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摘要 xoE,3Sn ,76nDXy` 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ve=1y) @eDL j}
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_$4vk r+Y]S-o: VirtualLab Fusion一瞥 uwb>q"M 3gmu-tv
q|ZQsFZ DcLx[C VirtualLab Fusion中的工作流程 b;sjw5cm_ b*qC 构建光栅结构 o//PlG~ −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] t)~v5vr −倾斜光栅高级设定[用例] ~ +z'pK~c •光栅衍射效率分析 ldm=uW −光栅阶序分析器[用例] "7a;Apq* •使用参数优化进行光栅参数优化 ag$UNV •使用参数运行的容差分析 .:s**UiDR }vdhk0 ;-65~i0Iu X<"W@ VirtualLab Fusion技术 g8w5X!Z
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kQm\;[R pfvNVu 文件信息 dmD':1 5gbJTh<JU
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