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1.Horos—光学粗糙度传感器。 {VBR/M(q 2.测量样本。 =ZG<BG_ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ah 4kA LO 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 3b<: :t A)OdQFet( 系统简介 M g#`t$ u
k& O C& 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ~GSpl24W< (2:
N; 特征及技术参数 a4% `"
,r@xPZPz:e - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 ex.+'m<g - 灵敏度R_q<0.5 nm dI!8 S - 测量时间： < 1 s。 |drf"lX<{ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 }|A X_=a 6e*%\2UA % =y;L:S\p 传感器： m[8IEKo
eUYZxe :6 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 dFzY OG1 QQ*gF P.Ao 应用： O97VdNT8
Dq|GQdZ>o
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： B@d1xjp)'] - 平面或复杂（自由形状）表面。 E\ tL - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 64SW - 机械零件。 ^#2xQ5h - 汽车工业。 '[%jjUU |0lLl^zp
nQ|GqU\oA QQ:1824712522 1y 7y0V
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