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    [求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

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    离线ff13326
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2018-05-16
    想询问有经验的维修人员 }5qjGD  
    1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? A_\ZY0Xt  
    .wv!;  
    2.要如何预防镍电击氧化 ? zMI0W&P M  
    ~RS^O poa  
    謝謝 avI   
     
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    离线lishuyu18
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    只看该作者 1楼 发表于: 2020-02-13
    通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 ^-'t`mRl]d  
    镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    光券
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    只看该作者 2楼 发表于: 2020-02-26
    镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 QhHexr6  
    现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 5E#koy7 $s  
    不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 6c/Tm0[  
    UkY `&&ic  
    你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ jSj (ZU6  
    防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 I@f">&^  
    防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 u/h!i@_w[  
    副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。
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