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1.Horos—光学粗糙度传感器。 *{:FPmDU 2.测量样本。 gsuf d{{ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 4A0R07" 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 w#k'RuOw5 :a v6*&+ 系统简介 0[}"b(O{
C$ cX{hV 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 Fs_V3i3|L dUeM+ (s1 特征及技术参数 +g ovnx
Q)yhpwrX - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 +jzpB*@ - 灵敏度R_q<0.5 nm (qHI>3tpY - 测量时间： < 1 s。 ;hNn F&l - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 69(z[opW 'wz*GMGWC c ;` 传感器： Oa\!5Pw1
nab:y(]$/ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 tUv @4<~,/ h";G vjy 应用： 0iqa]Am
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： L <]j& - 平面或复杂（自由形状）表面。 34 U/"+|z - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 2qKo|'gL` - 机械零件。 <I'kJ{" - 汽车工业。 3JEH
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LlL\7?_; QQ:1824712522 3WS`,}
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