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1.Horos—光学粗糙度传感器。 4~J g\@ 2.测量样本。 7'idjcR 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 0^ >b=a 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 ?[c{pb ,| ,<!v!~Iy 系统简介 W|AK"vf
\, -e> 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 # -8%g{ tM3Q;8gB! 特征及技术参数 sz+%4T
cE+Y#jB - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 q cGs x2 - 灵敏度R_q<0.5 nm
G:i>MJbxT - 测量时间： < 1 s。 BY`vs+]XY - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 }}gtz-w s&F&
*5W ^!*nhs% 传感器： I T ?~`vi
K7=> o*p Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 pmgPBiU> 8M8Odz\3 q 应用： \t?rHB3"
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： yz^4TqJ - 平面或复杂（自由形状）表面。 XS=f>e1<W - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 /|>?!; - 机械零件。 sny$[!) - 汽车工业。 e&-MP;kgW9 {wvBs87
JiFB<Q\ QQ:1824712522 `CY c >n"
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