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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 3"pl="[*  
    Ue8k9%qV  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Nsd7?|@HI  
    'r2VWavT  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 #!n"),3  
    B&Igm<72x  
    所需工具箱子:光栅工具箱  XM" {"  
     K#LG7faj  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 =yZiBJ  
    mI[$c"!BD  
    建模任务 H |K}m,g  
    (fYrb# ]!y  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 |,G=k,?_p  
    '/@] V  
    R>YDn|cWI  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 k\J 6WT  
    5jYZ+OB  
    <X{hW^??)  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 pOz4>R  
    "Y7 ]t:8  
    wv~?<DF  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    W,[b:[~v  
    f/&k $,w  
    0qV"R7TW  
    ).Ei:/*j  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 b[MdA|C%j  
    2EdKxw3$]  
    o=,q4;R'  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 \AT]$`8@_  
    -'sn0 _q/e  
    H3?HQ>&O7  
    X线偏振光模拟结果:
    PI~W6a7p  
    ;AwQpq>dy  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 $)5-}NJf'  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 i~k9s  
    ,3zF_y(*Y  
    \*_@`1m  
    Y线偏光模拟结果 #0+`dI_5/  
    l/JE}Eg(  
    t!g9,xG<X  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Zy -&g:  
    结论: \ :*<En0  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 wM^_pah#Y5  
    QQ:2284816954 备注:光学
    &y}nd 7o  
     
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