[求助]光驰中和器的一些问题 [复制链接]

想询问有经验的维修人员 _Q V=3UWP  
1.中和器的镍电击缺口有何用途 ? }gp@0ri%5  
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2.要如何预防镍电击氧化 ? SzULy >e  
AGBV7Kk  
謝謝 #-{<d%qk  

通过射频磁场的，没有缺口，无法启辉 WQ|:TLQ  
镍氧化应该还好解决，但溅射打到陶瓷杯上短路缺口，就影响中和器工作

镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 Ee>VA_ss  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 I&PJ[U#~a  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。 ,p2UshOmd
 
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你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ h>Kx  
防止氧化的话只有提高氩气纯度，增加镀膜后的冷却时间。 \Ne`9k  
防止阴极蒸发的话，就必须用原厂陶瓷。 0uy'Py@2<  
副厂陶瓷绝缘性不好，电流损耗大，会造成过热。

ouyuu:镍的熔点很低的，最初的射频源中和器阴极大多数采用镍。 t{;2$z
0  
现在随着离子源能量的提高，原厂中和器阴极应该是用的其他耐高温金属。 [^!SkQ  
不过镍杯这个名称被沿袭下来了。
你是要防止阴极氧化还是防止阴极蒸发？ e;i 6C%DB  
....... (2020-02-26 21:07)  hcVu`Bn  

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学到了

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