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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 <,l&),  
     w.cQ|_  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 DsqsMlB{  
     qoMYiF}/e  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 i_4FxC4  
     XQ<2(}]4  
    所需工具箱子：光栅工具箱 <}%>a@  
     r+;C}[E  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 YizJT0$  
     :eI .E:/'  
    建模任务 `"M=ZVk  
    sb_>D`>  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 .bvB8VOrW  
    "gdm RE{x  
    :>'^l?b'WX  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 #GK&{)$  
     DT(A~U<y  
    TD,W*(b  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 A $W,#`E  
     K/G|MT)  
    'r4 j;Jn  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     fL"-K  
     KEsMes(*  
    '@HWp8+  
    W)V"QrFK  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 pq>"GEN  
    El0|.dW  
    #:{PAt  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 oj@B'j  
    0<Px 2/  
    ^MUtmzh  
    X线偏振光模拟结果：
    j0o_``  
    ,g{`M]Ov  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 B4GgR,P@S  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 uI-te~]  
    Fg Qd7p  
    'HkV_d[li  
    Y线偏光模拟结果 UBi0 /  
    (C,PGjd  
    uFb&WIo1  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 |>GtClL  
    结论： _7]* 5Pxo  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 NXDdU^w7B  
    QQ：2284816954 备注：光学     `>'E4z]-_  
     
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