本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议
E$>e<
T
fBOPd =
在PMMA上镀CR3C2 -d3y!| \>a
通的气体是AR,C2H2 @Kr)$F
分光:75%`T |\( /dXXP
不导电\ ~&/Gx_KU
黑色 a*[\edc HU
机器:磁控溅射 pi FQ7B
G0Eq }MyF
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 V6{xX0'b*m
但做出来不是黑色,而是黄棕色, Aii[=x8
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? RM+E
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? -N(MEzAE
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谢谢!!
