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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 q(.%f3( Bo%M-Gmu 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 }WI24|`zM oE)c8rE 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 jn}6yXB (!X:[Ah*$ 所需工具箱子:光栅工具箱 |w~zh6~ 5tq$SF42X 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 yvDzxu SVq7qc9K? 建模任务 Ur&: Rr _%zU^aE 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ,7%(Jj$
^ ^"buF\3L fE7WLV2I> 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 #i2q}/w5`C 3;:xEPb._6 (OG@]|- 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 >^InNJd |?8CV\D! -IX;r1UD 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 Wnf`Rf)1z BMX x(W] #UWQ (+F ae!_u
\$ 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 '!1lK GtGToI A{+ZXu} 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ;( 2uQ#Y R2J3R5S=[ ~Q%QA._R? X线偏振光模拟结果: x~{m%)I IBF>4qm" 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 T@vVff 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 YYM g:,4Kd| ]iNSa{G Y线偏光模拟结果 R>0ta
Q R6:N`S]&d[ 6|jE3rHw 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 (Q&z1XK3 结论: O-'T*M> 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 A23 Z)` QQ:2284816954 备注:光学 Bkz
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