本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 qaSv]k.
ah@GSu;7
在PMMA上镀CR3C2 ;7og
通的气体是AR,C2H2 &) 'kX
分光:75%`T w!Lb;4x ?
不导电\ ne~# { q
黑色 d5W[A#}
机器:磁控溅射 F9G$$%Q-Z
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本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 _@ 3O`
但做出来不是黑色,而是黄棕色, "kuBjj2
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? Fe>#}-`
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? u^eC
). #D:eO[~
谢谢!!
