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1.Horos—光学粗糙度传感器。 |<5J 2.测量样本。 rkER` 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 RvZryA*vu 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Jg?pW:}R s^x , S 系统简介 $4 fjSSB~
&n Y2u-Q 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 yp7,^l wMR[*I/ 特征及技术参数 [s&
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x,@O:e - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 :EmMia-)J - 灵敏度R_q<0.5 nm !15@M|,OL - 测量时间： < 1 s。 1tK6lrhj - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ;Ef)7GE@\[ TQyFF/K WLA_YMlA 传感器： Q'V,?#
( Nve5 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 [pyXX>:M -$Z-hxs^ 应用： 3hpz.ISk
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ?R ~Ye - 平面或复杂（自由形状）表面。 Y$DgL
h - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 h;h,dx - 机械零件。 RM=+ZmA - 汽车工业。 H'(o}cn7~ `J;/=tf09
r E *u QQ:1824712522 ]k%KTvX*G
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