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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 (%}C  
    OFv} jT  
    任务/系统说明 Pa<X^&  
    K-3 _4As  
    RSC-+c6 1  
    .<dmdqk]  
    亮点 ~JpUO~i/  
    UEUTu}4y  
    ZD(gYNi  
    .EO1{2=  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 9K!='u`  
     严格分析光栅衍射效率 r8rR_ M{P  
     考虑入射光的方向分布 D2bUSRrb  
    !=:c8V  
    说明:光源 m@ YL Z  
    ~@JC1+  
    "f_Z.6WMY  
    o*_D  
    说明:光束分束器 tUQ)q  
    ZtVa*xl  
    `Z-`-IL  
     s25012  
    说明:检测透镜系统 %L3]l  
    }JD(e}8$!  
    ?}[keSEh>  
    ?F/3]lsggT  
    说明:微型晶片 |k+^D:  
    jTnu! H2o  
    @zbXG_J  
    GSp1,E2J  
    说明:检测物镜 PW}.`  
    bb{+  
    U{EW +>  
    hlRE\YO&8R  
    说明:探测器 ;QYK {3R?  
    cO:x{~  
    \"SI-`x  
    4rm/+Zes  
    结果:3D光线追迹(只有0级) iwbjjQPr  
    c,@6MeKHq  
    gA6C(##0  
    H< j+-u4b  
    结果:3D光线追迹(所有级) \1Zf Sc  
    a|.u;  
    ?D_zAh?pW  
    o#i {/# oF  
    结果:光线追迹 5j]%@]M$Z  
    8/:\iPk0  
    7u zN/LAF  
    U:Y?2$#  
    结果:场追迹 nB.p}k  
    U&6f}=v C  
    cQ`,:t#[  
    AF@C9s  
    结果:线性偏振光的场追迹 am}zOr\  
    P1t5-q  
    .qZ<ROZ  
    x-1[2K1"[  
    文档和技术信息 ?CIa)dhu  
    S'txY\  
    >9 iv>  
    8PQt8G.  
    <*[(t;i  
    QQ:2987619807 J8jbtL O'  
     
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