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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 O]RP?'vO  
     |,L_d2lb  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 B!H4 6w~  
     AB40WCu]*  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 K5No6dsD  
     |=2E?&%?  
    所需工具箱子：光栅工具箱 @x?7J@:  
     j_c0oclSz  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 q:@$$}FjL  
     W&dYH 4O  
    建模任务 % \Nfj) 9  
    $]EG|]"Ns  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 B'>(kZYMs  
    !mH2IjcL  
    8nw_Jatk1  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 W-zD1q~0?  
     d-nqV5  
    5CH9m[S  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 (5rH 72g(  
     E$]7w4,n  
    %4?  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Z5[TmVU  
    lR_ 4iyqb  
    [xq"[*Evv  
    F`goYwA%  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 !fUrDOM0E  
    /M(FuV  
    V~M>K-AL  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 R4v)}`x  
    CJ0j2e/  
    hGyi@0  
    X线偏振光模拟结果：
    *.4;7#  
    bSsX)wHm  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 m, ',luQ  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 RGh `=D/yE  
    "&Ym(P  
    "?a(JC  
    Y线偏光模拟结果 f@&C \  
    \tE2@  
    ,9Y{x  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 )$V}tr!  
    结论： Ag QR"Nu6  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ;Q>(%"z};  
    QQ：2284816954 备注：光学     i2`i5&*  
     
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