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摘 要 }O_kbPNw ),#%jc2_^ 斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。 3$fzqFo X.u&4SH 建模任务 Te%2(w,B M2UF3xD
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7CN< 9M3XHj 倾斜平面下的观测条纹 +!dWQ=W =Q#}
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&xKln1z' DnbT<oEL 圆柱面下的观测条纹 W @R\m=e2 ]L/h,bVI1
(*{Y#XD{ -+^E5 球面下的观测条纹 [ML%u$- "E4;M/ vbH?[Zr? g_<^kg" VirtualLab Fusion 视窗 8UH
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