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1.Horos—光学粗糙度传感器。 K~ ,| ~ 2.测量样本。 A}WRpsA9 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 gwhd) .* 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 w}No ^.I*4 cpvN
}G 系统简介 J@D5C4>i
mkgGX|k; 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 !$Aijd s5 bHV Aa# 特征及技术参数 j(^ot001%v
L1 =3_fO - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 z@;]Hy - 灵敏度R_q<0.5 nm Vcn04j#Q - 测量时间： < 1 s。 D`p&`]k3v - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 XndG e=O :*bv(~FW GslUN% UJr 传感器： j _N><_Jc
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[]'U' Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 'F%4[3a$\n n,sf$9" 应用： "<o[X ?u
06DT2
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： uD4=1g6[s - 平面或复杂（自由形状）表面。
aEUC - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 } s)MDq9 - 机械零件。 b`"E(S / - 汽车工业。 Q#C;4)e 272j$T
L9tjH C] QQ:1824712522 ,M2u (9
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