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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-04-15
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 $|4cJ#;^L  
    ]3n, AHA  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ;[(= kOI  
    oM6j>&$b  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 oN *SRaAp  
    <Q2u)m'  
    所需工具箱子:光栅工具箱 :PgF  
    H@K#|A=a  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 @ SU8\:(U  
    {eEBrJJeB  
    建模任务 EkN_8(w  
    4bP13f  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 fuq( 2&^  
    FoE|Js  
    &Fw[YGJayz  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 CPVzX%=  
    sW }<zGYd  
    hHcJN  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 *6:v}#b[  
    ?n)Xw)]  
    iJFr4o/R  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    *i@sUM?K  
    M2}np  
    j7K5SS_]  
    =v.{JV#  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 7; p4Wg7k}  
    Hal7 MP  
    \Ke8W,)ew  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ?N:B  
    FC6xFg^  
    +a|"{  
    X线偏振光模拟结果:
    Rv98\VD"  
    KacR?Al  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 5?Bc Y ;  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 )D;*DUtMVm  
    X:>$ 8^gS  
    z<hFK+j,'^  
    Y线偏光模拟结果 T'E ] i!$  
    AIb>pL{  
    jAXR`D  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 4CLsY n?  
    结论: HN{zT&  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 j.DHqHx  
    QQ:2284816954 备注:光学
    %dc3z"u  
     
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