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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 YryMB,\  
     =?+w5oI0  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 SEg{Gso9b  
     cV@^<  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 -}sMOy`  
     B:UPSX)A  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ZlE=P4`X:  
     %x@bP6d[  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 3_boEYl0  
     R=, pv'  
    建模任务 qB K68B)  
    CKe72OC  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 A['(@Bz#7~  
    9eP*N(m<  
    nSQ]qH&4d  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 _dAn/rj   
     lH/" 47  
    JgP%4)]LV  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 =MM+(mD  
     '-I\G6w9  
    W=+AU!%  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     {2 T:4i5  
    K%/\XnCY  
    >0 o[@gJl  
    Pj g#  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 5?Q5cD2]\6  
    ,aP5)ZN-  
    B%tj-h(a  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 mRyf+O[  
    QZ7W:%r(4  
    +Lc+"0*gV*  
    X线偏振光模拟结果：
    vmOye/?k  
    n!X%i+|4x  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 z52F-<  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 vZS/? pU~~  
    ?/hS1yD;  
    uX{g4#eG  
    Y线偏光模拟结果 >,k2|m  
    =x(k)RTDu  
    )w&|VvM )L  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ;Z"Iv  
    结论： m432,8 K3r  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 *M:p[.=1  
    QQ：2284816954 备注：光学     g}hNsU=$5~  
     
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