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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 q(.%f3(  
    Bo%M-Gmu  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 }WI24|`zM  
    oE)c8rE  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 jn}6yXB  
    (!X:[Ah*$  
    所需工具箱子:光栅工具箱 |w~zh6~  
    5tq$SF42X  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 yvDzxu  
    SVq7qc9K?  
    建模任务 Ur&: Rr  
    _%zU ^aE  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ,7%(Jj$ ^  
    ^"buF\3L  
    fE7WLV2I>  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 #i2q}/w5`C  
    3;:xEPb._6  
    (OG@]|-  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 >^InNJd  
    |?8CV\D!  
    -IX;r1UD  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    Wnf`Rf)1z  
    BMX x(W]  
    #UWQ (+F  
    ae!_u \$  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 '!1lK  
    GtGToI  
    A{+ZXu}  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ;( 2uQ#Y  
    R2J3R5 S=[  
    ~Q%QA._R?  
    X线偏振光模拟结果:
    x~{ m%)I  
    IBF>4q m"  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 T@vVff  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 YYM  
    g:,4Kd|  
    ]iNSa{G  
    Y线偏光模拟结果 R>0ta  Q  
    R6:N`S]&d[  
    6|jE3rHw  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 (Q&z1XK3  
    结论: O-'T*M>  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 A23Z)`  
    QQ:2284816954 备注:光学
    Bkz   
     
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