聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX技术指标

聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX FEI Scios 2 DualBeam技术指标 Mf:x9#  
一、技术指标 IetV]Ff6  
1、电子束电流范围：1 pA - 400 nA； R[lA@q:  
2、电子束电压：200eV-30 keV，具有减速模式 iow8H' F  
3、电子束分辨率：0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) [s!cc:JR
 
4、大束流Sidewinder离子镜筒； $L"-JNS  
5、离子束加速电压500V-30kV（分辨率：3.0 nm）； RML'C:1  
6、离子束束流1.5pA-65nA，15孔光阑。 ku
5g`ho  
U&tR1v'  
二、配置情况 TwE&5F*  
1、GIS气体注入：Pt沉积 "jl`FAu)q  
2、ETD SE、T1（筒内低位）、T（高位）探头 H~qY7t  
3、Nav-camTM：样品室内光学导航相机 BgG+  
4、AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件。 r,Pu-bhF  
HLt;1:b  
三、适用样品 XG6UV('  
半导体、金属、陶瓷材料微纳加工及观察分析，成分分析 gtP;Qw'  
#KSB%  
四、检测内容 X?"Ro`S  
1、IC芯片电路修改 r(=3yd/G$  
2、Cross-Section 截面分析 "Zicac@N  
3、Probing Pad |}roR{gc|  
4、FIB微纳加工 

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5、材料鉴定 t#J #DyY5  
6、EDX成分分析 Y)4D$9:  
(aH_K07  
五、设备简介 )6zwprH!  
FEI Scios 2 DualBeam系统在Scios系统的基础上进行了升级，更加适用于金属、复合材料和涂层，特点是适用磁性样品、借助漂移抑制对不导电的样品可以进行操作、Trinity检测套件可同步检测材料、形态和边缘对比对度，大大提高效率、软件可以实现三维数据立方体分析金属中夹杂物大小和分布、独有的工作流模式，可以设定程序，降低操作员的难度。在超大样品仓中集成了大尺寸的五轴电动样品台，XY轴具有110mm移动范围，Z方向具有85mm升降空间。