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    [求助]塑胶镜片RF离子源辅助镀膜参数问题 [复制链接]

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    离线hl594566271
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2019-04-02
    设备  OTFG1300    17cm RF源  电子枪,镀膜材料及IAD参数:OS-50(BV 400v,BI 550mA    / 硅铝混合物(BV:300V,BI 450mA)  lmB+S  
    目前环测无问题,但85℃水煮15-20分钟就会膜层脱落明显低于霍尔源所做产品,且强光照射1000小时膜层脱落,环测条件如下: h=ko_/<  
    1、高温高湿存储:70℃;90+/-5% RH ;72H. A)D1 #,0  
    2、高低温冲击:50次;-40℃~100℃; Ert` ]s~  
    T1=T2=0.5H(恒温时间)T3=5min(温度切换时间) P64< O 5l/  
    3、高温烘烤:100℃,24H o1u?H4z  
    环测后不可出现膜裂,脱膜和其他膜层异常现象; &+8cI^ kp  
    环测前后需符合镀膜附着力测试要求:同一位置分别用3M胶带贴紧 DX8pd5 U  
    并迅速撕开重复三次无膜脱落 );ZxKGjc4  
    <0H^2ekd  
    求助有没有朋友使用过此机台做过塑胶镜片,交流下离子源参数
     
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    离线zm8339
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    只看该作者 1楼 发表于: 2019-04-24
    硅铝不开离子源试试
    离线ouyuu
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    只看该作者 2楼 发表于: 2019-04-27
    这种条件就该用霍尔源做。 %n>*jFC  
    镀膜前先用离子源轰击一下, I0C$  
    然后氧化铝打底, _tpqo>  
    离子源电压稍微高一点,电流开最大。 ^Euqy,8}  
    以片子不变形为限
    离线sosjinyan
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    只看该作者 3楼 发表于: 2019-04-30
    我这里最近也在做这个实验,H4 SIO2   6层膜  H4打底,且H4层都比较薄。  会出现膜裂情况,而且膜裂几率挺高的。   B]5G"4,  
    镀膜温度80℃。  是不是得换下试料,或者降低温度?  温度越高 结合力越好?
    离线sosjinyan
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    只看该作者 4楼 发表于: 2019-04-30
    听人说树脂镜片,  镀膜设备要配CP。  我的机器配的DP,我这正抽空做实验了。
    离线hl594566271
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    只看该作者 5楼 发表于: 2019-05-08
    回 sosjinyan 的帖子
    sosjinyan:我这里最近也在做这个实验,H4 SIO2   6层膜  H4打底,且H4层都比较薄。  会出现膜裂情况,而且膜裂几率挺高的。   ZfYva(zP{Q  
    镀膜温度80℃。  是不是得换下试料,或者降低温度?  温度越高 结合力越好? (2019-04-30 17:03)  6*n<emP  
    F qW[L>M'  
    如果不掉膜只是裂应该是应力问题,考虑换材料和调整蒸发参数,树脂片一定要IAD的
    离线hl594566271
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    只看该作者 6楼 发表于: 2019-05-08
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:这种条件就该用霍尔源做。 oTPPYi[r  
    镀膜前先用离子源轰击一下, f"=1_*eH  
    然后氧化铝打底, &3Q!'pJJ  
    离子源电压稍微高一点,电流开最大。 K9#=@}!3L  
    以片子不变形为限 (2019-04-27 22:01)  5f:Mb|. ?  
    Ez*9*]O*+  
    谢谢!我先试下,但根据以往测试发现霍尔源做的产品耐高温性能差一些
    离线hl594566271
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    只看该作者 7楼 发表于: 2019-05-08
    回 zm8339 的帖子
    zm8339:硅铝不开离子源试试 (2019-04-24 17:06)  v&hQ;v  
    h}X^  
    不开试过了,没有发现明显差异,倒是加大低折射材料的离子束能量有改善,怀疑还是应力匹配的问题
    离线sosjinyan
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    只看该作者 8楼 发表于: 2019-05-15
    回 hl594566271 的帖子
    hl594566271:如果不掉膜只是裂应该是应力问题,考虑换材料和调整蒸发参数,树脂片一定要IAD的 (2019-05-08 17:05)  c-|~ABtEpX  
    < r6e23  
    多谢, 准备换ZRO2。我了解的一个公司,树脂镜片工艺,用的CP泵,没用离子源。 想问问不用离子源,影响大吗?   我的机器倒是配了,霍尔离子源,但是非常不好用,镀10锅(AR膜),枪丝就断了。 我感觉枪丝使用时间太短了。 YL(7l|^!  
    离线hl594566271
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    只看该作者 9楼 发表于: 2019-05-16
    回 sosjinyan 的帖子
    sosjinyan:多谢, 准备换ZRO2。我了解的一个公司,树脂镜片工艺,用的CP泵,没用离子源。 想问问不用离子源,影响大吗?   我的机器倒是配了,霍尔离子源,但是非常不好用,镀10锅(AR膜),枪丝就断了。 我感觉枪丝使用时间太短了。 [ \I&/?On  
     (2019-05-15 11:15)  U) tqo_  
    MA\^<x_?L}  
    不开影响挺大的,折射率、附着力都会差一点。霍尔源的阴极灯丝只能用那么久,定期更换就行了