1楼：那如果射频离子源报加速电流异常一般是什么原因造成的？栅网也没有发现有破损或掉渣，但是栅网中 ..

2楼：是哪家的离子源，不同厂家的离子源加速极位置不一样。
有照片最好发一下，有可能是打火。
[ouyuu 2025-08-23 17:57]