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1.Horos—光学粗糙度传感器。 YXZP-=fB>i 2.测量样本。 +$#<gp" 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ^pH8 '^n 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 mQ<4(qd) Phk3J v
系统简介 = |``d-
%[5GG d5w 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
x`FTy&g _3D9>8tzE7 特征及技术参数 sp:4b$z X
=PQ4S2Q - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 7y3WV95Z\ - 灵敏度R_q<0.5 nm \+nV~Pi"A - 测量时间： < 1 s。 maDWV&Db - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 l$pz:m]Id Zj-U^6^L DQ3 L= 传感器： 9) ,|h
Xp9I3nd| Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 8 AFc=Wx
j5Da53c#^ 应用： .D ^~!A
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： q?Csm\Y - 平面或复杂（自由形状）表面。 Ha|}Oj
- 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 S< NK!89 - 机械零件。 #) :.1Z? - 汽车工业。 f,E7eL@ EnlAgL']|
vG'#5%,| QQ:1824712522 M;Pry 3J
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