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1.Horos—光学粗糙度传感器。 xP*9UXZ4P 2.测量样本。 K+2bN KZ0 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 o_/C9[: 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Ht?
u{\p@ pC(AM=RY! 系统简介 }hyK/QUCoN
l|O^yNS 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 D *W+0
T~8` {^ 特征及技术参数 W~p^AHc o`
EA7]o.Nm*{ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 6CO>Tg:% - 灵敏度R_q<0.5 nm =YF\mhMQ: - 测量时间： < 1 s。 +5Ir=]=T9 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ^!k^=ST1J 'j#oMA{0 dgd&ymRm
: 传感器： v}A] R9TY
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&BqZ& Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 qM3^)U2 J9ovy>G 应用： Uo(\1&?
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： a1ZGMQq! - 平面或复杂（自由形状）表面。 QI~s~ j - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 ^q"p 8 - 机械零件。 X^% I 3 - 汽车工业。 C
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:d/Z&LXD QQ:1824712522 ]@l~z0^|[_
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