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1. 摘要 %Be[DLtE" )yW_O: 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 j*4S] ! rj~ian "}p?pF<'0 (N|xDl&; 2. 建模任务 I;-5]/, ?w/nZQWi
3gy;$}Lq T *^6xt7 3. 干涉条纹的变化 +c`C9RXk IGT_
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[!?,TGM}^ Q+(:n)G_6E 4. 走进VirtualLab Fusion tq[",&K i%PHYSJ.
/kU@S Y&f[2+?2NK 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 &6=ZT:.6Te YwWTv
8'"/gC{ sFCs_u1tNN 6. VirtualLab Fusion 技术 xKST-:c + Uv`v|S:+2
{mnSTL` 7. 文件信息 ysJhP . 3dDQz#
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