摘要：利用补偿器的补偿法是检测高精度非球面的一种非常重要的方法 ,它可以利用已广泛实用的 Zygo 等高精度的数字干涉仪 ,用补偿法的关键是补偿器的设计。本文介绍了补偿法检测非球面的原理 ,针对 要检测一种大数值孔径小非球面模芯 ,设计了一种由 4 片薄球面透镜组成的补偿器 ,该补偿器由前后两 部分组成 ,前面两片组成一个数值孔径很小的系统 ,主要用于产生适量的球差 ,后组两片组成一个数值 孔径较大的系统 ,并与前面的一起满足被测非球面检测的需要。文中对制造、 检测及装调等主要误差源 引起误差进行了全面分析。用这种补偿器检测相应的非球面 ,检测精度可达 0. 05λ,可满足光盘物镜非 球面模芯的检测需要。 jB -A d8
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关键词：补偿法；补偿器；大数值孔径小非球面
