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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ?JTy+V2t 2.测量样本。 I)ub='+&; 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 omM*h{z$$ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 /)Sw QgK# B&0^3iKFi 系统简介 :X[(ymWNE
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Qgg |; 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 c/ wzV <@n/[ +3 特征及技术参数 @oC8 :
TH2D ;uv - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 SoODss~X - 灵敏度R_q<0.5 nm u~yJFI o - 测量时间： < 1 s。 =+q9R` !L] - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 2Z6# 3~ 2 q J}5 Q7$ILW-S 传感器： buGW+Tr WY
F\+wM*:U Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 hS&,Gm`^ /-<S F T` 应用： fGJ PZe
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： |")}p=
- 平面或复杂（自由形状）表面。 i 8I%}8 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 \pZ,gF;y - 机械零件。 l ?~SH[V - 汽车工业。 6\)61o_1| $j^Jj
ilQ R@yp* QQ:1824712522 /hf}f=7kH
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