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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 )"aV* "  
     ")XHak.JX  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 0*D$R`$  
     DjQFi  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 65$+{s  
     Doyx[zZ  
    所需工具箱子：光栅工具箱 *kDCliL  
     41?HY{&2  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 UIN<2F_  
     0Y{yKL  
    建模任务 ~^fZx5  
    =QiI :|eRA  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Ata:^qI  
    co|aC!7  
    9} M?P  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 W_(j3pV?Ml  
     ARwD~ Tr  
    tq6!`L}3  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 0 e ~JMUb  
     ;m{1 _1  
    jc[Y}gd,  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     J({Xg?  
    -23w2Qt  
    YdC6k?tzS  
    3z9d!I^>k  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 n QZwC  
    >kDQkhZ  
    VfC<WVYiZ  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 }DfshZ0QM  
    *>'V1b4}  
    ipgC RHE  
    X线偏振光模拟结果：
    /saIs%(fU  
    '+!1Y o'G  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 J1RJ*mo7,  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 1 A !bE  
    Jg\zdi:t  
    ~{B7 k:  
    Y线偏光模拟结果 pF:$  ko  
    )<;Y-u.UW  
    KNpl:g3{<Q  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 _] sn0rX  
    结论： >#~& -3  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 -)]Yr #Q  
    QQ：2284816954 备注：光学     L Mbn  
     
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