微纳米结构分析FIB介绍

微纳米结构分析FIB介绍：  _34YH5  
电子光学 B,qZwc|  
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: Y{B_OoTun  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 )4O`%9=M&  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 M%LwC/h:,  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 p_y*-,W (  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 )bJ6{&  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 w'j]Y%  
· 两级扫描偏转 ?~9X:~6\  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 F}mwQ%M  
· 快速电子束闸* x}24?mP  
· 用户向导和镜筒预设 Cd*C^cJU&z  
· 电子源寿命至少24个月 @k;3$  
电子束分辨率 .Zm }  
zui佳工作距离下 Xm+3`$<  
· 30keV 下 STEM  0.7nm Icb;Yzt  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm T"lqPbK  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* X'p%$HsMG  
M0\[hps~X  
电子束参数 ;qQzF  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA %}MM+1eu  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) N>iCb:_ T;  
· 放大倍数范围：40x-1200x (8/xSOZ[  
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm 1Vvx@1  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 4&WzGnK