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1. 摘要 78z/D|{" +/*A}!#v 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 \LS s@\$
g 'vIVsv<p @(st![i+ =>C3IR/ 2. 建模任务 UJX5}36 AQBr{^inH|
p t{/|P cRPy5['E 3. 干涉条纹的变化 cMt
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]kkH|b$[T ;S>ml 4. 走进VirtualLab Fusion =dC5q{ +QrbW
.=b)Ae c 1lUY27MF 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 ?6^KY+ 5`C o2(*5*b!@e
zI>,A|yy i*vf(0G 6. VirtualLab Fusion 技术 v/Ei0}e6~
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dJg72?"ka 7. 文件信息 9s6d+HhM s2+s1%^Ll
ab5z&7Re6 XAr YmO G0h7MO%x QQ:2987619807 t5za$kW'&
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