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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 R}*e%EG/  
     ^;N +"oq!y  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Riw#+#r]/  
     >Efv?8$E\  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Cdc6<8  
     B;L~ hM  
    所需工具箱子：光栅工具箱 7` &K=( .  
     Q[S""P.Z|  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ?DA,]aa-  
     u3Ua>A-  
    建模任务  |G{TA  
    cs,%Zk.xjw  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 1)vdM(y3j  
    kpcIU7|e  
    5|";L&`  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 2?#IwT'  
     crUt8L-B4  
    ]k5l]JB  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 /`3< @{D  
     0[ jy  
    l$z\8]x  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     xn}sh[<:P  
    -ZBk^p  
    8NWvi%g  
    YeK PoW  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 XX#YiG4|J  
    r1]shb%J?  
    $xJVUV  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 s9?klJg  
    q3#07o_dV  
    22)2o lU  
    X线偏振光模拟结果：
    }mzM'9JH  
    vE^Hk!^  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ;JFy 8Rj  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 HI*xk  
    dUyit-  
    x!"S`AM  
    Y线偏光模拟结果 76(-!Z@=J  
    Zqc+PO3lw  
    .n'z\] -/Q  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 HNu/b)-Rb  
    结论： 8HS1^\~(6l  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 -y;SR+  
    QQ：2284816954 备注：光学     uW },I6g  
     
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