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摘要 gR}35:$Z- j<)9dEM' 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 pe{;~-|6 XQ~Ke-QW)
w18y}mS"H ,qYJioWX 设计任务 LK@lpkX %Pqf{*d8
f0BdXsV#g *Otg*,\ 1级参数优化 S!sqbLrBn Vl2XDkhq
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&|`C)6[C E{n:J3_X^d VirtualLab Fusion中的工作流程 +a*^{l}AST jr3ti>,xV 构建光栅结构 &c*^VL\ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] V,[d66H=N −倾斜光栅高级设定[用例] P(K>=O •光栅衍射效率分析 e~"fn*" −光栅阶序分析器[用例] d`(@_czdF •使用参数优化进行光栅参数优化 ?Oc{bF7 •使用参数运行的容差分析 3dDX8M? 0]jA<vLR >N.]|\V Y!T
%cTK)a VirtualLab Fusion技术 nQ/E5y
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