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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 x l4A<  
     ,@4~:OY  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 s'JbG&T[J  
     .-HwT3  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 9S]]KEGn4  
     ;_Z[' %  
    所需工具箱子：光栅工具箱 $|%BaEyk  
     1'"TO5  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 #9ZHt5T=$  
     ZF~@a+o  
    建模任务 o{?Rz3z  
    I$w:qS&:  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 DA wUG  
    ;dVYR=l  
    Y~[k_!  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 '| rhm  
     f*46,` x  
    H^r;,Q$9  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 |Pj]sh[^Y  
     s2*~n_B  
    vkE a[7  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     5Sv;a(}  
    WCUaXvw  
    Q.Xs%{B  
    j9^V)\6)  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 iininITOS{  
    ^9fY %98  
    *BFG{P  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 &-zW1wf  
    6Mh"{N7  
    &f($= 68  
    X线偏振光模拟结果：
    P}8cSX9  
    d.Ep#4  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 !\Vc#dslt  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 _`.Wib+  
    B3g # )  
    *r(Qy0(  
    Y线偏光模拟结果 5/YGu=,  
    _ 2 oZhJ  
    ^bk:g}o  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 (bp4ly^  
    结论： v@ifB I  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 7 F> a&r  
    QQ：2284816954 备注：光学     wU(!fw\  
     
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