>St7. 10.硅光子 117 jST4O"DjM 10.1脊形波导 117 eTFep^[ 10.2环形谐振腔 119 O6/:J#X% 10.3光子晶体谐振腔 124 R#T
6] 11.光子晶体 126 2}=@n*8*d 11.1光子晶体谐振腔 126 Lb)rloca 11.2光子晶体光纤 128 >23$_'2 11.3一维光子晶体 128 *Y?oAVkz &r.M~k
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