微纳米结构分析FIB介绍

微纳米结构分析FIB介绍： #.~.UHt  
电子光学 T4l-sJ'|  
NICo非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒，配有: 'aNahzb  
· 高稳定性肖特基场发射电子枪，用于提供稳定的高分辨率 分析电流 BSjbnnW}"  
· 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样品 {rs6"X^  
· 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孔 C CLfvex  
· 连续电子束电流控制和优化的光阑角度 <nf=SRZ  
· 电子枪安装和维护简单 自动烘烤，自动启动，无需机械合轴 Q.*'H_Y  
· 两级扫描偏转 O~nBz):2  
· 双物镜透镜，结合电磁透镜和静电透镜 .&Y,D-h}7|  
· 快速电子束闸* m)(SG  
· 用户向导和镜筒预设 ]<Z&=0i#9  
· 电子源寿命至少24个月 8xc8L1;  
电子束分辨率 q#.rYzl0  
zui佳工作距离下 ,o4r,.3[s  
· 30keV 下 STEM  0.7nm |:dCVd<du  
· 1keV 下 1.4nm 15keV 下 1.2nm &Jrq5Q C  
· 1keV下 电子束减速模式 0.99nm* _!|=AIX  
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电子束参数 ^u=PdBY  
· 电子束流范围（数显，连续可调）：1pA  400nA W<Bxm|  
· 加速及着陆电压：20V-30KV(连续可调) :v|r=#OI  
· 放大倍数范围：40x-1200x *;>V2!N=U  
· zui大水平视场宽度：7mm工作距离下为3.0mm，60mm工作 距离下为7.0mm，样品台到束交叉点85mm ;GiI'M  
· 导航蒙太奇功能可额外增大视场宽度 |2WxcW]U.%