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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 $|4cJ#;^L ]3n , AHA 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ;[(=kOI oM6j>&$b 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 oN *SRaAp <Q2u)m' 所需工具箱子:光栅工具箱 :PgF H@K#|A=a 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 @SU8 \:(U {eEBrJJeB 建模任务 EkN_8(w 4bP13f 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 fuq(
2&^ FoE|Js &Fw[YGJayz 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 CPVzX%= sW
}<zGYd hHcJN 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 *6:v}#b[ ?n)Xw)] iJFr4o/R 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 *i@sUM?K
M2}np j7K5SS_] =v.{JV# 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 7; p4Wg7k} Hal7
MP \Ke8W,)ew 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ?N:B FC6x Fg^ +a|"{ X线偏振光模拟结果: Rv98\VD" KacR?Al 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 5?Bc
Y; 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 )D;*DUtMVm X:>$8 ^gS z<hFK+j,'^ Y线偏光模拟结果 T'E]
i!$ AIb>pL{ jAXR`D 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 4CLsY n? 结论: HN{z T& 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 j.DHqHx QQ:2284816954 备注:光学 %dc3z"u
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