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摘要 oczN5YSt os]8BScx 光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 #hsx#x|| B,=H@[Fj *9{Z$IA9w 概述 OUNd@o =^5Alba/ 9Q+'n$s0^ •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 vCwe'q`1 •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 6Z%U`,S •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数。 y`XU~B)J1 -#HA"7XOE
:FTMmW,>' <U\B!fO' 衍射级次的效率和偏振 Oz%>/zw[h % V8U(z _ "VkGG •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 E}nH1 •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 e8#h3lxJ` •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 &?yZv{ •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 7G>dTO •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 o_^?n[4
K%RxwM n$ou- Q 光栅结构参数 De(Hw&
IV aN8|J?JH
{*I``T_+ •此处探讨的是矩形光栅结构。 D,k"PaLP •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线。 [CXrSST")E •因此,选择以下光栅参数: 8Hn|cf0 - 光栅周期:250 nm ^8AXxE - 填充系数:0.5 ^>hW y D - 光栅高度:200 nm #/<&*Pu5t - 材料n1:熔融石英 z-.+x3&o @ - 材料n2:TiO2(来自目录) 7OJ'){R$ 70Wgg ty Pf\D-1gi u*ObwcI/Bn 偏振状态分析 K#=*9S U_n9]Z `u
teg= •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 N%*5 T[. •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ;CPr]avY •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 )6D,d5< Ke2ccN
J2xw) + vRHd&0 产生的极化状态 l^pA2yh| [8=vv7wS
P;ci9vk <#u=[_H n
T{3o;A 其他例子 |m^k_d!d M$>1L xgKdMW'%g: •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 8L:ji," •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 fj;y}t1E] 1Y7Eajt-5 {^7Hgg P'Ux%Q+B> 光栅结构参数 j)/nKh4O Y6zbo {pnS Q •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ~nh:s|l6%M •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 <FcG
oGK •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 '+?"iVVo •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 pu
7{a
lFV N07hG
4GY[7^ 光栅#1 CzRc%%BA jU9$Ehg
I
-y8`yHb_ 117EZg]O iB%gPoDCL@ •仅考虑此光栅。 r0+6evU2 •假设侧壁表现出线性斜率。 1^7hf;|#g •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 }NzpiY9 •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 pgE}NlW =F]FP5V zxbpEJzpn 假设光栅参数: OZ
|IA:,} •光栅周期:250 nm *KV0%)}sbL •光栅高度:660 nm XINu=N(g •填充系数:0.75(底部) O&4SCVZp •侧壁角度:±6° b\$}>O •n1:1.46 :UF%K>k2 •n2:2.08 C/vIEYG4 =u2l.CX 光栅#1结果 J;{N72 Sjyoc<Uo |Lf"6^@yh •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 !Wy6/F@Z •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 \]2]/=2tLd •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。 R`DKu= t<z`N-5* MGR!Z@1y PT=2@kH 光栅#2 +;N2p1ZBf E_])E`BJ
?'@8kpb %|g>%D3Z? snf~}:& •同样,只考虑此光栅。 Po__-xN>Q •假设光栅有一个矩形的形状。 )z73-M V" •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 (e!0]Io@ 假设光栅参数: 4cabP}gBk •光栅周期:250 nm 5_I->-< •光栅高度:490 nm >VP=MbN •填充因子:0.5 "$ Y_UJT7 •n1:1.46 r@+ri1c •n2:2.08 aE&,]'6 Xm%D><CC8" 光栅#2结果 ~sl{ |E e;Ti&o} Y;@>b{s •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 `\T]ej}zvI •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 tiB_a}5IB •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 4e~A1- \W1,F6&j
Oiz ,w7LRh 文件信息 )0"wB ein4^o<f.
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