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摘要 n?y'c^ \w{@u)h 通常,计算模型中假设的理想化结果明显偏离现实。 其中一个例子是在蚀刻结构中具有尖锐边界的微结构的设计:制造技术不能实现完美的锐利壁,而是产生更圆的边缘。 该可编程模块应用于所设计结构的锐利结果,根据用户指定的值对其边缘进行圆整,以便分析更真实的结构。 %)zk..K{l 17e=GL *D\0.K,o ' oBo| 用于平滑结构边缘的可编程模块 s9uL<$,' v*&Uk'4E XxmJP5 提示:模块的输入与输出是“DataArray(数据数组)”类型。您可通过查看附带的样本文件得到全部代码。 @)9REA(U i?ZA x4D 文件信息 !nec 7 PPUEkvH
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