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1. 摘要 ^KFwO=I@PV W-ECmw( 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 woK?td|/ i'vjvc~ \[x4 :~9F/Jx 2. 建模任务
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H=9\B} +UP?M4g 3. 干涉条纹的变化 #Y<b'7yJ aMjCqu05
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Oe 6T~xjAuJ3T 4. 走进VirtualLab Fusion o>Z+=&BZ@a .](s\6'
b; 4;WtBO bpeWK& 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 n7Ia8?8-l c}FZb$q#
tMy@'nj b%,`;hy{ 6. VirtualLab Fusion 技术 ;q$O^r~ v<Ux+-
o,RLaS,BK' 7. 文件信息 .oo>NS ) 4'@=q
)Hy|K1 D}Lx9cL !P0Oq)q QQ:2987619807 ,*Yu~4
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