Dual-beam FIB

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双束聚焦离子束(Dual-beam FIB)：双束聚焦离子束,北京双束聚焦离子束,检测 V~MyX&`  
Dual-beam FIB机台能在以离子束切割样品时，同时用电子束对断面进行观察。所建置的业界相当高阶机台，具备超高分辨率的离子束及电子束。能针对样品中的微细结构进行奈米尺度的定位及观察，大幅提升失效分析及TEM样品制备的成功率与影像质量。 y&L Lx[8^  
双束型聚焦离子束显微镜的应用，主要以下列所述为主： V>(>wSR  
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纳米级结构加工