形貌观察SEM扫描电镜

主要用途 7C"&f *lEi  
F2#s^4Ii  
观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 JXA!l?%  
/6PL  
性能参数 pNIu;1M5a  
1 /dy@'  
a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） #2\ 0#H
N  
/>q?H)6  
b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； heN?lmC  
?<"H Io  
            400~2000000（实际显示倍率） 5h6c W  
9pJk.Np0   
应用范围 IGC:zZ~z  
e qzmEg  
1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； suP/I?4'@  
]= nM|e  
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； u|}p3-z|Y  
./#F,^F2  
3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； ]> dCt<  
o,yP9~8\  
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考