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1. 摘要 ; *G[3kk n*\AB=|X 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 qcxq-HS2' a.F6!? E.Hw|y0_(| HaeF`gI^Ee 2. 建模任务 64s9Dy@%F )F;[
SZ}t_w ` E&k{ubcT 3. 干涉条纹的变化 [ @>8Qhw 7`3he8@ze
?9q{b\=l qIQvix$8 4. 走进VirtualLab Fusion L4SvE^2+ p\e*eV1dxx
:xd&V%u` [.P~-6~ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 Rkfr4 kKVq,41'
~S Js2-2 Nzc1)t= 6. VirtualLab Fusion 技术 ]zVe% Wa 8}p 5MG
lkp!S3, 7. 文件信息 <PkDfMx2 FK!9to>
n15c1=gs (CYVSO z$p+l] QQ:2987619807 Cm}ZeQ
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