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摘要 8>pFpS KN}[N+V> 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 lS?f?n^ = 1}-]ctVn
L@a-"(TN+ D>G&aQ 建模任务 DT 9i<kl v{% /aw Pv1psKu 仿真干涉条纹 2vWkAC; KOF! a +bRL.xY 走进VirtualLab Fusion +\:I3nKs% /E]4N=T $S,Uoh cK-!Evv VirtualLab Fusion中的工作流程 ,{oP`4\Lm `M7){ •设置输入场 ^f`#8G7 ( −基本光源模型[教程视频] -3 W4 •使用导入的数据自定义表面轮廓 l}O`cC •定义元件的位置和方向 uxh4nyE − LPD II:位置和方向[教程视频] c,D'Hl6(% •正确设置通道以进行非序列追迹 #=O0-si]P −非序列追迹的通道设置[用例] Ix *KL=MG •使用参数运行检查影响/变化 '6 /uc:zv −参数运行文档的使用[用例] S0yPg9v t?0=;.D p:4vjh=1h v>nJy~O] VirtualLab Fusion技术 /(}V!0\? kW,yZ.?f 文件信息 M1ayAXO V_
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