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1.Horos—光学粗糙度传感器。 7}Mnv WP 2.测量样本。 '.N}oL<gP 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 a * }>yad 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 /oJ & \pI <_k A+&T 系统简介 IM M+g]#e
,cS_687o 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 J"S(GL G{,DoCM5WL 特征及技术参数 o7Z 8O,;
XM"Qs.E - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 O3T7O`H[ - 灵敏度R_q<0.5 nm xCWS - 测量时间： < 1 s。 @(*A<2;N - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 o~CEja &( &PAp O{#Q 3*\Q]|SI! 传感器： D
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q$b 4S4Z7 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 /ece}7M 3 G<4rH] 应用： 4Z=`;
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ,uNJz -B8 - 平面或复杂（自由形状）表面。 b YpeI(zK - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 ;/pI@C k - 机械零件。 a9 q:e - 汽车工业。 K0B<9Wi | p_]b=3wt~
oD9L5c) QQ:1824712522 D@ .qdRc3
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