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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ?}v/)hjp=? 2.测量样本。 :hs~;vn) 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 TE$6=; 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 I hf)gfHj akNqSZwj 系统简介 {J
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fz`)CWo: 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 AEaN7[PQx| |hw.nY]J 特征及技术参数 3~bB2APk
yyljy E - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 W9 0!*1 - 灵敏度R_q<0.5 nm qzJ<9H - 测量时间： < 1 s。 w&p(/y - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ~v;+-*t - e}(\ $A9Pi" /*z 传感器： P{UV3ZA%
$l"%o9ICG Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 xSd&xwP z `t~N 应用： {pH# zs4Y
YPI,u7-
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： fn,hP_ - 平面或复杂（自由形状）表面。 C0/^ 6Lu"o - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 #@OPi6.#!< - 机械零件。 -JF^`hBD- - 汽车工业。 { R-o8N "r_wgl%
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?vGI= QQ:1824712522 po*8WSl9c[
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