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摘要 ee yHy"@ N<~t3/Nm 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 8C*c{(4 Y;?{|
S:h{2{ mIK7p6 设计任务 ogyTO|V= ;M)QwF1
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'uBu6G .%xn&3 VirtualLab Fusion中的工作流程 Q+[n91ey** ]n6#VTz* 构建光栅结构 =l+yA>t| −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Y3Yz)T}UkS −倾斜光栅高级设定[用例] _852H$H\ •光栅衍射效率分析 .P8&5i)'P, −光栅阶序分析器[用例] pFOx>u2`a •使用参数优化进行光栅参数优化 ;r<^a6B •使用参数运行的容差分析 Ayxkv)%:@) y
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