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摘要 I}Nd$P)> 3 "o"fl
dJT]/g nF6q7 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 nJ~drG}TD >2bKSh 建模任务 *`ZH` V :'#TCDlOb
*OuStr \o -S3MH1TZ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 w"R:\@ F /rUo{j
N<QXmgqx O_Oj|'bBC 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 !\& |