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成像系统>包括光栅 @w,O1Xwj ML1/1GK*i+ 任务/系统说明 QIcc@PGT9a AHP;N6Y6 7nawnS {9./- 亮点 |198A,^ b5%T)hn=
jxgs!B> R6irL!akAd 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) S1*xM 严格分析光栅衍射效率 u5P2* 考虑入射光的方向分布 E^Z?X2Z F*,RDM'M 说明:光源 @ql S #( E$5A
1 14 hE<u ;c# jO:A5 说明:光束分束器 vq5o?$:- '!XVz$C 6"c(5#H 843O}v' 说明:检测透镜系统 5oY^;)\/ Wtj*Z.=: \hqjk:o !='L `. 说明:微型晶片 J@(69& 1>_2 =^[ z~RE}k +)e+$
l 说明:检测物镜 .QM>^(o$Z ^[hx`Rh`t bb`8YF+?' <3[0A;W=1 说明:探测器 *skmTioj& 2Afg.-7EP Ou2p^:C( "VQ7Y`,+ 结果:3D光线追迹(只有0级) 8/ PS#dM\ h5
PZ?Zd @@#h-k%k- yz^Rm2$f9 结果:3D光线追迹(所有级) a/lTQj]A '"]U+aIg Xny{8Oo<1? 7E\k97#G 结果:光线追迹 /yTPb lw_PQ4Hp
sH+ 90|? h=MEQ-3jg 结果:场追迹 Nu7lPEM cPPTGpqw
+;N;r/d_i 'Em633 结果:线性偏振光的场追迹 a3SBEkC v1\/ dQK ]YKxJ''u irKM?#h 文档和技术信息 )i$KrN6 #9p|aS\
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