2,电子枪的知识(机械)
dh?S[|=' 电子枪机械部分主要就是指真空室内的电子枪本体及坩埚盘。
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\|1@09 1,冷却
H-m`Dh5{ 电子枪因为功率高,所以一般都是水冷。
uc\.oG;~q 水一旦在真空室内泄露会造成很严重的故障甚至事故。
?KCxrzf 所以一定要防止空打。(会打穿坩埚盘)
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`E@/<w8 防止空打的措施有:
Q~h6J* 1,限制镀膜的最高电流
<%/:w/ 2,限制镀膜的最长时间
ny~W]1 3,坩埚放置及确认的制度(提前准备好装药的坩埚,放置在显眼处,关门前后的确认……)
X-v~o/r7 |zb`&tv} 2,枪头
Kf&r21h 枪头是指灯丝及周边那部分,因为温度高,离材料近,枪头非常容易沾污,需要及时保养更换。
Z3Gm 这部分国内国外零部件价格差异极大。所以也是假冒伪劣的重灾区。
;h~?ko 如发现外观尺寸不佳,光斑不稳定,电子枪电流不稳甚至打火,枪头及灯丝寿命短等问题,请及时怀疑买到了假货,多安装几次确认一下就可以投诉了。
0tSA|->( 比如日本电子的270度枪头,假货成本也就几百元。
FQQ@kP$. 真货厂家出厂价最低也要7000多。
T[m ~6 +RdI;QmM 3,坩埚盘
"u,sRbL 坩埚盘分为点状和环形,环形坩埚比较省药品但不能灵活切换。
Xv8fPP( 坩埚盘常见故障有卡死,偏位,速度不稳定等。
:(+]b 定位方式一般采用码盘定位和电机定位。根据定位方式不同,对坩埚位置要采取不同方式进行调整。
jJ*=Ghu- G u6[{u 4,挡板
|o|gP8 挡板是非常重要的零部件,挡板设置不好会影响镀膜效果。
G1p43 挡板高度越低越好,以电子枪束流打不打为限,可以用铝膜包覆挡板,然后开电子枪的最低电流做实验。
v<%]XHN 铝膜溶破就代表打到了,然后再往上调30mm左右。
tb: 挡板速度越快越好,但以不打到其他部件,不掉药渣为限。
bD d_} 新柯隆一般为1秒。
v^;-@ddr 挡板的打开及关闭位置的确认:坩埚中心点放一小灯(手机或者小头灯,越低越好)
l~ CZW*/ 然后手动打开和关闭挡板,打开时伞架上无阴影,关闭是伞架上无照亮。
exsQmbj* % _qEWu Do 5,故障
AmgWj/> 电子枪原理简单,所以一般故障较少。
ws.?cCTpt 多数故障是由于保养不良等原因造成的。
8IpxOA#jQ 要注意高压导入的裸铜丝,枪头下面的底座陶瓷也属于耗材,最好每年更换一次。
!W0P`i< 否则因为铜丝损耗(特别是压接处,会少量蒸发导致铜丝变细,接触不良)
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o 底座陶瓷绝缘变差造成故障。
+_P8'e%Iy 另外电子枪本体内有永磁铁,时间长了磁铁磁性变化也会造成一些变化,
vP-3j 此时可通过调整电子枪电源内的电位器来矫正。
TLXhE(o|o 还有,电子枪电源通常会放在泵房,所以每年大修的时候,
l&vm[3 最好拆开护板用吸尘器打扫一下,毕竟几千伏高压的东西,
CG CQa0 太脏了会严重影响寿命及稳定性。
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