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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 `+J Fvn!  
     qfkHGW?1/j  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 weitDr6  
     z`y9<+  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 CUA @CZ6{  
     kmuksT\)a  
    所需工具箱子：光栅工具箱 dj|5'<l2  
     fn#8=TIDf  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 B{-7  
     'm%{Rz>j  
    建模任务 73WSW/^F  
    F /b`[  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Hh<H~s [  
    l?Y^3x}j  
    J( }2Ua_  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ]-PzN'5\'  
     +Qs]8*^?;  
    1C[9}}  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 'nJF:+30ZH  
     R+sT &d  
    CU$kh z"  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     OfsP5*d  
    ]m]`J|%i  
    -! \3;/  
    .{Y;6]9[  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 GnV0~?  
     idmU.`  
    ?5|;3N/zt  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 yev!Nw  
    ffCDO\i({  
    =O/Bte.  
    X线偏振光模拟结果：
    ~PQ.l\C  
    ;rh.6Dl  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ^s,3*cAU  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ?M2(8 0  
    iP/v "g"g  
    BEZ~<E&0H  
    Y线偏光模拟结果 ! \] ^c  
    WlL(NrVA@@  
    `s}*  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 N gNGq\!  
    结论： 3f|}p{3  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 [ X*p [  
    QQ：2284816954 备注：光学     6*8Wtq  
     
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