摘要
(jQ]<q%P +[W_Jz "Yh[-[, 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
vpTYfE DdAs]e|D[ 设计任务
`8 Q3=^)3 |n9q4*dN #f*,mY|> \TchRSe 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
%~z/, [wk 3RYg-$NK[ 扫描参数空间以获取初始解
4i<V^go"
'ju M{sn{ L
p(6K 初始解#1的参数优化
(<.uvq61 s>d /9 b iEe<+Eyns |ji={ 最终设计#1的性能分析
s#f6qj xRTr<j0s SLCV|@G t,CC~ 初始解#2的参数优化
MXQS6F# A'jw;{8NpF WziX1%0$n hU3z4|~+ 最终设计#1的性能分析
A4kYEA jGp|:!'w zYL</!6a[ _PI w""ssr VirtualLab Fusion一瞥
(C1@f!Z \1 ^qfw *F ya
qJ) Y(:.f-Du VirtualLab Fusion中的工作流程
O-5s}RT -Odk'{nW 构建
光栅结构
\I3={ii0 ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ]yR0"<W^xO ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media J}c`\4gD 分析光栅
衍射效率
d{~5tv- H ─
Grating Order Analyzer Ng;K-WB\ 使用参数运算寻找初始解
Stq
[[S5P ─
Usage of the Parameter Run Document /.?m9O^
F 使用参数优化确定最终解
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`uk2QdC Hcts^zm2u VirtualLab Fusion技术
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