-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-09-29
- 在线时间1866小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 3"pl="[*
Ue8k9%qV 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Nsd7?|@HI 'r2VWavT 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 #!n"),3 B&Igm<72x 所需工具箱子:光栅工具箱 XM"{" K#LG7faj 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 =yZiBJ mI[$c"!BD 建模任务 H|K}m,g (fYrb#]!y 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 |,G=k,?_p '/@]V R>YDn|cWI 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 k\J 6WT 5jYZ+OB <X{hW^??) 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 pOz4>R "Y7
]t:8 wv ~?<DF 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 W,[b:[~v f/&k$,w 0qV"R7TW ).Ei:/*j 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 b[MdA|C%j 2EdKxw3$] o=,q4;R' 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 \AT]$`8@_ -'sn0_q/e H3?HQ>&O7 X线偏振光模拟结果: PI~W6a7p ;AwQpq>dy 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 $)5-}NJf' 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 i~k9s ,3zF_y(*Y \*_@`1m Y线偏光模拟结果 #0+`dI_5/ l/JE}Eg( t!g9,xG<X 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Zy -&g: 结论: \:*<En0 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 wM^_pah#Y5 QQ:2284816954 备注:光学 &y}nd
7o
|