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1.Horos—光学粗糙度传感器。 A]" $O&l 2.测量样本。 8aZuI |z 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 |#8u:rguy 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 }ozlED` E Ab`mID: 系统简介 FJKW=1 =,
qa wb9Iud0 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 g\;AU2?p7 |3{DlZ2S 特征及技术参数 EM]~yn!+
ks|[ `FH - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 <Z5ak4P - 灵敏度R_q<0.5 nm iL(rZT&^ - 测量时间： < 1 s。 g.OBh_j-v - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 k%-_z}:3V HL$}Gh ]q vWY}+# 传感器： wjh[}rTV*
fTiqY72h Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 TxAT )) 9Axk- c 应用： & V :q}Q
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： RG/M- - 平面或复杂（自由形状）表面。 x&9}] E^< - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 fP>_P# gZ - 机械零件。 ?8[,0l:| - 汽车工业。 ^$qr6+ *(6vO{
%,f|H :+>u QQ:1824712522 0,+RF "R
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