扫描电镜发展史

发布:探针台 2020-04-16 16:41 阅读:1675
扫描电镜发展史 `Q] N]mK  
1873 Abbe 和Helmholfz 分别提出解像力与照射光的波长成反比。奠定了显微镜的理论基础。 8|u4xf<  
1897 J.J. Thmson 发现电子 7Cgi&  
1924 Louis de Broglie (1929 年诺贝尔物理奖得主) 提出电子本身具有波动的物理特性, 进一步提供电子显微镜的理论基础。 Hbm 4oYN  
1926 Busch 发现电子可像光线经过玻璃透镜偏折,一般由电磁场的改变而偏折。 Sg#XcTG  
1931 德国物理学家Knol及Ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。 >lI7]hbIs  
1937 首部商业原型机制造成功(Metropolitan Vickers 牌)。 ,:_c-d#  
1938 第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne 发展成功。 +y7z>Fwl  
1938~39 穿透式电子显微镜正式上市(西门子公司,50KV~100KV,解像力20~30Å;)。 )uPJ? 2S9  
1940~41 RCA 公司推出美国第一部穿透式电子显微镜(解像力50 nm)。 Zk3Pv0c  
1941~63 解像力提升至2~3 Å (穿透式) 及100Å (扫描式) 0[;2dc  
1960 Everhart and Thornley 发明二次电子侦测器。 IqOg{#sm  
1965 第一部商用SEM出现(Cambridge) 2 $>DX\h  
1966 JEO发表第一部商用SEM(JSM-1) ys_2?uv  
1958年 中国科学院组织研制 Y.:R-|W  
1959年第一台100KV电子显微镜 1975年第一台扫描电子显微镜DX3 在中国科学院科学仪器厂(现北京中科科仪技术发展有限责任公司)研发成功 *S$v SDJCW  
1980年中科科仪引进美国技术,开发KYKY1000扫描电镜 IwYeKN6s  
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