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1. 摘要 H$%MIBz>$
*L^W[o 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 VM$n|[C~ FJ3S
kyHli~Nr" *D|a`R!Y 2. 建模任务 o h{>nwH `G$>T#Dq
h ;*x1BVE %0GwO%h}, 3. 干涉条纹的变化 P<vl+&* 'WW:'[Syn'
.I^4Fc}&4 k!Yc_ZB:*l 4. 走进VirtualLab Fusion CV0id&Nv \B#tB?rA
W1REF9i){ S)U*1t7[
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 c,@Vz
7c {b!{~q
9'*7 (j; g}W`LIasv 6. VirtualLab Fusion 技术 E&8Nh J :SaZhY
o898pg 7. 文件信息 |u>V>
PN %RD\Sb4YV
AMyg>n! *q6XK_ :Q`Of}# QQ:2987619807 _}5vO$kdO
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