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1.Horos—光学粗糙度传感器。 [xk1}D 2.测量样本。 k 5xzC& 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 c _O| ?1 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 v/8K?$"q kE,~NG9P 系统简介 ep3_G\m
+=|Q'V 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 eek5Xm 4Me*QYD 特征及技术参数 j3P)cz-0/L
9,82Uta - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 <QugV3e - 灵敏度R_q<0.5 nm
):+n !P - 测量时间： < 1 s。 ^] Lr_k - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 0D/j2cT("k ]$4 k+)6 C:_!zY'z 传感器： n+rAbn5o$
b, ~4O~z Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 |`U^+Nf EfcoJgX 应用： 5 (%+8<2
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： IcoK22/ - 平面或复杂（自由形状）表面。 iwJBhu0@# - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 /+ "BU-aQk - 机械零件。 tKo ^A:M - 汽车工业。 I(s\ Q[ z~A||@4'
P@lExF*D1: QQ:1824712522 V~&P<=8;Wl
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