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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 JcmJq fR  
     8(L2w|+B<  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 QDJ "X  
     2bG3&G  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 =&$z Nc4h  
     4_ U"M@  
    所需工具箱子：光栅工具箱 :W1?t*z:[  
     7H< IO`  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 !3Pmjip  
     'o#oRK{#  
    建模任务 5:f!EMb  
    p$'S\W|  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 E1OrL.A6  
    :;]9,n  
    BO G.[?yx  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 rlY0UA,  
     !W@mW 5J|  
    o9"?z  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 b(;u2 8  
     b&&l   
    kodd7 AD  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Xi[]8o  
    E(|A"=\  
    fPUr O  
    $">j~!'  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 A`f"<W-m  
    Jl`^`Yv  
    R2sG'<0B0  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 "}*D,[C5e  
    *0!p_Hco  
    C`g "Mk8  
    X线偏振光模拟结果：
    =N\; ?eF(  
    1?FG3X 5  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Rq5'=L  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Nyy&'\`!  
     c2M  
    C:t>u..  
    Y线偏光模拟结果 ^py=]7[I  
    TsK!36cg  
    +yWD>PY(  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 e,e(t7c?d  
    结论： D`a6D  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 N knS:r&2  
    QQ：2284816954 备注：光学     (is',4^b  
     
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