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摘要 ;v:( X@\W*
nq 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Cf2WBX$ +P2oQ_Fk`9 @x}"aJgl -r={P_E6 设计任务 \l~^dn} } a9Ah:.7/ SMX]JZmH $^ws#}j 1级参数优化 .S/5kLul \VNu35* J| y7,I10:D x}+zhRJ 结果-容差分析 V*giF`gq Jb QK$[z" vYed_'_ i2,4:M)CV 结果-容差分析 SVe]2ONd LhJUoX ?=? _32O b@Ej$t& VirtualLab Fusion一瞥 3p%e_? \}Jznzx; n
i#jAwkN5 t'n@yX_ VirtualLab Fusion中的工作流程 H;/do-W[ Q|'f3\ 构建光栅结构 \SWTP1 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] |P
>"a` −倾斜光栅高级设定[用例] 8q^}AT<C •光栅衍射效率分析
%?ElC −光栅阶序分析器[用例] #Rw!a#CX. •使用参数优化进行光栅参数优化 Cj-s •使用参数运行的容差分析 %K6veB{M 9@ k8$@ Tagf7tw4 yf&g\ke VirtualLab Fusion技术 L;Ff(0x| GG%b"d- bb6x} jR }Fe6L;^; 文件信息 U=Ps# Nk'<*;e %_(vSpk TRhM xH w1/QnV QQ:2987619807 /Hr|u
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