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摘 要 #G9 adK5 ^EVc 95|Z 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 O!D/|.Q#% _eLWQ|6Fx 建模任务 }~Q"s2 y0v]N
lC97_T *cWmS\h| 倾斜平面下的观测条纹 /E wGW ;%J5=f%z)
*X%m@KLIKv e2CV6F@a 圆柱面下的观测条纹 b(GFMk jc_\'Gr+[
SEKN|YQV/t us?&:L|!= 球面下的观测条纹 mN0=i(H< NGjdG=, B68H&h]D#' ^[TV;9I* VirtualLab Fusion 视窗 T+"f]v b|^I<7 ~7q uTp) E]^5I3=O VirtualLab Fusion 流程 ~Y5l+EF# x:K?\<
Bp AB5=M0 "YFls#4H- VirtualLab Fusion 技术 )"@t6. .uZ7 -l
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