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1. 摘要 S3'g(+S YUb,5Y0 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 AN>`M?EQ Z)A+ wM rrWk&;? StL[\9~: 2. 建模任务 ) T1oDk "6dbRo5%
kn"x[{d /RC!Yi 3. 干涉条纹的变化 {|h"/ "k|`xn
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h$P iq:[+ 4. 走进VirtualLab Fusion EAB+kY lnWiE}F
F"H!CJJu& w2+]C&B* 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 PoJyWC 5ecz'eA%
2S6EDXc ug,|'<G+ 6. VirtualLab Fusion 技术 RG3G},Q D,j5k3< #
wKlCx 7. 文件信息 {Yk20Zn emB D@r
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