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摘要 ,O2Uj3" ;R/=9l 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 2(UT;PSI ,]o32@
iXBc ~S @#sQ7eMoy 建模任务 z2-=fIr.h '*K/K],S]
!Qn:PSk 仿真干涉条纹 gbo{Zgf< xe}"0'g z.7 UfLV9 走进VirtualLab Fusion X\M0Q%8 HgbJsv$ puDy&T iHTxD1D+H VirtualLab Fusion中的工作流程 S0\:1B +-5CM0*& •设置输入场 @UD6qA −基本光源模型[教程视频] N@*v'MEko% •使用导入的数据自定义表面轮廓 7quhp\ •定义元件的位置和方向 $lUZm\R|k − LPD II:位置和方向[教程视频] ,VbP$1t •正确设置通道以进行非序列追迹 -Ndd6O[ a5 −非序列追迹的通道设置[用例] O(CUwk •使用参数运行检查影响/变化 F7a\Luae −参数运行文档的使用[用例] Rg+V;C
C~ g(|p/%H P oC*>R8 !k Hpw2 VirtualLab Fusion技术 *|MPYxJ< =U2`]50 文件信息 z9E*Mh(NE ;p)gTQa QQ:2987619807 i
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