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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 5\MC5us3  
     VJqk0w+  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 i-Rn,}v  
     ey=KAt  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 c%C6d97q  
     /V:9*C  
    所需工具箱子：光栅工具箱 NDP" @  
     /O}<e TR  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 `,-mXxTNT  
     ];LFv5"  
    建模任务 -p&u=  
    ,< x/  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 PQkw)D<n]_  
    VFL^-tXnA^  
    :R,M Y"(  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 6sSwSS  
     x_nwD"   
    e4YP$}_L  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。  ~2"hh$  
     &7f8\TG|  
    tO 8\} u4c  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Gv &G2^  
    &)mZ~cPU3  
    E(P 6s;LZ  
    hc3hU   
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Bzrnmz5S  
    \;)g<TwL  
     f\<r1  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 P>C'? 'Q7  
    MqnUym  
    n"Ie>  
    X线偏振光模拟结果：
    z6iKIw $  
    F'Y ad  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 +7 H)s  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 y4Jc|)  
    ?eIb7O  
    HeAXZA,  
    Y线偏光模拟结果 LpU}.  
    ZwS:Te9-  
    tk%f_"}  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 sllT1%?  
    结论： NS[eQ_rT  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 }tW-l*\U  
    QQ：2284816954 备注：光学     N&NBn(  
     
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