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1.Horos—光学粗糙度传感器。 =Lyo]8>,X 2.测量样本。 Uq8=R)1<|d 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 OYC\+
= 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 n$S`NNO{] Q|+g= |%^ 系统简介 eJm7}\/6`
FYtf<C+ 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 y?1<7>L5~ y_Tc$g ~ 特征及技术参数 aTx*6;-PH
qauZ-Qoc9 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 +#|) :aF - 灵敏度R_q<0.5 nm :y!%GJW - 测量时间： < 1 s。 D]UqM<0Rz - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ,& ^vc_} kQY+D1 KOQ9K 传感器： 0/F/U=Z!
.;'3Roi Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 3n=`SLj/a m<cvx3e 应用： ~^GY(J'
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： k'd(H5A - 平面或复杂（自由形状）表面。 }}VB# - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Lk-%I? - 机械零件。 A,2dK}\> - 汽车工业。 u
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