SYNOPSYS可以将一组测量的表面sag值拟合到非球面上。这可以用来模拟被测表面,以便分析所建立的透镜的性能。假定面型是旋转对称的,程序将面型USS 21分配给表面。(也可以使用SFIT为非对称形状建模。) YB?5s`vr9d
输入是: }iBFo\vU
PSR21;
-V\$oVS0S
透镜必须是当前的,并且要建模的表面指定为sn。要拟合的区域数必须介于3到50之间。 %]iE(!>3oy
输入是包括孔径(y)和每个点的测量凹陷(sag)的列表。必须对测量值进行归一化,使轴点具有零凹陷,但键入的输入数据以第一个非零Y坐标开始。 h!4jl0oX]
当读取所有数据时,程序提交一个优化运行,该过程将每个指定区域的sag目标定为测量值,随着要建模的点的变化,许多G项变量也发生变化,最多30个区域可用于此形状。 g/_j"Nn
O&vE 5%x
{g@?\
例子: &40# _>W7
测量了表面3的非球面形状,并给出了其测量结果。然后按照如下输入: r,FPTf
='U>P(
R-
n72+X
程序找到了下列系数,评价函数下降到1.616E-12.这是一个非常好的拟合。 li j>u
[]#>r
k~