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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ?.^n,[2 2.测量样本。 !nL>Ly 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 Of
m0{c= 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 1 RVs!; k|`Qk!tr 系统简介 }h1y^fuGi
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g 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 jx 14/E+^ .~X&BY>qP 特征及技术参数 X8y :=k,E
jM: |%o - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 &[P(}??Y\ - 灵敏度R_q<0.5 nm ujS C - 测量时间： < 1 s。 B["jndyr - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ZC"a#rQ T'!p{Fbg; lQ&J2H<w 传感器： W/<Lp+p
Cs2k bG_ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 g[ N3jt@ ^ddC a 应用： ~ DP5Qi
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： m= rMx]k - 平面或复杂（自由形状）表面。 x27$h)R0v - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 T&'LQZM8 - 机械零件。 |f1Rh B - 汽车工业。 hWi2S!*Y ,*8)aZ1 k
ndu$ N$7+ QQ:1824712522 |k#EYf#Y
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