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摘要 [ {
bV4 N5i+3& 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 yil[gPy4B \/1<E?Q
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BRk0CLr5 hWKJ,r%9; VirtualLab Fusion中的工作流程 ap{2$k , /r-aPJX 构建光栅结构 w^LuIbA −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] i:u1s"3~ −倾斜光栅高级设定[用例] *&d<yJM`b •光栅衍射效率分析 V^\8BVw −光栅阶序分析器[用例] A?`jnRo=\ •使用参数优化进行光栅参数优化 M?[h0{^K •使用参数运行的容差分析 '
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