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摘要 ,G|aLBn <3=qLm 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 kN|5
J YQV?S
;'QY<,p[e 4z%#ZIy3 建模任务 ~vSAnjeR V!77YFen % ?4[Oh/]R 仿真干涉条纹 M#VC3h$ `k]!6osZo |W*@}D 走进VirtualLab Fusion Fra>|;do <o!&Kk 9 GyAgPz xVkTRCh VirtualLab Fusion中的工作流程 {{*]bGko q7f;ZK=f •设置输入场 DwmU fZp −基本光源模型[教程视频] _gm?FxV: •使用导入的数据自定义表面轮廓 )HX:U0 •定义元件的位置和方向 D"XX920$~ − LPD II:位置和方向[教程视频] ct}%Mdg •正确设置通道以进行非序列追迹 N^
s!!Sbpq −非序列追迹的通道设置[用例] 0vuKGjK •使用参数运行检查影响/变化 PN"8 Y −参数运行文档的使用[用例] MATgJ`lsy >$naTSJq MuoctW -*%!q$: VirtualLab Fusion技术 ^+%tlX_+. hkwa ""- 文件信息 >*= =wlOB 7AO3-;
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