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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 m,TqyP#  
     ;"nEEe]?  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 JhDjY8?86  
     Ja#idF[V  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 q9pcEm4?  
     Z{n7z$s*  
    所需工具箱子：光栅工具箱 HF\L`dJX?  
     EH$wW l^  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 {UYqRfgbZ  
     3r{'@Y =)Y  
    建模任务 (<.1o_Q-LU  
    MU&5&)m  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 I>-jKSkwc  
    X6<HNLgra  
    I/)dXk~  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ^HL#)fK2I  
     uYMW5k_,>  
    hoeTJ/;dm  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Z9aDE@A  
     =8dCk\/  
    nw5#/5xw  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     %NS]z;G  
    e:V,>RbC0s  
    28BiuxVW  
    |#2<4sd  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Qw5M\   
    SqTm/ t  
    6U+#ADo  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 v @N8v  
    <qRw! 'S^  
    d) o<R;F  
    X线偏振光模拟结果：
     BW\R  
    d$2{_6  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ;LrKXp  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 4 |5ekwk  
    S5Px9&N8(  
    @xkM|N?  
    Y线偏光模拟结果 Ol%*3To  
    n`:l`n>N$  
    uN\9c Q  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 *,n7&  
    结论： &gEu%s^wR  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 CWN=6(y  
    QQ：2284816954 备注：光学     w\2[dd  
     
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