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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ^2[0cne  
     12])``9  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 |j&u2DM~#m  
     CsS0(n(x  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 XL_X0(AKf  
     _|D8~\y  
    所需工具箱子：光栅工具箱 , d ?4"8_  
     `W e M  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 EJO:3aKa  
     oJVpNE[3]  
    建模任务 ,miU'<8tQ|  
    Ne,7[k  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 l]Jk  }.  
    }UMg ph:2:  
    J\b,rOIf  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 aD8cqVhM3&  
     Z7"8dlb  
    2w)0>Y(_  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ndT:,"s  
     *Af]?-|^{#  
    SE)_5|k*  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     [4]lAxrRF  
    {H#1wu^]O$  
    Za}*6N=?*  
    f/H rO6~k%  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ?t$sju(\  
    @=h%;"  
    Yr-a8aSTE5  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Y}7'OM  
    "zc@(OA[z  
    >Bq;Z}EV  
    X线偏振光模拟结果：
    l <<0:~+q  
    "B*a| 'n!  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 n9]^v-]K  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 B]ul~FX  
    xcnHj1r-o'  
    !I-+wc{ss  
    Y线偏光模拟结果 =xQ 7:TB  
    KGxF3xS*7  
    `* "u"7e  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 vC E$)z'"  
    结论： eJ +;!0  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 B)O=wx  
    QQ：2284816954 备注：光学     7'S/hV%  
     
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