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1. 摘要 |&O7F;/_ 5W
UM"eBwL 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 }Xn5M&>? FH"u9ygF irg%n EX]LH({?+L 2. 建模任务 y81B3`@ EfTuHg$pe
F=/@D)hND 3bMQ[G 3. 干涉条纹的变化 l]pHj4`uv )0RznFJ+X
-F&4<\=+ Q/JX8<7K 4. 走进VirtualLab Fusion @j|B1:O +7HM7cw
4tv}5llSG 0vu$dxb[ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 3%"r%:fQB/ ^xB=d S~
z?9vbx jJ(()EJ 6. VirtualLab Fusion 技术 m[k@\xS4e /hNZ7\|P
q4'Vb 7. 文件信息 Wmm'j&hI 3k5C;5
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