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摘要 r iz({ HD|5:f AqA 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 xxYFWvi .(krB%N
E^s>S,U[y TD@'0MaQ# 设计任务 E[y?\{ M&L" yQA
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e.Ii@< zx^)Qb/EL6 VirtualLab Fusion一瞥 >?5`FC X6PfOep
8.@yD^' ~"(1~7_ VirtualLab Fusion中的工作流程 l{k .!&YO/ 构建光栅结构
*J6qL! [" −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] $*tuv? −倾斜光栅高级设定[用例] \.{?TB •光栅衍射效率分析 dX<UruPA −光栅阶序分析器[用例] 79&Mc,69 •使用参数优化进行光栅参数优化 cq/)Yff@: •使用参数运行的容差分析 `ul"D% ym:JtI69 y
jb.6 PRs[:we~~ VirtualLab Fusion技术 ;qvZ * f+d{^-
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