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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 T>| hID  
     v}t{*P  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 [3-u7Fx!  
     dS 4/spNq  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 k}<H  
     P8dMfD*"E  
    所需工具箱子：光栅工具箱 zFO0l).  
     yY UAH-  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 7lwI]/ZH*  
     0.R3(O  
    建模任务 )#\3c,<Y  
    $=E4pb4Y  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 x2)WiO/As  
    =GP L>a&  
    X4hz\={  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 <BBzv-?D  
     $04lL/;  
    }15&<s  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ~gZ1*8 s`  
     <$A/ ('  
    vS5}OV  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     *.wj3' wV  
    LNk :PD0m  
    DUu:et&c1  
    =2GKv7q$x,  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 <`vXyPA6  
    5,f`5'$  
    Wkk(6gS,  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ZyNgG9JL]  
    .bp#YU,m  
    JiXE{(  
    X线偏振光模拟结果：
    H*<E5^#dw  
    7)#JrpTj%  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 _,K[kVn  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 3A"TpR4f`  
    Jg'#IM  
    RZpjr !R  
    Y线偏光模拟结果 hC<E4+5.,  
    Z7y%  
    6j {ynt  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 h2mHbe43  
    结论： /K!f3o+  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 R1Rk00Ow:  
    QQ：2284816954 备注：光学     CfrO1iF  
     
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