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1.Horos—光学粗糙度传感器。 '^.=gTk 2.测量样本。 *+,Lc1|\ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 mAYr<= 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 63y':g Vbqm ]2o& 系统简介 n/- p;#R
4?*"7t3 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 79c 9 + MSYLkQ}_b 特征及技术参数 $U"P+
+hKPOFa' - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 8^f[-^% - 灵敏度R_q<0.5 nm U7f& N - 测量时间： < 1 s。 r /s&e e - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 z }b U\3! ;hf G$ {l; hF=V
?\ 传感器： 1!v >I"]
]B[/sqf Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ^&G O4u zx]M/=7,V# 应用： 2Ad Hj&XE
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： xdTzG4 - 平面或复杂（自由形状）表面。 dC;d>j, - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 -)->Jx:{ - 机械零件。 m(7_ZiL= - 汽车工业。 EJ
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R;/ QQ:1824712522 r<f-v_bxF
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