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1.Horos—光学粗糙度传感器。 _=] FJhO 2.测量样本。 6PH*]#PfoD 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 tu'M YY 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 w B^a1=C 2R!W5gs1< 系统简介 8n)Q^z+
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NO$Nl/XM 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 h2>0#Vp3j -&? - 特征及技术参数 NSq"\A \
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- 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 El %(je,| - 灵敏度R_q<0.5 nm 2XtQ"` ) - 测量时间： < 1 s。 Oc.>$ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 = N
c`hP 3Z0\I\E rXPXO=F1/ 传感器： | QA8"&r
J [l K Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 BP6Shc|C Fo#*_y 5\ 应用： (
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： {@A2jk\ - 平面或复杂（自由形状）表面。 NS q=_8 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 s<b7/ ;w' - 机械零件。 #"_MY- - 汽车工业。 f W
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EMG*8HRI>r QQ:1824712522 U&R$(k0zS
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