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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 @ w,O1Xwj  
    ML1/1GK*i+  
    任务/系统说明 QIcc@PGT9a  
    AHP;N6Y6  
    7  nawnS  
    {9./-  
    亮点 |198A,^  
    b5%T)hn=  
    jxgs!B>   
    R6irL!akAd  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) S1*xM  
     严格分析光栅衍射效率 u5P2*  
     考虑入射光的方向分布 E^Z?X2Z  
    F*,RDM'M  
    说明:光源 @ql S #(  
    E$5A 1  
    14 hE<u  
    ;c#jO:A5  
    说明:光束分束器 vq5o?$:-  
    '!XVz$C  
    6"c(5#H  
    843O}v'  
    说明:检测透镜系统 5oY^; )\/  
    Wtj* Z.=:  
    \hqjk:o  
    !='L`.  
    说明:微型晶片 J@(69&  
    1>_2 =^[  
    z~RE}k  
    +)e+$ l  
    说明:检测物镜 .QM>^(o$Z  
    ^[hx`Rh`t  
    bb`8YF+?'  
    <3[0A;W=1  
    说明:探测器 *skmTioj&  
    2Afg.-7EP  
    Ou2p^:C(  
    "VQ7Y`,+  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 8/ PS#dM\  
    h5 PZ?Zd  
    @@#h-k%k-  
    yz^Rm2$f9  
    结果:3D光线追迹(所有级) a/lTQj]A  
    '"]U+aIg  
    Xny{8Oo<1?  
    7E\k97#G  
    结果:光线追迹 / yTPb  
    lw_PQ4Hp  
    sH+ 90|?  
    h=MEQ-3jg  
    结果:场追迹 Nu7lPEM  
    cPPTGpqw  
    +;N;r/d_i  
    'Em633  
    结果:线性偏振光的场追迹 a3SBEkC  
    v1\/dQK  
     ]YKxJ''u  
    irKM?#h  
    文档和技术信息 )i$KrN6  
    #9p|aS\  
    F0/!+ho  
    (A\\s$fE/1  
    v8 pOA<s  
    QQ:2987619807 Eanwk` Rx  
     
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