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1. 摘要 _|r/*(hh *j~ObE_y 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 bblEZ% ~%eZQgqA* q#6|/R* b{BiC&3 2. 建模任务 ?%cZO" lb{X 6_.
42f\]R, U(+%iD60i 3. 干涉条纹的变化 '2qbIYanh r}:Dg
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! FVD_8 /&Hl62Ak 4. 走进VirtualLab Fusion sFPh? I!"/ I8Y
Zd|u>tn eN'b"_D 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 9=J 3T66U wwN kJ+
a|5<L +TW,!.NBG 6. VirtualLab Fusion 技术 c8N pk< :IO"' b
]n!oa 7. 文件信息 )gx*;z@ SB|Cr:wM
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