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摘要 $<v4c5r]O ]~aj 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 #4JMb#q0E AH#mL
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Ly pAOKy VirtualLab Fusion一瞥 w a_{\v= 9^XZ|`
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UjI./"]O VirtualLab Fusion中的工作流程 h9QM
nH' f)*?Ji|5F 构建光栅结构 (%X *b.n= −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] !-lI<$S: −倾斜光栅高级设定[用例] }|Qh+{H*. •光栅衍射效率分析 k+9F;p7 −光栅阶序分析器[用例] mD9Iao%4~ •使用参数优化进行光栅参数优化 m^QoB •使用参数运行的容差分析 U4"^NLAq $VmV>NZ VZi1b0k1. ;0dH@b VirtualLab Fusion技术 ';3>rv_ 5nx*D"
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