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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 47Y| 1  
     Pn{yk`6E  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 /)8 0@  
     ^q"wd?((h  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Y^dVNC3vd  
     l+'1>T.I  
    所需工具箱子：光栅工具箱 %iPu51+=  
     vcB +h;x  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 'e6 W$?z  
     4'BzW Z;_a  
    建模任务 i '!M<>7  
    <_*8a(j3  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 H*QN/{|RU  
    YY I  
    Q^Ln`zMe  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 RJs_ S  
     YtQKsM  
    X$JO<@x  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,8( %J3J  
     syh0E= If_  
    #SY8Zv  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     M3Kpp _d_!  
    v)JQb-<  
    TGLkwXOkT  
    ,8uu,,c  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 FH8?W| G  
    hoC}@8_  
    1at$_\{.(  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 [Hdk=p  
    xsRMF&8L  
    o,) p*glO  
    X线偏振光模拟结果：
    4qda!%  
    |PN-,f{-  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 >Z^7=5K"O  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 yh_s(>sh  
    ~4}m'#!  
    (Cp:NS  
    Y线偏光模拟结果 ZNB*Azi  
    *DkA$Eu3u  
    9szE^kHS9  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 X_ >B7(k   
    结论： d$rJW m5H  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 z@y* jT  
    QQ：2284816954 备注：光学     cXJgdBwo  
     
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