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1. 摘要 7$K}qsr< A^8x1ydZ 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 JXL'\De ; nVNs][ s~=g*99H z[*zuo 2. 建模任务 gbJG`zC>U Y!F!@`%G
Xt\Dy whw{dfE 3. 干涉条纹的变化 GZ
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RFB(d=o5S b##1hm~+9 4. 走进VirtualLab Fusion SijS5irfk X`D+jiQ(f
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XsTs#L !KAsvF,j 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 `wf|u M (V8?,G >
9?$RO[vo ;|;iCaD a+ 6. VirtualLab Fusion 技术 {-J:4*` 1EQvcw#
4Mi~1iZj 7. 文件信息 ;HP#bx oikxg!0S
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