[讨论]离子源问题 [复制链接]

离子源的Beam ，ACC，RF和RFN之间有什么联系以及它们各自的名称和作用

顶一下，同问这个问题

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离子辅助沉积 q yy.3-(  

光弛原理和新柯隆差不多。 6kT l(+  
S M987Y!B  
就新柯隆来讲：三片栅网，从下到上为ACC，SUP，GND z.Y7u3K.8  
ACC加1000V左右电压，离子从放电室（石英碗）挤出之后，靠ACC获得初速度。 Njq#@*>[p  
SUP加-300-700V左右电压，防止电子进入放电室。 Xk]5*C]6<  
GND就是接地，并起到保护SUP电极的作用。（东西掉在栅网上不会造成短路，打火） yL.si)h(p  
M)EKS  
中和器T脚加1000V脉冲打火，电子足够多后发生电离连锁反应。 ;y6Jo  
然后K脚（阴极产生电子）和A脚（阳极拉出电子）加上电压，通过调节A脚电压调节电子数量。

射频没啥好讲的，就是产生一个震荡的电磁场，让带电颗粒受电磁场影响不断在放电室震荡。 >Fx$Rty  
带电颗粒震荡时有更大的几率碰撞到气体分子，使其电离，这样连锁反应就产生了。

感谢大佬分享 W]
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