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在完成教程1、2和3后,你已熟悉利用OptiBPM创建项目的基本程序: /wi*OZ7R • 生成材料 */_$' /qV • 插入波导和输入平面 }j)][{i*x • 编辑波导和输入平面的参数 >b7Yk)[% • 运行仿真 7_9^nDU • 选择输出数据文件 qdPmTaak • 运行仿真 %!\iII • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果和各种数值工具 o[aP+O Md $6l^::U 教程4和之后的教程在你已掌握的操作的基础上,对仿真过程进行了简化描述。如果需要更多细节信息,可参阅之前课程中提供的操作。 ).32Im!;#R Od("tLIO}I 本课程描述了如何创建一个MMI星型耦合器。该星型耦合器是对简单MMI耦合器(教程2:创建一个简单多模干涉星型(下文简称为MMI)耦合器)的进一步改进。它是由一个输入波导、一个MMI耦合器以及四个输出波导组成。步骤如下: j'uzjs[ • 定义MMI星型耦合器的材料 ]."t • 定义布局设置 {i<L<Y(3 • 创建MMI星形耦合器 *b4W+E • 运行模拟 RRb>]oD • 查看最大值 2RU/oqmR • 绘制输出波导 J4]tT pu"K • 为输出波导分配路径 79z/(T+ • 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 FrsXLUY • 添加输出波导并查看新的仿真结果 'u#c_m!9 • 在OptiBPM_Analyzer中查看新的仿真结果 Bh UGMK 1. 定义MMI星型耦合器的材料 XI'.L ~ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 kp-`_sDg 步骤 操作 *L&|4|BF2 1) 创建一个介电材料: {,=U]^A 名称:guide *qA:%m3 相对折射率(Re):3.3 _<6E>"*m 2) 创建第二个介电材料 782 oXyD 名称: cladding Z5V_?bm$ 相对折射率(Re):3.27 R('\i/fy 3) 点击保存来存储材料 8 4lT# ^q 4) 创建以下通道: _G$21=
名称:channel F AQx8P 二维剖面定义材料: guide y&A&d- 5 点击保存来存储材料。 z%;_h- ^v&"{2 2. 定义布局设置 Doe:m#aNj 要定义布局设置,请执行以下步骤。 *&z!y/ 步骤 操作 \Ez&?yb/ 1) 键入以下设置。 uO( (Mg a. Waveguide属性: ?X+PNw|pf 宽度:2.8 @8Cja.H 配置文件:channel
98maQQWD b. Wafer尺寸: G '%ZPh89 长度:1420 X"V)oC 宽度:60 ?@^gpVK{ c. 2D晶圆属性: 3T
/_#=9TV 材质:cladding b%h.>ij? 2) 点击OK,将此设置应用到布局中。 N[I ?x5:u w0O(> 3. 创建一个MMI星型耦合器 kZ0z]Y 由于MMI星形耦合器中有四个输出通道,因此需要找到在教程2(教程2:创建一个简单的MMI耦合器)中的简单MMI耦合器所产生的四个最大强度的位置。 如教程2中所述,这个位置在MMI耦合器中的第二个波导大约1180-1210μm的地方。 5,BvT>zFY 要创建MMI星型耦合器并找到所需耦合的相关耦合器长度,请执行以下步骤。 f.c2AY~5[ 步骤 操作 O<J<)_W) 1) 绘制和编辑第一个波导 5S ) N&% a. 起始偏移量: @zJiR{Je-U 水平:0 d/b\:[B@ 垂直:0 ,E8g~ZUY9 b. 终止偏移: JF'<"" 水平:100 [M#(su0fv 垂直:0 gX`C76P! 2) 绘制和编辑第二个波导 s)+] pxV0- a. 起始偏移量: 8yybZ@ 水平:100 M}`T-"qf 垂直:0 FzF#V=9lP b. 终止偏移: hb(H-`16 水平:1420 )K]<\Q[ 垂直:0 |+Xh ^E c. 宽:48 NAO0b5-h 3) 单击OK,应用这些设置。 k&:~l@?O Rsx?8Y^5 $,o@&QT?AT 4. 插入输入平面 }+giQw4 要插入输入平面,请执行以下步骤。 a :CeI 步骤 操作 6%V#_] 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 HP=5a. 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 M
9 N'Hk= 输入平面出现。 Xif>ZL?aXb 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 (S_1C, 出现“输入平面属性”对话框(参见图1)。 `69xR[f 4) 确保在“全局数据”选项卡中,Z位置:偏移量,值为2.000。图1.输入平面属性对话框 [;#^h/5E pS8`OBenA 5. 运行仿真 (e32oP" 要运行仿真,请执行以下步骤。 'X~CrgQl 步骤 操作 N_p^DP 1) 从“模拟”菜单中,选择“计算2D各向同性仿真”。 xv7nChB 将显示“模拟参数”对话框。 S-79uo 2) 在“全局数据”选项卡上,在“显示数量”中键入250。 Pa{bkr 3) 单击2D选项卡,确保选择了以下设置(参见图3)。 FX+^S?x. `a8 &7J( 偏振:TE {DX1/49 网格-点数= 600 G{.A5{ BPM求解器:Padé(1,1) AQPzId*z 引擎:有限差分 b(A;mt#N 方案参数:0.5 GPAz#0p 传播步长:1.55 p]6/1&t |