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    [分享]衍射级次偏振状态的研究 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-05-25
    摘要 oczN5YSt  
    os]8BScx  
    光栅结构广泛用于光谱仪,近眼显示系统等多种光学系统。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态法(FMM),以简易的方式提供对任意光栅结构进行严格分析。在光栅工具箱中,可以在堆栈中使用界面或/和介质来配置周期性结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面非常人性化,并且允许生成更复杂的光栅。在该用例中,讨论了由FMM实现衍射级次偏振状态的研究。 #hsx#x||  
    B,=H@[Fj  
    *9{Z$IA9w  
    概述 OUNd@o  
    =^5Alb a/  
    9Q+'n$s0^  
    •本文的主题是光在周期性微结构处的衍射后的偏振态。 vCw e'q`1  
    •为此,如示意图所示,在示例性二元光栅结构和锥形入射处研究零级反射光。 6Z%U`,S  
    •为了在特定示例中讨论该主题,在第二部分中根据Passilly等人的工作(2008年)选择光栅配置和相应参数 y`XU~B)J1  
    -#HA"7XOE  
    :FTMmW,>'  
    <U\B!fO'  
    衍射级次的效率和偏振
    Oz%>/zw[h  
    % V8U (z  
     _ "VkGG  
    •通常,为了表征光栅的性能,给出了传播级次的效率(η)。 E }nH1  
    •该效率值包括该特定级次的所有光的能量,但并不区分最终出现的不同偏振状态。 e8#h3lxJ`  
    •在严格模拟光栅效率的过程中,例如利用傅里叶模态法,通过使用复数场求解均匀介质的波动方程(也称为亥姆霍兹方程)。 &?yZv {  
    •因此,对于每个衍射级次(𝑛)和偏振态,算法的结果以复数值瑞利系数给出。 7G>dTO  
    •特定级次(𝑛)的效率表示入射光的功率与输出衍射级的光功率之间的关系。它是从瑞利系数计算出来的。 o_^?n[4  
    K%RxwM  
    n$ou- Q  
    光栅结构参数 De(Hw& IV  
    aN8|J?JH  
    {*I``T_+  
    •此处探讨的是矩形光栅结构。 D,k"PaLP  
    •为简单起见,选择光栅的配置,仅使反射中的零级次(R0)传播光线 [CXrSST")E  
    •因此,选择以下光栅参数: 8Hn|cf0  
    - 光栅周期:250 nm ^8AXxE  
    - 填充系数:0.5 ^>hWy D  
    - 光栅高度:200 nm #/<&*Pu5t  
    - 材料n1:熔融石英 z-.+x3&o @  
    - 材料n2:TiO2(来自目录) 7OJ'){R$  
    70Wggty  
    Pf\D-1gi  
    u*ObwcI/Bn  
    偏振状态分析 K#=*9S  
    U_n9]Z  
    `u teg=  
    •使用不同锥形入射角(φ)的TE偏振光照射光栅。 N%*5T[.  
    •如上所述,瑞利系数的平方幅值将提供有关特定级次的偏振状态信息。 ;CPr]avY  
    •为了得到瑞利系数,请在光栅级次分析器中选中单个级次输出,并选择所需的系数。 )6D,d5<  
    Ke2ccN  
    J2xw) +  
    vRH d&0  
    产生的极化状态 l^pA2yh|  
    [8=vv7wS  
    P;ci9vk  
    <#u=[_H  
    n T{3o;A  
    其他例子 |m^k_d!d  
    M$>1L  
    xgKdMW'%g:  
    •为了不同状态之间接收高转换,在Passilly等人的工作中,研究和优化了在亚波长光栅处衍射光的偏振态。 8L:ji,"  
    •因此他们将模拟结果与制造样品的测量数据进行了比较。 fj;y}t1E]  
    1Y7Eajt-5  
    {^7Hgg  
    P'Ux%Q+B>  
    光栅结构参数 j)/nKh4O  
    Y6zbo  
    {pnS  Q  
    •在引用的工作中,研究了两种不同的制造光栅结构。 ~nh:s|l6%M  
    •由于应用的制造方法引起的,与所需的二元形状相比,结构表现出一些偏差:基板的蚀刻不足和光栅脊的形状偏离。 <FcG oGK  
    •由于缺少有关制造结构的细节,因此在VirtualLab中的模拟,我们进行了简化。 '+?"iVVo  
    •当然,如果数据可用,详细分析光栅的复杂形状亦是可能。 pu 7{a  
    lFV N07hG  
    4GY[7^  
    光栅#1 CzRc%%BA  
    jU9$Ehg I  
    -y8`yHb_  
    117EZg]O  
    iB%gPoDCL@  
    •仅考虑此光栅。 r0+6evU2  
    •假设侧壁表现出线性斜率。 1^7hf;|#g  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 }NzpiY9  
    •为了实现光栅脊的梯形形状,应用了倾斜的光栅介质。 pgE}NlW  
    =F]FP5V  
    zxbpEJzpn  
    假设光栅参数: OZ |IA:,}  
    •光栅周期:250 nm *KV0%)}sbL  
    •光栅高度:660 nm XINu=N(g  
    •填充系数:0.75(底部) O&4SCVZp  
    •侧壁角度:±6° b\$}>O  
    •n1:1.46 :UF%K>k2  
    •n2:2.08 C/vI EYG4  
    =u2l. CX  
    光栅#1结果 J;{N72  
    Sjyoc<Uo  
    |Lf"6^@yh  
    •左图显示的是使用VirtualLab获得的结果,而Passilly等人发表的结果如右图所示。 !Wy6/F@Z  
    •相比之下,这两张图都表现出非常好的相似性,尤其是图的轨迹。 \]2]/=2tLd  
    •与参考相比,光栅结构的简化导致了一些小的偏差。 由于缺少复杂光栅结构的数据,因此简化是必要的。
    R`DKu=  
    t<z`N-5*  
    MGR!Z@1y  
     PT=2@kH  
    光栅#2 +;N2p1ZBf  
    E_])E`BJ  
    ?'@8kpb  
    %|g>%D3Z?  
    snf~}:&   
    •同样,只考虑此光栅。 Po__-xN>Q  
    •假设光栅有一个矩形的形状。 )z73-M V"  
    •蚀刻不足的部分基板被忽略了。 (e!0]Io@  
    假设光栅参数: 4cabP}gBk  
    •光栅周期:250 nm 5_I->-<  
    •光栅高度:490 nm >VP= MbN  
    •填充因子:0.5 "$ Y_UJT7  
    •n1:1.46 r@+ri1c  
    •n2:2.08
    aE&,]'6  
    Xm%D><CC8"  
    光栅#2结果 ~sl{|E  
    e;Ti&o}  
    Y;@>b{s  
    •同样,左边的图显示了使用VirtualLab获得的结果,由Passilly等人发表的结果如右图所示。 `\T]ej}zvI  
    •相比之下,这两张图再次表现出非常好的匹配,尤其是图的轨迹。 tiB_a}5IB  
    •与参考相比,光栅结构的简化以及缺少一些光栅参数会导致一些小的偏差。 4e~A1-  
    \W1,F6&j  
    Oiz ,w7LRh  
    文件信息 )0"wB  
    ein4^o<f.  
    WN?O'E=2  
     [F0s!,P  
    s2'yY(u/  
    QQ:2987619807 Ne8Cgp  
     
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