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成像系统>包括光栅 2!E@Gbhm5 [K4wd%+ 任务/系统说明 *oca }Rx`uRx\ NsY D~n ]F81N(@:F 亮点 8,m3]Lg ic]b"ItD
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wFO>P 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) hEv}g 严格分析光栅衍射效率 eg$y,Tx 考虑入射光的方向分布 Fy8$'oc Q>[Xm)jr: 说明:光源 jt? .g' c>3AR17+5 DpZO$5.Ec+ *sbZ{{]e 说明:光束分束器 p !
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