光行天下

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8楼：jimmy_:请教一下为什么加热不能用加热丝，光驰机里好像没有卤素灯 (2024-02-19 17:21) ..

[ouyuu 2024-02-20 20:44]

7楼：请教一下为什么加热不能用加热丝，光驰机里好像没有卤素灯

[jimmy_ 2024-02-19 17:21]

6楼：1，注意一下清洗，必要手擦几片做比较。
2，镀膜前用离子源清洗，用质量大的Ar，多打一阵子 ..

[ouyuu 2023-04-08 00:25]

5楼：基片是否干净，扩散泵是否返油，第一层速率及离子源参数

[石前林 2023-03-31 10:54]

4楼：建议测一下温度

[嘤击长空 2023-03-31 01:27]

3楼：离子源&充氧&电子枪速率方面看下

[小时候_我很帅 2023-03-30 12:32]

2楼：主要SIO2打底层，掉膜也是掉到了基板

[repent134 2023-03-30 10:10]

1楼：这个Ti3O5成膜温度一般不能太低吧，建议150℃以上，低温成膜牢固度与吸收均不够理想，如果想低温 ..

[yzhuang 2023-03-30 09:58]

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