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摘要 NA[yT >t u3m2 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 RX:\@c& J%EbJ5p<QF
x=yBB;& ?3Wh.%n 设计任务 GAbX.9[V Os9xZ
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O'U0Y8HN L~Epd.,Dt 结果-容差分析 r#rQ3&Vn "$PbpY
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2) VirtualLab Fusion一瞥 iSo+6gu Skl1%`
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SV*6 VirtualLab Fusion中的工作流程 c*K-?n9YMz ,ju 1:` 构建光栅结构 7*d}6\
% −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] "P.7FD −倾斜光栅高级设定[用例] PX52a[wNDH •光栅衍射效率分析 j% !
−光栅阶序分析器[用例] zm\=4^X •使用参数优化进行光栅参数优化 J6_Hlt •使用参数运行的容差分析 >Be PE(k =:v\}/ Fe%Q8RIh_ 8Z:NT_Ss VirtualLab Fusion技术 bV|:MW<Wv }k7@
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