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1.Horos—光学粗糙度传感器。 JjG>$z 2.测量样本。 6S?*z
`v 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 I_'0!@Nn7 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 ^S^7 u "0 {t~?ol 系统简介 [4HOWM>\
xilA`uw`1 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 =mh)b]].4\ !{4bC 特征及技术参数 v H vwH
bdr !|WZ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 P26YJMJ' - 灵敏度R_q<0.5 nm Zc*gRC - 测量时间： < 1 s。 {pEbi)CF,} - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 1{bsh?zd vU,
]UJ} u )KtvC! 传感器： S.NLxb/
.8Gmy07 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 \"mL LnK?
N,u ~ZEI 应用： &;oW mmvz{
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： H3jb{S
b - 平面或复杂（自由形状）表面。 8(0q,7)y - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 SK
{ALe - 机械零件。 Js!V,={iX - 汽车工业。 ceGo:Aa<) qU:Mvb^5&
m_r_4 BP QQ:1824712522 %-~T;_.
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