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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 'PW/0k  
     09 f;z  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 3h%Nd &_9  
     <VQ@I  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 !}c\u  
     x%T^:R  
    所需工具箱子：光栅工具箱 0R0_UvsXU  
     kp!(e0n  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 \{Je!#  
     .b!HEi<F  
    建模任务 _ 5b~3K/V  
    Zs;c0T ">  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 >MhZ(&iD  
    %,@e- &>  
    bP|-GCKM8  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 o/vD]Fs  
     {A%&D^o)  
    0C"2?etMx  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 a^X% (@Sg  
     *IF ~ab2  
    ' %rn-|)  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     4(Y-TFaf  
    !+YSc&R_fW  
    xk,1 D  
    yFDt%&*n^  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ]n'.}"8Kn  
    l Dwq[ I]w  
    *13-)yfd  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ^L\w"`,~  
    !>+m46A  
    <~svy)Cz  
    X线偏振光模拟结果：
     j~cG#t]  
    ymR AQVv  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 _0\wyjjU  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 &`-e; Xt  
    X*bOE}  
    b"w2 2%  
    Y线偏光模拟结果 :g-vy9vb  
    AvuGAlP  
    f,3K;S-he:  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 |y?W#xb  
    结论： l~@ -oE  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 \!0~$?_)P  
    QQ：2284816954 备注：光学     n2["Ln mO  
     
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