[求助]哪位在用光控的设备 [复制链接]

一直在做晶控设备，现在想了解一下光控是怎么控制膜厚的，设计导入怎么处理。请教各位，谢谢。

光控导入需要先进行计算，就是用膜系设计软件对你设计的每一层给定一个监控波长，然后算出回值比例，将这个比例以及你的监控波长导入膜系制程的对应位置，监控波长要跟你计算折射率时候算出的光控TOOLING值相乘后带入膜系制程中。 eygmhaE  
你用的什么镀膜机？我们用的光驰跟昭不同的镀膜机导法不一样，但是原理都是一样的。 _+PiaJ&'  
附件是光控的一些知识点。 3qJOE6[}%  

谢谢！

囊中蓄乾坤:谢谢！ (2017-12-28 18:59)  W|@
7I@@$"  

;+v5li  
有帮助不？你们用的啥机器

奔跑的小骏马:有帮助不？你们用的啥机器 (2017-12-29 07:46)  @.rVg XE=!  

oAnNdo  
没有用过，想了解一下这方面的，国产机

金币不够撒是

膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 AD$$S.zoD<  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 +2DzX/3  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） %1E
x{H hb  
所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 O }ES/<an  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如果跑偏一点的话，后面就会差上很多。 Ou26QoT9XI  
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但是光控控制的就是光学膜厚，所以基本上和软件算出的膜厚是一样的。 $0-}|u]5U  
光控的问题是精度没有晶控好，所以在薄层上无法用到光控。 dz3KBiq  
所以AR膜最好不要用光控。

ouyuu:膜系设计，最初得到的就是光学膜厚。 ?k|}\l[X1  
然后软件再根据折射率，算出物理（水晶）膜厚。 p)x*uqSd  
但是实际上折射率不是恒定的（特别是不同材料的交界处） UY ^d
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所以我们在镀膜机输入的物理（水晶）膜厚，和设计软件算出的膜厚还不一样，需要进行调整。 %Voq"}}N  
特别是那种材料层数比较多的膜系，开始几层如 .. (2018-01-18 10:34)  3 L:s5  

I^u$H&  
嗯 谢谢解答，想多学习点，以后做其他镀膜也好上手一些。目前是AR，晶控就行了。

谢谢，楼主分享

谢谢，好东西，